— СПЕЦИФИКАЦИЯ—
JSPM–5400 СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП
J E O L Ltd.
1. ОБЩЕЕ
Модель JSPM–5400 - сканирующий зондовый микроскоп высокого разрешения, включающий режим бесконтактной атомно-силовой микроскопии. Дополнительно включает в себя цифровой процесс обработки сигнала (DSP) для системы управления, осуществляемый системой полного компьютерного управления прибором с помощью интуитивно понятного графического пользовательского интерфейса (GUI).
Данный сканирующий зондовый микроскоп разработан с использованием встроенных функции, удовлетворяющих потребностям дополнительных режимов наблюдения, для простоты управления и с расширенным диапазоном функций.
Основные характеристики
・ Встроен новый усилитель для атомно-силовой микроскопии с цифровой системой автоподстройки частоты. Данная функция позволяет проводить стабильные, воспроизводимые наблюдения на атомном уровне.
・ Интуитивно понятный GUI графический интерфейс пользователя на базе Windows XP позволяет Вам управлять системой без пользования инструкцией по эксплуатации.
・ Вы можете легко и быстро выполнять различные задания, такие как переустановка сканера и монтаж принадлежностей, в том числе держателя нагрева, используя автоматическую функцию распознавания сканера.
・ Усиление механизма столика дает возможность получения стабильного и бесдрейфового изображения на предельных увеличениях.
2. РАБОЧИЕ ЗАРАКТЕРИСТИКИ
Разрешение: В плоскости 0.1 нм, вертикально 0.01нм атомарное разрешение
АСМ: Атомарное разрешение (контактный режим)
СТМ: Атомарное разрешение (контактный режим)
Дрейф системы: 0.05 нм/с или менее
Режимы измерений
АСМ
Бесконтактный режим: Топографическое изображение
(FM частотный метод Частотное изображение
детектирования) Диссипативная зондовая микроскопия
AC режим: Топографическое изображение
(Амплитудное детектирование) Фазовое изображение
Амплитудное изображение
Контактный режим: Топографическое изображение
(Силовое детектирование) Силовое изображение
Контактное токовое изображение
FFM
Спектроскопия (SPS): Силовая кривая
Кривые силы трения
I-V
Другие режимы (опции): Продольная вибрация (LM-FFM)
Вязкоупругость (VE-AFM)
Топографическое изображение (SKPM)
Магнитно-силовая микроскопия (MFM)
Электро-силовая микроскопия (EFM)
СТМ
СТМ режим: Топографическое изображение
Токовое изображение
CITS
Спектроскопия I-V
S-V
I-S
S-I
Область X-Y сканирования: от 0 до 20 мкм (используя стандартный сканер)
Питание привода: ±200 В
Разрешение: 21 бит
Диапазон Z сканирования: от 0 до 3 мкм (используя стандартный сканер)
Питание привода: ±200 В
Разрешение: 22 бит
Размер образца: 10 мм×10 мм×3 мм толщиной (стандартный)
50 мм×50 мм×5 мм толщиной (максимальный) 2-х дюймовая пластина
Перемещение образца:
X-Y: ±3 мм
Z: 5 мм
3. УСЛОВИЯ МОНТАЖА
Размер/вес
Основной блок: 680 мм×710 мм×1,020 мм*1, 250 кг
Блок управления: 900 мм×800 мм×730 мм*2, 140 кг
Воздушный компрессор: 290 мм×290 мм× 530 мм, 17 кг
*1: При монтаже оптического микроскопа: 1 320 мм
*2: При установке монитора : 1 250 мм
Требования к помещению
Температура в помещении: 20 ± 5℃
Влажность: 60% или ниже
Уровень акустических вибраций: 50 дБ или ниже
Вибрация пола: 5 мкм (5 Гц) или ниже
Электропитание
Однофазное AC 100 В 50/60 Гц 1,5 кВА
(Розетка с одной клеммой заземления)
1.5 кВА×2 при установке вакуумной системы
(Розетка с двумя клеммами заземления)
Колебания напряжения: ± 10% или меньше
Заземление: 100 Ω или ниже
Длина электрического кабеля :
Основной блок : 2.5 м
4 КОНФИГУРАЦИЯ
4.1. СЗМ базовый блок
Грубый подвод кантилевера
Z подвод: ручной до 5 мм
(можно подводить мотором)
Приближение: моторизованное до 1,5 мм
