, ,
Московский инженерно-физический институт (государственный университет)
Получение и исследование многокомпонентных
металлических пленок
Изготовлено устройство для напыления многокомпонентных металлических пленок. Изучены закономерности роста подобных пленок на примере Cu-Fe.
Процессы плазмо-ассистированного осаждения многофазных слоев до настоящего времени изучены не достаточно. Между тем, формирование подобных слоев и удержание в них больших количеств изотопов водорода является важной проблемой современных и будущих термоядерных установок. В работе представлено экспериментальное устройство и приведены первые результаты исследования закономерностей осаждения двухфазных слоев Cu-Fe, выбранных в качестве модельных.
Формирование покрытий происходило в плазме несамостоятельного газового разряда с накальным катодом. Поток частиц Cu и Fe, осаждавшихся на подложку, формировался благодаря распылению ионами плазмы мишеней из соответствующих материалов. Энергия распыляющих ионов достигала 1 кэВ. Напыляемая подложка имела размеры около 1´1 см. Температура подложки во время формирования слоя могла меняться от 300 до 800° С. Конструкция прибора позволяет облучать растущую пленку ионами с энергией до 1 кэВ. Скорость роста пленок в различных условиях измерялась микровесами. Полученные металлические пленки анализировались в сканирующем электронном микроскопе РЭМ-101. В работе рассматриваются особенности формирования пленок в зависимости от температуры подложки и дозы распыляющих ионов.
