ПРОЕКТ
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский государственный технический университет имени »
(МГТУ им. )
| Утверждаю Первый проректор — проректор по учебной работе МГТУ им. ____________ «___» _____________ 201_ г. |
Регистрационный номер
Программа учебной дисциплины
Название дисциплины
Автор(ы): Ф. И.О.
Кафедра (индекс кафедры), «Полное название кафедры»
Виды учебной работы | Объем в часах по семестрам | ||||
Всего | 00 семестр 17 недель | 00 семестр 17 недель | 00 семестр 17 недель | 00 семестр 17 недель | |
Лекции | |||||
Семинары | |||||
Лабораторные работы | |||||
Практические занятия | |||||
Самостоятельная работа |
Трудоемкость, час | |||||
Трудоемкость, зачетные единицы*) | |||||
Оценка знаний, зачет**)/экзамен | |||||
Трудоемкость экзамена**), аул/сам, час |
*) трудоемкость в зачетных единицах соответствует учебному плану
**) зачет по дисциплине и трудоемкость курсовых проектов (работ) входят в трудоемкость дисциплины
***) один семестровый экзамен выражается одной зачетной единицей
Москва 201_г.
Программа учебной дисциплины составлена для студентов, обучающихся по основной образовательной программе МГТУ им. :
| Шифр направления/ специальности | Индекс выпуска-ющей кафедры | Наименование направления |
ххххххххх | ххххххххххххххххххххххх | |
ххххххххх | ххххххххххххххххххххххх | |
ххххххххх | ххххххххххххххххххххххх | |
ххххххххх | ххххххххххххххххххххххх |
Раздел 1. Общая характеристика дисциплины
1.1. Цель преподавания дисциплины состоит в содействии формированию … связать с компетенциями из ООП
1.2. Задачами преподавания дисциплины являются … Предлагается указать составителям на необходимость включить в задачи, наряду с задачами изучения предмета, задачи воспитания «предметом»
1.3. Место дисциплины в структуре ООП
Указывается цикл (раздел) ООП, к которому относится данная дисциплина. Дается описание логической и содержательно-методической взаимосвязи с другими частями ООП (дисциплинами, модулями, практиками). Указываются требования к «входным» знаниям, умениям и готовности обучающегося, необходимые при освоении данной дисциплины и приобретенные в результате освоения предшествующих дисциплин.
1. ….
2. …
Освоение данной дисциплины необходимо как предшествующее для следующих дисциплин ООП:
■ …..
■ …..
Раздел 2. Требования к результатам освоения содержания дисциплины
После освоения дисциплины студент должен приобрести следующие знания, умения и владения соответствующие компетенциям ООП.
Процесс изучения дисциплины направлен на формирование элементов следующих компетенций в соответствии с ОС МГТУ им. по данному направлению.
Познавательные компетенции (П):
Пример заполнения
· способность воспринимать математические, естественнонаучные, социально-экономические и профессиональные знания, умение самостоятельно приобретать и применять их при решении базовых профессиональных и социальных задач (П-1);
· культура мышления, способность выстраивать логику рассуждений и высказываний, основанных на интерпретации соответствующих данных (П-2);
· способность анализировать и оценивать уровни своих компетенций в сочетании с готовность к непрерывному образованию, в том числе обучению в магистратуре, переобучению и самообучению, профессиональной мобильности (П-3);
· ….
Творческие компетенции (Т):
· способность выявлять, формулировать, преобразовывать поставленную задачу и принимать верные решения на основе имеющихся знаний, умений и навыков (Т-1);
· способность к самостоятельному выбору способа решения проблемы из альтернативных вариантов на основе выявления и устранения противоречий в системе (Т-2);
· ….
Социально-личностные компетенции (СЛ):
· способностью строить в коллективе конструктивные отношения, эффективно работать в творческих группах, создавать в коллективе отношения сотрудничества, использовать методы конструктивного разрешения конфликтных ситуаций, в том числе, в мультикультурной профессиональной среде (СЛ-1);
· способность соблюдать общепринятые в социальном межкультурном взаимодействии нормы морали и права, уважать историческое наследие и культурные традиции, толерантно воспринимать социальные и культурные различия (СЛ-2);
· …..
Выпускник должен обладать следующими профессиональными компетенциями в различных областях деятельности.
Общепрофессиональные компетенции (ОП):
· ……
· …….