Перемещение по X и Y : ручное
±3 мм
Столик образцов: Бездрейфовый столик
Порты: Входной и выходной порты для создания контролируемой среды
Порт вакуумной откачки
Порт коммуникаций
Порт дополнительного резервуара охлаждения
4.2. Сканирующая головка
Сканер: Трубчатый сканер (сменный)
Встроена система распознавания типа сканера
X, Y = 20 мкм, Z = 3 мкм (стандартный сканер стандартной конфигурации)
X, Y = 30 мкм, Z = 15 мкм (Оптический топографический сканер)
X, Y = 70 мкм, Z = 10 мкм (оптический биологический сканер)
Метод детектирования : Метод «оптического рычага»
Лазер: Красный полупроводниковый лазер (2-ой класс соответствия)
Детектор источника света: 4-х сегментный фотодиод
4.3. Вибро-изолирующий стол
Воздушная подвеска: Шарнирно-поршневой тип
Имеется автоматическая регулировка уровня
Гелевая прослойка: Встроена
Требования к сжатому воздуху: от 0,2 до 0,4 МПа (приобретается
заказчиком)
4.4. Консоль
Каркас: Для контроллера
Возможно использовать в качестве стола оператора
Требование к электропитанию: Однофазное 100 В AC 50/60 Гц, 1,5 кВА
(Розетка с одной клеммой заземления)
Силовой кабель: 2,5 м
4.5. СЗМ контроллер
Функции сканирования
Диапазон сканирования: Непрерывный от 0 до максимального уровня диапазона сканирования
Скорость сканирования: от 10 мксек до 1 сек/точка
Напряжение смещения : от 0 до ±10 В,
от 0 до ±200 В
Непрерывный параметр
Режимы сканирования: 2048×2048, 1024×1024, 512×512,
256×256, 128×128 пикселей/скан
Произвольная прямоугольная развертка
Сканирование по линии
1024, 512, 256, 128 пикселей в линии/скан
Функции коррекции: Коррекция дисторсии
Автоматическая коррекция наклона образца
Функция изменения увеличения: в любом положении
Угол поворота растра: ±180º, с шагом 1º
Функция литографии: Имеется
Функция обеспечения
безаварийного сканирования: Имеется (автоматическое отслеживание положения всего кантилевера относительно образца. Необходима при работе с образцами с выраженным рельефом)
Высокоскоростной подвод
кантилевера: Имеется (50 мкм/сек)
Функция автоматического
отслеживания положения зонда: Имеется (максимальная скорость перемещения зонда 50 мкм/сек)
Дополнительная установка верхнего и нижнего предела
АСМ функции
Бесконтактная АСМ: Топографическое изображение (режим постоянной частоты)
Методы детектирования: Метод частотного детектирования
Частота возбуждения: от 1 кГц до 1 МГц
Разрешение по частоте: 48 мГц (100 Гц)
240 мГц (500 Гц)
480 мГц (1 кГц)
960 мГц (2 кГц)
Полуконтактная АСМ: Топографическое изображение (режим постоянной амплитуды)
Фазовое изображение (режим постоянной амплитуды)
Методы детектирования: Амплитудный и фазовый
Частота возбуждения: от 1 кГц до 1 МГц
Контактная АСМ: Топографическое изображение (метод постоянной силы)
Силовое изображение (метод постоянной высоты)
Измерение силовых кривых
Измерение кривых силы трения
Установка поддерживаемого
уровня силы при
топографическом
изображении: Может устанавливаться согласно
постоянной Гука кантилевера
СТМ функции
СТМ режимы: Режим контактного тока
Режим постоянной высоты
Вольт-амперные измерения (I-V)
Измерения S-V
Измерения I-S
Измерения S-I
Установка поддерживаемого
уровня тока: от 30 пА до 1 мкА
Выбор опций: Топографическое изображение, АСМ продольных колебаний, вязкоупругость, электросиловая микроскопия и магнитносиловая микроскопия
Функции картирования: Топографическое изображение,
I-V картирование I-S картирование S-V картирование S-I картирование отображаются одновременно на четырех экранах,
Картирование по силовым кривым
Картирование по кривым силы трения
4.6. Управляющий компьютер
Компьютер: IBM PC/AT совместимый
Монитор: 17 дюймовый ЖК монитор
