Наименование дисциплины: Нанотехнологии в электронике
Направление подготовки: 210100 Электроника и наноэлектроника
Профильная направленность: Интегральная электроника и наноэлектроника
Квалификация (степень) выпускника: магистр
Форма обучения: очная
Автор: к. ф.-м. н., доцент, доцент кафедры нанотехнологий в электронике
1. Целями освоения дисциплины Нанотехнологии в электронике являются:
· формирование знаний в области теоретических и технологических принципов наноэлектроники, составляющих основу для системотехнических и схемотехнических решений при построении современных информационных систем;
· ознакомление студентов с основными идеями и техническими решениями, используемыми в современной интегральной электронике;
· овладение умениями и навыками в оценке функциональных, количественных и качественных характеристик современных технологических методов и их использовании в наноэлектронике.
2. Дисциплина Нанотехнологии в электронике относится к вариативной части профессионального цикла М2.В. Изучается в 1 семестре. Продолжает и развивает содержание дисциплины Основы нанотехнологий в электронике, преподаваемой в рамках ООП бакалавриата. Теоретической основой курса «Нанотехнологии в электронике» являются фундаментальные физические дисциплины, и в первую очередь это квантовая механика, статистическая физика, физика твердого тела, физика полупроводников, тонких плёнок и низкоразмерных систем. Является дисциплиной профильной направленности (Интегральная электроника и наноэлектроника) в структуре направления магистерской программы.
3. В результате освоения дисциплины обучающийся должен:
Знать:
· состояние и динамику развития современной нанотехнологии и ее место в производстве электроники, современные технологические методы и принципы изготовления приборов и элементов нанометровых масштабов, новые материалы и принципы конструирования в перспективных нанотехнологиях;
· физические ограничения в технологии производства ИС, а также ограничения на размеры элементов, накладываемые механизмом их работы, характерные масштабы величин, основные физические формулы и константы относящиеся к этому разделу физики и их размерность.
Уметь:
· применять знания, полученные при изучении курса «Нанотехнологии в электронике» при рассмотрении вопросов, связанных с теоретическими, экспериментальными и технологическими аспектами разработки и изготовления наноэлектронных приборов и устройств, основных методов получения наночастиц и наноструктур, использовать для этого методы и знания, полученные при изучении других физических и математических дисциплин;
· применять методы измерений и исследований, включая организацию и проведение стандартных испытаний и технического контроля, обеспечивающих требуемое качество продукции, работать с установками и приборами для проведения физических, химических и биологических экспериментов, выбирать и использовать методы анализа материалов и структур.
Владеть:
· основами базовых и типовых технологических операций современной наноэлектроники, оценочными расчетами физических эффектов и технологических ограничений, оказывающих влияние на процессы изготовления и функционирования элементов и устройств нанометровых размеров.
· информацией об областях применения и перспективах развития нанотехнологий; навыками анализа первичных экспериментальных данных исследования структуры и физико-химических свойств наночастиц и нанообъектов с использованием основных методов;
· навыками проведения экспертной оценки существующих и перспективных нанотехнологий, элементов и устройств наноэлектроники;
· терминологией, используемой в данной области знаний.
4. Общая трудоемкость дисциплины составляет 5 зачетных единиц, 180 часов.
5. Содержание дисциплины:
№ п/п | Раздел дисциплины |
1 | Физические основы и технологические ограничения наноэлектроники |
2 | Методы формирования диэлектрических, полупроводниковых и проводящих слоев в технологии микро - и наноэлектроники |
3 | Формирование топологии элементов и структур в технологии наноэлектроники |
4 | Методы диагностики и визуализации в нанотехнологии и наноэлектронике |
5 | Элементы, приборы и устройства наноэлектроники. Микро - и нано-механические системы |
6. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины:
а) основная литература:
1. , , - Нанотехнология в электронике. Введение в специальность: Учебное пособие. 2-е изд., СПб.: «Лань», 2008.— 336 с.
2. В.В. Старостин – Материалы и методы нанотехнологий. Учебное пособие. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 431 С.
3. – Наноэлектроника. М.: «Физматкнига», 2007.— 464 с.
б) дополнительная литература:
1. Technology Roadmap for Nanoelectronics. // European Commission IST Programme. Microelectronics Advanced Research Initiative. MELARI NANO – Editors: pañó, L. Molenkamp, D. J. Paul, 2000, 81 P.
2. К. Пирс, А. Адамс, Л. Кац, Дж. Цай, Т. Сейдел, Д. Макгиллис. Под редакцией С. Зи. - Технология СБИС В 2-х книгах. М.: «Мир», 1986.— 404 с.+ 453с.
3. , - Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. Учебное пособие для ВУЗов. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 392 С.
4. , В. М Андреева, - Введение в процессы интегральных микро - и нанотехнологий. Учебное пособие для ВУЗов. Том 2. Технологические аспекты. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. – 252 С.
5. , , - Основы наноэлектроники: Учебное пособие. - Новосибирск.: НГТУ, 2000.-331с.
6. и др. - Получение и исследования наноструктур: Лабораторный практикум по нанотехнологиям. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 146 С
в) программное обеспечение и Интернет-ресурсы:
Использование специализированного программного обеспечения не планируется, кроме программ для управления и контроля диагностическим и технологическим оборудованием
Федеральный портал «Информика» http://www. *****/ и его проекты
Сайт Факультета Наук о Материалах МГУ http://www. *****
Сайт ЦКП «Диагностика микро и наноструктур» http://www. nano. *****
Сайт «Нанотехнологии интегральной электроники» http://www. nanoelectronics. *****/
Сайт “NanoNewsNet” (http://www. *****) о нанотехнологиях в России и ветка его форума со ссылками на сайты по нанотехнологиям http://www. *****/forum/discussion/28/sayty-po-nanotehnologiyam/