Компетенции в проектно-конструкторской деятельности (ПР):
· …..
· …..
Компетенции в производственно-технологической деятельности (ПТ):
· …….
· …….
Компетенции в научно-исследовательской деятельности (НИ):
· ……
· …….
Компетенции в организационно-управленческой деятельности (ОУ):
· …….
· …….
Выпускник МГТУ им. по профилю подготовки «……..» программы бакалавриата должен обладать следующими профильно-специализированными компетенциями (ПСК):
· ……..
· …….
Раздел 3. Структура и содержание дисциплины
№пп | Модули | Лекции, час | Семинары, час | Лабораторные работы, час | Самостоятельная работа, час. | Литература | |
| Модуль 1 | ||||||
| 1 | ||||||
| 2 | [] | |||||
| Модуль 2 | ||||||
| 1 | [] | |||||
| 2 | [] | |||||
ДИСЦИПЛИНАРНЫЕ МОДУЛИ
Модуль 1 «Название модуля…»
Виды учебной работы | Объем в часах | Сроки проведения, недели |
Лекции | ||
Семинары | ||
Лабораторные работы | ||
Практические занятия | ||
Самостоятельная работа: § проработка лекций, подготовка к тесту | ||
Трудоемкость, час | ||
Трудоемкость, зач. единицы |
Контроль освоения модуля
Неделя проведения контроля модуля | Формы контроля | Оценка в баллах | |
минимальная | максимальная | ||
4 | 8 | 15 | |
ИТОГО | 8 | 15 |
После освоения Модуля 1 «……» студент должен приобрести следующие знания, умения и владения, соответствующие компетенциям ООП.
Пример заполнения
Знания | Компетенции |
· Принципы действия и конструктивные особенности наиболее перспективных устройств микро - и наноэлектроники, микросистемной техники и других объектов микротехнологии, типовые маршруты их изготовления, номенклатуру применяемых материалов · Основные понятия и термины, в том числе на английском языке, описывающие современные изделия - объекты микротехнологии. · Взаимообусловленность конструктивных элементов изделий и технологических процессов микротехнологии | П-1… П-7; Т-1… Т-4; СЛ-2… СЛ-6; ОП-2, ОП-3, ПТ-1, НИ-1, ПСК-1. |
Умения | Компетенции |
· Проводить технологический анализ изделий микротехнологии с выявлением их лимитирующих параметров и критических операций процесса. · Проводить поиск, обобщение и анализ информации по современному состоянию и перспективам развития изделий - объектов микротехнологии. · Представлять результаты работы с информацией в виде аналитических обзоров и презентаций. | П-1… П-7; Т-1… Т-4; СЛ-2… СЛ-6; ОП-2, ОП-3, ПТ-1, НИ-1, ПСК-1. |
Владение навыками | Компетенции |
· Поиска информации по изделиям-объектам микротехнологии в международной сети Интернет. · Применения программных средств, текстовых и графических редакторов для представления аналитической информации в электронном виде. | П-1… П-7; Т-1… Т-4; СЛ-2… СЛ-6; ОП-2, ОП-3, ПТ-1, НИ-1, ПСК-1. |
Содержание модуля 1.
Лекции.
Пример заполнения
1. Интегральные микросхемы как объект производства. Структура и принцип действия КМОП микросхем. Технология КМОП микросхем. Формирование основных конструктивных элементов микросхем: карманов p - и n - типа, изоляции, затвора и слаболегированных областей истока и стока, спейсера и глубокое легирование областей стока и истока, металлических проводников: 1-й и 2-й слои металла – 2 час.
2. Параметры металлических проводников в межсоединениях. Особенности формирования медных межсоединений. Диэлектрические свойства материалов микротехнологии. Масштабирование КМОП микросхем – 2 час.
3. Особенности производства микроэлектромеханических систем. Принцип действия и структура пьезорезистивного микродатчика. Тензо - и пьезоэффект в кремнии. Влияние конструктивных и технологических факторов на чувствительность пьезоэлектрического датчика давления. Маршрутная технология изготовления чувствительного элемента кремниевого микродатчика давления – 2 час.
4. Особенности формирования основных элементов кремниевого чувствительного элемента, формирование проводников p+ типа к пьезорезисторам, области n+ типа для контакта к эпитаксиальному слою, пьезорезисторов, Осаждение Si3N4 на обратную сторону пластины, формирование контактных окон, металлизация и формирование контактных площадок, анизотропное травление упругой диафрагмы – 2 час.