1 280×1 024 пикселей
Операционная система: Windows XP
4.7. Программное обеспечение для СЗМ
Управление файлами изображений
Форматы файлов: TIFF, BMP, Бинарный, ASCII
Загрузка файлов: Имеется
Поиск файлов: Имеется
Обработка изображений
Фильтры: Нижнего уровня, полосовые, верхнего уровня, горизонтальное выравнивание, вертикальное выравнивание, пользовательский фильтр
Ориентация изображения: 5 функций:
Вертикальная, горизонтальная, наклон вправо, наклон влево, преобразование Лапласа
Дифференциальный фильтр: Имеется
Нормализующие фильтры: 2 типа
Усредняющие фильтры: 2 типа
Коррекция наклона: X, Y,
Произвольная область
Логические операции
с изображением: Inverse video
Умножение
Деление
AND
OR
XOR
Сложение с константой
Умножение на константу
Расширение изображения: Имеется
Контур изображения: Имеется
Фурье преобразования: Прямое
Обратное
Функции режима отображения
Измерение неровностей
поверхности: Вся область
Область по выбору
Анализ частиц: Бинаризация
Счёт частиц
Вращение изображения,
зеркальное отображение: Имеется
Изменение размера изображения: Имеется
Коррекция дрейфа: Имеется
Преобразование изображения
Настройка контраста/яркости в реальном времени: Имеется
SPS функции анализа analysis functions
Вычисление Calculation: Выравнивание Smoothing, вычисление по осям X/Y axis calculation, спектральное вычисление spectrum calculation, дифференциальное вычисление differentiation calculation, коррекция линии развертки, baseline correction, изменение масштаба zoom
Анализ Analysis: Измерение, совокупность отображения Measurement, group display, FFT
SPS функции картирования mapping tool functions:
Tool functions: Отображение топографического изображения, Topographical image display, SPS картирование отображаемого изображения, mapping image display, спектральные данные детектирования/отображения spectrum data
detection/display
Функции отображения Display functions
3-х мерное изображение 3D displays: Wire frame
Объемное изображение Solid display
Контурное изображение Contour display
Экранирование Shading
Цветное изображение Color displays: Псевдо цветное Pseudo color
User-defined color
Fixed-height display: Имеется Provided
Записывающее устройство Recording medium: CD-ROM
5. ПРИНАДЛЕЖНОСТИ ATTACHMENTS
Сканер Wide Area Scanner TM–40010WSC
Воздушный компрессор Air Compressor EM–18010
Оптический микроскоп Optical Microscope TM–24011
Оптический микроскоп Bright/Dark Field Optical Microscope TM–44010BDM
Zoom CCD Camera TM–44020ZCC
Flat Top Bell-Jar TM–43010FTB
Вакуумная система Vacuum System TM–24064VS
Высоковакуумная система High-Vacuum System TM–24111HVS
Клапан AVAC2 Butterfly Valve TM–23041BV
Клапан AHVAC2 Butterfly Valve TM–23051HBV
Клапан Variable Leak Valve TM–23060VLV
Фланец Flange Adapter Kit TM–24120
Extension Ring TM–43020ERG
Смена образца Specimen Changer TM–23022EXC
Держатель охлаждения Cooling Holder TM–41010CLH
Ловушка Cold Trap TM–43030CLT
Держатель нагрева Heating Holder TM–24072
Температурный контроллер Temperature Controller TM–24090
Direct Current Heating Holder TM–41040DHH
Магнитный держатель Magnetic Holder TM–41030MGH
Transfer Holder for JSM–5000 Series TM–21080
Transfer Holder for JSM–6000 Series TM–21090
Transfer Holder for JSM–7000 Series TM–21130
Section Holder TM–21110
Четыре держателя образцов Four Terminal Specimen Holder TM–41020FTH
Данные, указанные в Спецификации, гарантированы только в том случае, если оборудование не подверглось модификации и внесению дополнительных функций, о чем производитель оставляет за собой право сообщать
Specifications guaranteed when no modification or
addition is made, and subject to change without notice.
