Машины для проявки и снятия фоторезиста

 

МАШИНЫ ДЛЯ ПРОЯВКИ И СНЯТИЯ ФОТОРЕЗИСТА

Для сухого пленочного, жидкого и фотопроявляемого фоторезиста и паяльной маски.

Проявка и удаление резиста во многом отличаются от прочих «мокрых» технологических процессов. В связи с этим необходима разработка специального оборудования, которое полностью удовлетворяло бы требования, предъявляемые к современным фоточувствительным слоям.

·  Революционная система струйной обработки TFS с электронным управлением попеременно работающих систем полива существенно повышает точность проявления тончайших линий даже на платах большого формата.

·  Усиление ПВХ конструкций углеволоконными вставками добавляет, к хорошо известной химической стойкости этого пластика, механическую прочность и термоустойчивость.

·  Сегменты транспортной системы деликатно обрабатывают уязвимую пленку резиста, повышая эффективность струйной обработки и предотвращают скопление отслоённой пленки в рабочей зоне.

·  Керамические вставки в форсунках обеспечивают точность формы струи в течение всего периода работы.

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Компактность компоновки.

Производственные линии RESCOTRON объединяют все «мокрые» процессы в одной компактном устройстве.

Преимущества, в сравнении с производственными линиями, состоящими из нескольких различных модулей, заключаются в экономии производственных площадей и сокращении расстояния между сегментами непосредственной обработки, сушки и промывки, обеспечивая более тщательное управление параметрами производства.

Процесс проявки

В отличие от процесса травления, являющимся, прежде всего, химическим процессом, струи проявочного раствора и раствора снятия резиста обязаны обеспечивать сильное механическое воздействие для быстрого удаления частично растворенных остатков резиста. Образование луж жидкости, вызванное струями, подающимися на поверхность платы сверху сводит на нет энергию струй и снижает эффективность её механического воздействия. (Рисунок 1)

Рисунок 1, Образования луж при обычной

системе струйной обработки

Система полива TFS (бестурбулентная и безинтерферентная система струйной обработки), обеспечиваемая мощными насосами, создает быстрые параллельные потоки, протекающие с высокой скоростью по поверхности платы и быстро освобождающие её от избытков жидкости. Таким образом, струи непосредственно касаются слоя резиста, оказывая на него мощное давление. Для обеспечения равномерности обработки потоки попеременно направляются в противоположных направлениях. Система попеременной подачи обладает вдвое большим числом форсунок по сравнению с обычными системами. Устройство электронного управления открывает в регулируемые интервалы только те форсунки, которые осуществляют полив в одном направлении (Фаза 1 и фаза 2, Рисунок 2).

Рисунок 2, Система струйной обработки TFS: всегда свежая

среда без какой бы то ни было турбулентности, благодаря

поливу в противоположных направлениях (Фаза 1 и Фаза 2)

Значительное усовершенствование

На высокопроизводительных машинах система TFS размещается в последней секции первой зоны проявки после нашей, хорошо зарекомендовавшей себя, "всенаправленной" системы полива, с форуснками, осуществляющими полив во всех направлениях (вправо, влево, вдоль и против направления движения транспортёра).

Проявка паяльной маски. Машины типа LISM.

Начиная с момента появления на рынке первых жидких фотокрасок для паяльных масок, фирма РЕСКО сотрудничает с производителями красок и, таким образом, может предложить широкую гамму машин для проявки фоточувствительных паяльных масок.

Рисунок 3, машина проявки паяльной маски типа LISM ADF 30

Жидкий фоторезист может проникать в отверстия. В связи с этим, с нижней стороны заготовки монтируется система форсунок высокого давления. Система располагается в конце второй секции проявки.

Направленные вертикально снизу струи выбивают из каждого отверстия остатки резиста. (Рисунок 4 )

Рисунок 4, форсунки, опрыскивающие

плату снизу с очень узким углом струи

Расстояние между соплами на распределительном трубопроводе этой секции, и, следовательно, механическое воздействие струи обработки может быть быстро отрегулировано в соответствии со специфическими особенностями любых типов резиста (как обычного так и паяльной маски).

