ОТЗЫВ
научного руководителя на работу Бондаренко Виктории Петровны
«Оптически активные центры в слоях SiO2 на кремнии, связанные с дефицитом кислорода»
пришла в лабораторию МФГ на третьем курсе и с этого момента по сегодняшний день принимала участие во всех исследованиях, проводимых в лаборатории. Первоначально в рамках выполнения бакалаврской работы она освоила метод электролюминесценции (ЭЛ) и познакомилась с возможностями метода катодолюминесценции (КЛ) на самом современном уровне для исследования и диагностики структур кремний-диэлектрик.
В рамках магистерской работы перед ней была поставлена цель, которая заключалась в получении информации о природе и свойствах кислородо-дефицитных дефектов (центрах свечения) в окисных слоях на кремнии с использованием методов электро - , катодо - и фотолюминесценции (ФЛ) на структурах одного типа. Достижение поставленной цели потребовало в первую очередь детально изучить возможности используемых люминесцентных методов, освоить процедуру обработки получаемых результатов и получить набор экспериментальных спектров люминесценции окисных слоев при различных условиях ее возбуждения. С этой задачей Виктория Петровна, преодолев немало трудностей, можно считать справилась. Ею было показано, что спектральное распределение люминесценции структур Si-SiO2 может быть аппроксимировано одним набором гауссовых распределений независимо от технологии формирования и способа возбуждения люминесценции. Выявлена неэлементарность полос люминесценции в области энергий ~1,9 и ~2,7 эВ.
Сравнительный анализ вида спектральных распределений КЛ и ЭЛ позволил получить дополнительную информацию о процессах образования, локализации и возбуждения центров люминесценции, проявляющихся в синей и ультрафиолетовой областях спектрального распределения. Анализ спектров ФЛ и возбуждения ФЛ подтвердил неэлементарность люминесценции в области 2.5 – 2.9 эВ и показал существование в этой области спектра двух полос излучения с максимумами при энергиях ~2,6 эВ и ~2,8 эВ, соответствующих центрам люминесценции различной природы. Для первой полосы люминесценции (2,6 эВ) характерна энергия возбуждения ~ 4 эВ, а для второй полосы люминесценции (2,8 эВ) - ~3,4 эВ. Использование методов КЛ и ЭЛ применительно к изучению процессов жесткой деградации структур Si-SiO2 показало их высокую чувствительность к происходящим, прежде всего в окисном слое изменениям. Вся совокупность полученных результатов позволила сделать предположения относительно природы центров люминесценции в рассматриваемой спектральной области. По полученным результатам имеет публикацию в Вестнике СПбГУ.
Оценивая работу в целом, могу заключить, что на сегодняшний день она является физиком-экспериментатором, весьма требовательно и критически относящимся к полученным результатам и способным грамотно решать поставленные задачи.
, несомненно, заслуживает присуждения ей ученой степени – магистр физики, а ее диссертационная работа заслуживает хорошей оценки.
Доктор физ. мат. наук,
профессор
