ОТЗЫВ
На диссертацию БОНДАРЕНКО Виктории Петровны
«Оптически активные центры в слоях SiO2 на кремнии, связанные с дефицитом кислорода»
на соискание ученой степени магистра физики
В работе Бондаренко Виктории Петровны проведено исследование кислорододефицитных центров в слоях SiO2 методами электро-, катодо - и фотолюминесценции.
Актуальность темы обусловлена тем влиянием, которое дефекты в диоксиде кремния оказывают на электрические, оптические и другие свойства этого диэлектрика. Уникальность работы заключается в комбинации различных методов люминесценции для каждого из исследованных типов образцов, согласованном анализе и обработка результатов.
Центральным вопросом работы, где автор добился наиболее существенных результатов, является выяснение природы возникновения полос люминесценции в диапазоне энергий от 2 до 3 эВ, т. е. связи каждой из наблюдаемых полос с конкретным типом дефектов в диоксиде кремния.
Работа построена по классической схеме и состоит из следующих частей:
· Введение, раскрывающее актуальность выбранной темы. Здесь же формулируются цели и задачи работы.
· Литературный обзор с описанием структуры и свойств основных оптически активных дефектов в диоксиде кремния.
· Глава, посвященная методике эксперимента, содержит описание методов электро-, катодо - и фотолюминесценции и их особенностей; описание экспериментальных установок и исследованных образцов.
· В следующей главе изложены результаты экспериментов, полученные на трех типах оксидных слоев перечисленными методами люминесценции, а также обработка и анализ результатов. Приводится сравнительный анализ диагностических возможностей различных методов люминесценции.
· В итоге приводятся основные выводы.
Работа имеет весьма значительный объем, составляющий 79 страниц. Материал изложен четко и ясно с минимальным числом опечаток и ошибок. К недостаткам оформления работы можно отнести меленький размер рисунков, не позволяющий временами определить масштаб координатных осей.
После прочтения работы можно прийти к выводу, что автор, безусловно, проявил способность к самостоятельной научной деятельности. Полученные достоверные экспериментальные данные и их глубокий анализ, говорят о том, что Виктория Петровна вполне овладела навыками, необходимыми хорошему физику – экспериментатору.
После прочтения работы у рецензента остались следующие вопросы:
1. Чем обусловлено применение именно функции Гаусса для аппроксимации полос в спектрах люминесценции?
2. Насколько долгоживущими являются дефекты типа двухкоординированного по кислороду кремния, генерируемые, как утверждается в работе, при облучении слоя диоксида кремния электронами в методе КЛ?
Вместе с тем, отмеченный недочет работы и возникшие вопросы не снижают ее общего высокого уровня. Рецензент считает, что работа полностью соответствует требованиям, предъявляемым к магистерским диссертациям и заслуживает отличной оценки, а ее автор, несомненно, достойна искомой степени магистра физики.
К. ф.-м. н., доцент