Процесс снятия фоторезиста.

Точность химического процесса имеет вторичное значение по сравнению с механической энергией струй жидкости для снятия фоторезиста. Давление насоса, форма губок форсунок, скорость потока, а также расстояние от губок форсунок до платы (энергия воздействия) рассчитываются для обеспечения наилучшего механического воздействия для снятия фоторезиста благодаря большому опыту создания подобных машин.

СИСТЕМЫ ФИЛЬТРАЦИИ

РЕСКО может поставить наиболее подходящую систему фильтрации под любые производственные потребности. В отличии от большинства существующих на рынке систем, вся жидкось, поступающие от форсунок, полностью фильтруются перед возвращением в низлежащие ёмкости.

Сетчатый фильтр

Стандартные, быстросъемные СЕТЧАТЫЕ ФИЛЬТРЫ легко удаляются без использования инструмента для быстрой и простой операции очистки. Они устанавливаются на машинах малой и средней производительности (Mini Stripper, Compact Stripper, Compact Stripper HVP).

Бумажный ленточный фильтр

Для машин средней производительности в случае их постоянного и непрерывного использования рекомендуется использовать, предлагаемый как опция, БУМАЖНЫЙ ЛЕНТОЧНЫЙ ФИЛЬТР - внешнюю систему фильтрования с использованием бумажной ленты. Большая поверхность бумаги, поступающая с внешнего рулона бумаги и лежащая на крупнозернистой сетке, постоянно фильтрует всю жидкость из зоны снятия фоторезиста. По мере истощения фильтрующей способности сетка автоматически перемещается вперед и новый чистый участок бумажного фильтровального полотна заменяет использованный.

Рисунок 5, бумажный ленточный фильтр

Автоматический сборщик пленки фоторезиста

Для машин высокой и очень высокой производительности (ADF Stripper 30, ADF Stripper 50 и более производительных) можно смонтировать автоматическую систему, в которой пленка фоторезиста собирается на медленно вращающемся ленточном конвейере из синтетического материала, отделяется от фильтровального полотна струями воздуха или жидкости, а затем попадает в большой сетчатый фильтр, размещенный вне машины.

Рисунок 6, Закрытый ленточный фильтр

Система удаления и утилизация пленки фоторезиста

Эта система автоматически удаляет снятую пленку фоторезиста и направляет ее во внешние баки, расположенные в удалении от машины. Благодаря этому, машину можно эксплуатировать без ручного обслуживания, такого как очистка фильтровальной сетки, что предотвращает контакт оператора с испарениями раствора снятия фоторезиста и исключает остановы машины.

Система состоит из двойного фильтра (бегущая и неподвижная лента) и пневмо-вакуумного насоса, который, через заданные интервалы времени, отводит удаленный материал.

 

Рисунок 7, Система удаления и утилизация пленки фоторезиста

СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО ОБНОВЛЕНИЯ РАСТВОРА

Машины проявки и снятия фоторезиста РЕСКОТРОН типа Compact и HVP оборудованы станция ERS, которая служит не только зоной отжима и предотвращения выноса раствора, но и, будучи подключенной к дополнительному «дозировочному баку», является «системой автоматического обновления раствора». В этом качестве свежий раствор добавляется к рабочему раствору пропорционально количеству и размерам обрабатываемых плат. Свежим раствором выполняется последнее ополаскивание платы, что сокращает загрязнение промывочной воды. Все типы машин могут комплектоваться системой, называемой «Оптическая система обновления раствора», которая посылаетс свежий проявочный раствор непосредственно в накопительную ёмкость в соответствии с количеством обрабатываемых плат.

Кроме того, для того, чтобы системы автоматического дозирования были полными, есть «система подачи пеногасителя». Она подает добавляет малые дозы пеногасителя в обе проявочные камеры посредством насоса, встроенного в машину.

