Наименование дисциплины: Основы нанотехнологий в электронике
Направление подготовки: 210100 Электроника и наноэлектроника
Профиль подготовки: Интегральная электроника и наноэлектроника
Квалификация (степень) выпускника: бакалавр
Форма обучения: очная
Автор: к. т.н., доцент, доцент кафедры нанотехнологий в электронике
1. Целями освоения дисциплины Основы нанотехнологий в электронике являются:
· ознакомление студентов с основными идеями и техническими решениями, используемыми в современной интегральной электронике;
· формирование знаний в области теоретических и технологических принципов наноэлектроники, лежащих в основе построения современных информационных систем;
· овладение навыками в оценке современных технологических методов и возможностей их использовании в наноэлектронике.
2. Дисциплина Основы нанотехнологий в электронике относится к вариативной части профессионального цикла и является дисциплиной по выбору студента. Изучение основывается на знаниях, полученных при освоении математического и естественнонаучного цикла, а также предшествующих дисциплин профессионального цикла. Дисциплина Основы нанотехнологий в электронике дает знания, умения и владения по отношению к основам соответствующей научной области, способствует более эффективному освоению дисциплины базовой части профессионального цикла Наноэлектроника, а также предполагает дальнейшее углубленное изучение в соответствующем курсе магистерской программы по направлению 210100 Электроника и наноэлектроника. Элементы профессиональных компетенций, формируемых при освоении дисциплины Основы нанотехнологий в электронике, являются значимыми для будущей профессиональной деятельности выпускника бакалавриата.
3. В результате освоения дисциплины обучающийся должен:
Знать:
· состояние современной нанотехнологии, ее роль и место в производстве электроники, современные технологические методы и принципы изготовления приборов и элементов нанометровых масштабов;
· новые материалы и возможности их примерения в перспективных нанотехнологиях для производства электроники;
· физические ограничения в технологии производства интегральных схем (ИС), а также ограничения на размеры элементов, накладываемые механизмом их работы;
· характерные масштабы величин, основные физические закономерности и константы относящиеся к этой дисциплине.
Уметь:
· применять знания, полученные при изучении курсов физических и математических дисциплин при рассмотрении вопросов, связанных с теоретическими, экспериментальными и технологическими аспектами разработки и изготовления наноэлектронных приборов и устройств.
Владеть:
· основами знаний в области базовых и типовых технологических операций современной наноэлектроники, владеть терминологией изучаемой дисциплины;
· навыками проведения экспертной оценки существующих и перспективных нанотехнологий, элементов и устройств наноэлектроники.
4. Общая трудоемкость дисциплины составляет 2 зачетные единицы, 72 часа.
5. Содержание дисциплины:
№ п/п | Раздел дисциплины |
1 | Физические основы и технологические ограничения наноэлектроники |
2 | Материалы и технологии наноэлектроники. Современные методы микролитографии |
3 | Методы диагностики и визуализации наноструктур и нанообъектов |
4 | Технологии изготовления, основные характеристики и области применения наноструктур и приборов современной наноэлектроники. |
6. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины:
а) основная литература:
1. – Наноэлектроника. М.: «Физматкнига», 2007.— 464 с.
2. , , - Нанотехнология в электронике. Введение в специальность: Учебное пособие. 2-е изд., СПб.: «Лань», 2008.— 336 с.
3. , , Гридчин наноэлектроники: Учебное пособие. - Новосибирск.: НГТУ, 2000.-331с.
б) дополнительная литература:
1. Technology Roadmap for Nanoelectronics. // European Commission IST Programme. Microelectronics Advanced Research Initiative. MELARI NANO – Editors: pañó, L. Molenkamp, D. J. Paul, 2000, 81 P.
2. Ю. В Гуляев, , Ю. Я Ткач - Физических ограничения минимальных размеров элементов современной микроэлектроники. // УФН, 1984, Т.144, ВЫП.3, С. 475-495
3. К. Пирс, А. Адамс, Л. Кац, Дж. Цай, Т. Сейдел, Д. Макгиллис. Под редакцией С. Зи. - Технология СБИС В 2-х книгах. М.: «Мир», 1986.— 404 с.+ 453с.
в) программное обеспечение и Интернет-ресурсы:
Федеральный портал «Информика» http://www. *****/ и его проекты
Сайт Факультета Наук о Материалах МГУ http://www. *****
Сайт ЦКП «Диагностика микро и наноструктур» http://www. nano. *****
Сайт «Нанотехнологии интегральной электроники» http://www. nanoelectronics. *****/
Использование специализированного программного обеспечения не требуется
