Курс "Механика наноразмерных систем"
Преподаватель: профессор, д. ф.-м. н.Владимир Викторович Чалдышев
Краткая информация о курсе
Из всех разделов физики механика является, по-видимому, наиболее древней наукой. Её начала были заложены учеными, имена которых не сохранила история, но многие изобретения которых, такие как топор, плуг и, конечно, колесо, с успехом используются до сих пор. Начиная с тех древних времен механика проделала гигантский путь в своем развитии. Механические свойства многих материалов занесены в инженерные справочники, а современный математический аппарат позволяет рассчитать в статике и динамике механические свойства очень сложных конструкций.
При всех успехах механики как фундаментальной и прикладной науки, её замечательная способность ответить на вопрос: “Как поведут себя те или иные материалы и конструкции под воздействием механических сил?”, до недавнего времени сочеталась с полной неспособностью ответить на вопрос: “Откуда берутся механические свойства того или иного материала?”. Для ответа на этот вопрос оказалось необходимым исследовать атомное строение твердых тел. Причем выяснилось, что при всей важности знаний о силах межатомного взаимодействия механические свойства твердых тел могут быть поняты только тогда, когда известна организация атомов и атомных структур на масштабах от нескольких единиц до сотен нанометров.
Предметом изучения в данном курсе наномеханики является физическая природа механических свойств материалов, композиционных гетероструктур и наномеханических систем. С одной стороны он примыкает к классическим курсам теоретической механики и сопротивления материалов, а с другой стороны – к квантовой химии, кристаллографии и физике твердого тела. В курсе также рассматриваются основы современных нанотехнологий и их применение для создания наноструктур и наносистем для электроники, фотоники, связи, биологии и медицины. Подбор материала в большой степени соответствует курсам наномеханики, предлагаемых в магистратуре и аспирантуре University of California at Santa Barbara, Brown University, Harvard University, Massachusetts Institute of Technology и других ведущих университетах США.
Курс включает следующие основные разделы:
1. Введение.
Особенности механических свойств материалов при уменьшении их размеров до единиц-сотен нанометров.
Важность механических свойств для самоорганизации и самоупорядочения наноразмерных объектов.
Нано-электро-механические системы - основные принципы создания, применение в электронике, оптике, связи, системах безопасности, биологических системах, медицине.
2. Микроскопическая теория упругости.
Упругие свойства наноразмерных включений в твердых телах.
Упругие напряжения как движущая сила фазовых переходов, процессов самоорганизации и упорядочения.
3. Микроскопическая теория пластичности.
Дислокации и точечные дефекты в кристаллах.
Релаксация упругих напряжений в наноструктурах.
Деградация полупроводниковых приборов.
4. Микроскопическая теория прочности.
Разрушение наноструктур.
Прочность элементов нано-электро-механических систем.
5. Микроскопическая теория трения.
Подвижные элементы в механических наносистемах.
6. Электронные, оптические и электромагнитные элементы нано-электро-механических систем.
7. Технология изготовления нано-электро-механических систем.
Эптаксия, окисление, травление.
Электронная и рентгеновская литография.
Нелитографические нанотехнологии.
Основные учебники по курсу:
Cleland A. N. "Foundations of Nanomechanics" (Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, 2003).
Freund L. B., Suresh S. "Thin film materials: stress, defect formation and surface evolution" (Boston, 2003).
Maluf N., Williams K. "An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering" (2nd edition. Artech House, Boston, London, 2004).
Дополнительная литература:
Hearn E. J. "Mechanics of Materials" vol.1-2 (Butterworth-Heinemann, Oxford, Auckland, Boston, 1997).
Hearth J. P., Lothe, J. "Theory of Dislocations" (3rd edition. Willey Interscience, New York, 1982) [Хирт Дж., “Теория дислокаций” (М, Атомиздат 1972)].
"Теория упругости" (М., Наука, 1970).
"Механика упругих тел" (СПбГТУ, 1999).
"Сопротивление материалов" (М., Физ.-Мат. Лит., 1962).
Ziman J. M. "Priciples of the Theory of Solids" (2nd edition. Cambidge University Press, 1972). [Займан Дж. “Принципы теории твердого тела” (М., Мир, 1974)].
"Основы материаловедения и технологии полупроводников" (М., 2002).
"Современная кристаллография. Том 1. Симметрия кристаллов. Методы структурной кристаллографии." (М., Наука, 1979).
Программу составил: д. ф.-м. н.