Рисунок 8, станция ERS

АВТОМАТИЧЕСКОЕ ПРИГОТОВЛЕНИЕ И ПОДАЧА ПРОЯВОЧНОГО РАСТВОРА

РЕСКО может поставить систему для автоматического приготовления раствора проявителя нужной концентрации. Система состоит из большого бака, содержащего такой же объем жидкости как и в проявочной машине и бака для концентрированного Na2C03. Приготовленный раствор, автоматически подаётся, по необходимости, в машину. Автоматическое устройство заполняет бак водой и концентратом. Точность приготовления раствора необходимой концентрации определяется устройством измерения электропроводности, в то время, как перемешивающее устройство поддерживает перемешивание раствора в баке.

 Рисунок 9, автоматическое управление

приготовлением проявочного раствора

СИСТЕМА ТРАНСПОРТИРОВКИ

Горизонтальная система транспортировки РЕСКО основана на большом опыте работы фирмы. Необходимость обработки всё более и более нежных плат с тонкими дорожками привела фирму РЕСКО к разработке и выпуску эффективной и безопасной системы, подходящей для для наиболее сложных условий. Фактически, на линиях РЕСКО уже сейчас можно обрабатывать платы толщиной 0,05 мм с двухсторонним медным покрытием, не применяя ракорда спереди платы, достигая наилучших результатов, благодаря применению специальных мостиков и наборов титановых рамок (Рисунок 10) предотвращающих образование теневых зон на платах.

Более того, в частности, для гибких и сложных печатных плат, верхние ролики обладают специальным рифленым покрытием для предотвращения «натыкания» на ролик и наматывания вокруг них. Для транспортировки жестких и полужестких печатных плат РЕСКО использует ролики с УГЛЕВОЛОКОННЫМ сердечником, покрытым мягким ПВХ (Рисунок 11), таким образом обеспечивая отличную цилиндричность и горизонтальность, условия, необходимые для предотвращения повреждения резиста, защищающего медное покрытие, а также для обеспечения прямолинейного, соответствующего исходному, расположения плат, исключая их проскальзывание или боковое смещение, даже при работе на очень длинных скоростных технологических линиях. Устойчивость углеволокна к деформациям, фактически, значительно превосходит сталь и титан. Один транспортный ролик РЕСКО может выдержать вес взрослого человека. Обычные транспортировочные ролики (могут легко гнуться, а тяжелые платы, лишь частично удерживаемые жесткими транспортировочными дисками (Рисунок 12), могут продавить и деформировать мягкую сухую пленку и вызвать повреждение платы. Цилиндрическая форма роликов РЕСКОТРОН обеспечивает отжим плат каждые 60 мм, что позволяет плате переходить под следующую струю без застоя жидкости, что замедляло бы время проявки и снятия фоторезиста.