Семинары
Пример заполнения
1. Анализ номенклатуры и классификации изделий микротехнологии, обсуждение перспектив развития микротехнологии – 2 час.
2. Освоение методов и приемов поиска информации по изделиям микротехнологии, включая специализированные научно-технические журналы, результаты НИР, патентные материалы. Освоение англоязычной терминологии, приобретение навыков работы в научно-технических и патентных базах данных среды Интернет – 2 час.
3. Анализ изделий микротехнологии, выявление общих и сходных требований к применяемым материалам, технологическим процессам – 2 час.
4. Обсуждение конструктивно-технологических особенностей перспективных изделий микротехнологии, изученных и подготовленных в виде рефератов и презентаций подгруппами студентов – 2 час.
Самостоятельная работа
Пример заполнения
В модуле 1 предусмотрена самостоятельная проработка материала лекций и семинаров. Контроль проводится в форме письменного теста на семинаре.
Образовательные технологии
Пример заполнения
В модуле реализованы личностно ориентированная технология образования, сочетающая два равноправных аспекта этого процесса: обучение и учение. С учетом этого, учебные материалы модуля включают информацию нескольких типов:
· информацию, отражающую мировой, постоянно обновляющийся опыт в области современных и перспективных объектов микртехнологии,
· информацию справочного характера, излагающую факты и связи между ключевыми положениями изучаемой дисциплины и естественно-научными и общепрофессиональными дисциплинами,
· информацию, помогающую самообразованию. Это - имеющиеся в лекционном разделе модуля текстовые пояснения, указания, примечания, комментарии, смысловые таблицы, приложения, облегчающие самостоятельную обработку текста, его понимание.
Деятельностный подход при освоении дисциплины реализуется через анализ и решение учебных задач, примеры которых приведены в УМКД.
При изучении модуля предусмотрены следующие активные формы проведения занятий:
1. Просмотр и обсуждение видео фрагментов лекционного раздела модуля.
2. Работа в команде при подготовке аналитических обзоров и презентаций по полученным результатам.
3. Активное обсуждение презентаций студентов по результатам рефератов на семинарских занятиях.
Модуль 2 «Название модуля»
……
Раздел 4. Методическое обеспечение дисциплины
Литература
Основная литература
1.
2.
3.
4.
5.
Дополнительная учебная литература (при необходимости список может включать статьи учебно-методического характера в периодических изданиях).
Кафедральные издания и методические материалы
Электронные ресурсы (с указанием названия и полного электронного адреса).
Раздел 5. Материально-техническое обеспечение дисциплины
Методические материалы:
Пример заполнения
1. Курс лекций в электронном виде, раздаваемый студентам на первом занятии и обеспечивающий их самостоятельную работу.
2. Набор электронных презентаций для использования в аудиторных занятиях.
3. Методические рекомендации по лабораторным работам в печатном и электронном виде.
4. Интерактивные электронные средства для поддержки лабораторных работ.
5. Отчеты по лабораторным работам.
6. Набор оценочных средств для контроля усвоения материала дисциплины.
Используемое оборудование:
Пример заполнения
1. Комплект технологического оборудования фирмы Mega Electronics (Великобритания), включающем:
§ Ламинатор для нанесения пленочного фоторезиста
§ Установку контактного экспонирования
§ Установку проявления фоторезиста
2. Двухкоординатная установка сверления и фрезерования фирмы Bungart (ФРГ).
3. Dynascope модели TS-2 (Великобритания).
4. Комплект лабораторного и технологического оборудования для проведения элионных процессов
5. Атомно-силовой микроскоп
Программа составлена в соответствии с требованиями ОС МГТУ им. ВПО
Обсуждено на заседании кафедры ________ «__»____________ 201_ г. Протокол № __ Зав. кафедрой______
| Автор(ы) программы: Должность (и) |
Рецензент организация, должность, Ф. И.О________________
«____» __________ 201_ г.
Председатель методической комиссии факультета ____
(Ф. И.О.) _________________ «___»__________201_ г.
Декан факультета _______
(Ф. И.О.) ___________________ «____»_________201_ г.
СОГЛАСОВАНО:
Декан (ы) факультета(ов) _______
(Ф. И.О.) ___________________ «____»_________201_ г.