Рисунок 10, специальные мостики между роликами

для транспортировки гибких печатных плат

Рисунок 11, идеально цилиндрические мягкие ролики

с углеволоконным сердечником

Рисунок 12, обычные конвейерные ролики,

с повреждающими жесткими дисками

Машины или модули	MINI DEVELOPER	DEVELOPING MODULE	COMPACT DEVELOPER	COMPACT DEVELOPER HVP	ADF DEVELOPER 30	ADF DEVELOPER 50	ADF DEVELOPER 70	MINI STRIPPER	STRIPPING MODULE	COMPACT STRIPPER	COMPACT STRIPPER HVP	ADF STRIPPER 30	ADF STRIPPER 50	ADF STRIPPER 70
Производительность, м2/час	5	+10	10	20	30	50	70	5	+10	10	20	30	50	70
Длина машины, мм	1000	855	1710	2070	2610	3150	3690	1000	855	1710	2070	2910	3390	3870
Макс. ширина машины, мм	1170	1400	1400	1400	1400	1400	1400	1170	1400	1400	1400	1525	1525	1525
Рабочая высота, мм	620	960	960	960	960	960	960	620	960	960	960	960	960	960
Рабочая ширина, мм	450	610	610	610	610	610	610	450	610	610	610	610	610	610
Объем 1-го/2-го бака, л	100 /–	160 /–	200 /–	190 /120	250 /120	250 /120	300 /120	100 /–	160 /–	200 /–	190 /120	250 /120	250 /120	300 /120
Длина 1-й рабочей камеры, мм	480	660	660+ 180	780	1020	1260	1560	480	660	660+ 180	780	1020	1500	1740
Длина зоны полива 1-й камеры, мм	360	540	540	660	900	1140	1370	360	540	540	660	900	1380	1610
Длина 2-й рабочей камеры, мм	–	–	–	300	480	540	540	–	–	–	300	480	540	540
Длина зоны полива 2-й камеры, мм	–	–	–	180	300	360	360	–	–	–	180	300	360	360
Общее число линий сопел 1-й камеры	12	18	18	22	30	38	26	12	18	18	22	26	32	36
Общее число линий сопел 2-й камеры	–	–	–	6	10	12	10	–	–	–	6	10	12	10
Общее число сопел 1-й камеры	36 (24a)	44 (36a)	44 (36a)	52 (44a)	78 (76a)	a)	66	36	72	72	80	120	128	144
Общее число сопел 2-й камеры	–	–	–	12	28	30	28	–	–	–	24	40	48	48
Динамическая нагрузка, г/мм2	0,3	0,3	0,3	0,3	0,3	0,3	0,3	0,6	0,6	0,6	0,6	0,6	0,6	0,6
Система полива TFS	■	■	■	■	■	■	■	m	m	m	m	m	m	m
Зона ERS	m	m	●	●	■	■	■	m	m	●	●	■	■	■
Система автоматической дозировки	■	■	■	■	■	■	■	■	■	■	■	■	■	■
Система антивспенивания	■	■	■	■	■	■	■	■	■	■	■	■	■	■
Количество зон промывки	1	–	2	2	3	4	5	1	–	2	2	3	4	5
Макс. расход воды, л/час	16	–	8	8	8	8	8	12	–	8	8	8	8	8
Число х мощность насосов, кВт	1x0,4	1x1,1	1x1,1+ 1x0,4	1x2,2+ 1x1,1+ 1x0,4	1x2,2+ 1x1,1+ 3x0,4	2x3+ 1x2,2+ 4x0,4	2x3+ 1x2,2+ 5x0,4	1x1,1	1x2,2	1x2,2+ 1x0,4	1x3+ 1x1,1+ 2x0,4	1x3+ 1x2,2+ 3x0,4	2x3+ 1x2,2+ 4x0,4	2x4+ 1x3+ 5x0,4
Нагреватели 1-й/2-й камеры, кВт	2/–	4/–	4/–	4/2	6/4	6/4	6/4	4/–	6/–	6/–	6/4	6/4	6/4	6/4
Змеевики охлаждения	■	●	●	●с	●с	●с	●с	■	●	●	●с	●с	●с	●с
Макс. Энергоемкость, кВт	2,5	6	6,5	12	16	22	24	6	9	10	17	8	25	30
Встроенная сушка	■	m	■	■	m	m	m	■	m	■	■	m	m	m
Макс. размер плат Ш х Д, мм	450x¥	610x¥	610x¥	610x¥	610x¥	610x¥	610x¥	450x¥	610x¥	610x¥	610x¥	610x¥	610x¥	610x¥
Мин. размер плат Ш х Д, мм	20x120	20x120	20x120	20x120	20x120	20x120	20x120	20x120	20x120	20x120	20x120	20x120	20x120	20x120
Макс. толщина плат, мм	4 f	4 f	4 f	4 f	4 f	4 f	4 f	4 f	4 f	4 f	4 f	4 f	4 f	4 f
Мин. толщина плат, мм	0,05 d, e	0,05 d, e	0,05 d, e	0,05 d, e	0,05 d, e	0,05 d, e	0,05 d, e	0,05 d, e	0,05 d, e	0,05 d, e	0,05 d, e	0,05 d, e	0,05 d, e	0,05 d, e

Примечания:

m: нет ●: включая ■: опция a: с системой TFS

b: в варианте LISM дополнительно 1 кВт c: только в 1-й рабочей камере d: для толщины меньше 0,1 мм необходима версия flex e: 0,05 мм только с двухсторонним медным покрытием f: большая толщина – по запросу

Секция ERS