Некоммерческая организация «Ассоциация московских вузов»
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский институт электронной техники (технический университет)»
НАУЧНО-ОБРАЗОВАТЕЛЬНЫЙ МАТЕРИАЛ
«Технологические задачи наноэлектроники. Вакуумная микро - и наноэлектроника»
Часть 2.
Москва 2009
Порядок реализации Программы
Как следует из положений Концепции, реализация Программы подготовки специалистов высшей квалификации базируется на следующих основных направлениях:
1. Разработка индивидуальных планов для специалистов «СИТРОНИКС – МИКРОЭЛЕКТРОНИКА» по специальной программе.
2. Чтение обзорных лекций, проведение семинаров и круглых столов по прилагаемой программе.
3. Посещение лабораторий, центров коллективного пользования МИЭТ, МФТИ и СИТРОНИКС по индивидуальным планам.
Описание взаимодействия
С учетом сложившихся партнерских взаимоотношений и опыта совместной работы по подготовке специалистов для подразделений концерна «СИТРОНИКС» (на базе формирования базовых кафедр, подготовки целевых аспирантов из числа сотрудников «СИТРОНИКС-а» в аспирантуре МИЭТ) основой для создания информационно-образовательного центра была выбрана начальная структура МИЭТ-СИТРОНИКС с привлечением не только наиболее квалифицированных специалистов для преподавательской работы с обеих сторон, но и проведения совместных научно-технических работ. Также были рассмотрены возможности привлечения еще одного ведущего предприятия в области высшего специального образования – Московского физико-технического института. Поскольку именно этот институт обладает наилучшим опытом использования измерительной техники для технологических процессов в микроэлектронике, контроля параметров микроэлектронных изделий и соответственно штатом специалистов, способных наиболее эффективно принять участия в подготовке и переподготовке специалистов для концерна «СИТРОНИКС» в этом направлении.
Соглашениями между партнерами была предусмотрена так же возможность в ходе образовательной и научно-технической деятельности постоянно знакомиться в необходимых случаях и использовать оборудование предприятий-участников.
Использованные формы образовательной и научно-технической работы при реализации программы.
Ниже приведены планы работ по краткосрочной распределенной образовательной программе, включая лекционные курсы по направлениям, представляющим наибольший интерес для специалистов Концерна. В отдельных случаях, по инициативе и запросам со стороны слушателей, запланировано проведение семинаров и консультаций с привлечением наиболее компетентных специалистов, в том числе из организаций, не включенных в систему работающего информационно-образовательного центра. Кроме того, по запросам со стороны Концерна, реализуются индивидуальные программы по подготовке специалистов высшей квалификации в направлениях, отвечающих наиболее важным задачам развивающейся технологии Концерна. Ниже будут приведены примеры реализации таких индивидуальных программ и их результаты, полученные к настоящему времени.
Примеры реализации индивидуальных программ в области подготовки специалистов высшей квалификации для Концерна «СИТРОНИКС».
В данном разделе будут рассмотрены примеры реализации индивидуальных программ, разработанных для ведущих инженеров концерна «СИТРОНИКС», которые обеспечивают измерительные потребности Концерна.
1) .
Его работа посвящена развитию рентгеновских методов для внедрения в производственный процесс Концерна. Работа базируется на использовании уникального рентгеновского комбайна «МиниЛаб-6», разработанного и изготовленного Институтом рентгеновской оптики (г. Москва) на основе оригинальных технических решений под руководством профессора . Предварительными экспериментами было установлено, что одна из основных возможностей этого комбайна состоит в измерении параметров многослойных структур с точки зрения определения с большой точностью толщины слоев, их состава, однородности по толщине и составу, шероховатости границ раздела между слоями, переходного слоя между подложкой и многослойной структурой, а также внешней поверхности. Экспериментально установлено, что сама методика вполне пригодна для массовых измерений в ходе производственного цикла, однако требует доработки с точки зрения расшифровки экспериментальных результатов путем решения обратной задачи.
совместно с сотрудниками МИЭТ (под руководством проф. Герасименко) разработал ряд оригинальных компьютерных программ, которые позволили сократить время обработки в 10 раз и резко увеличить точность измерения параметров структуры.
При этом согласно индивидуальному плану должен был подробно изучить не только литературу по современных подходам к поставленным задачам, но и работать в постоянном тесном контакте со специалистами как организации-разработчика (Института рентгеновской оптики), так и со специалистами МИЭТ. В отдельных случаях к работе (путем обсуждения и консультации) привлекались специалисты физического института РАН им. и МГУ.
К настоящему времени результатом процесса индивидуального обучения и совместной научно-технической работы можно считать накопленный опыт и квалификацию, что делает его специалистом высшей квалификации из числа остро необходимых для реализации задач Концерна. Им подготовлено к настоящему времени 4 статьи и организовано выступление на 3-х международных конференциях.
2) .
В соответствии с индивидуальным планом обучения этому ведущему инженеру Концерна было предложено совершенствоваться в области расширения возможностей использования фокусированных ионных пучков для различных производственных потребностей Концерна. Работа проводилась на базе постановки научной задачи, однако для ее решения было необходимо освоения большого информационного материала, как из периодической литературы, так и путем систематической самостоятельной образовательной деятельности.
Оказалось, что освоение новых методов работы позволило обнаружить ряд ранее неизвестных эффектов, что послужило основой для постановки специальных экспериментов, проводимых совместно специалистами МИЭТ, МФТИ и «СИТРОНИКС». Результаты оказались совершенно неожиданными, важными для производства и принципиально расширяющими фундаментальные знания о взаимодействии твердых тел с ионными пучками большой плотности. Эти результаты также обсуждались на международных конференциях и к настоящему времени стали основой для готовящейся публикации, вероятно, в зарубежной печати. Последнее обстоятельство вызвано тем, что важность полученных результатов выходит за рамки чисто производственных нужд и открывает новые перспективы в понимании фундаментальных процессов, в том числе происходящих в наноструктурах.
Оба приведенных выше примера должны быть дополнены еще и той информацией, что входе реализации индивидуальных планов оба специалиста продемонстрировали не только увеличение своего научно-технического потенциала, но и возросшие возможности (и потребность!) к самообразованию, коллективному творчеству. Оба этих примера дают возможность предполагать, что установившееся в ходе совместных работ контакты будут развиваться и использоваться в дальнейшем.
Следует добавить, что образовательная компонента этих примеров включает в себя еще и обратную связь, состоящую в том, что оба специалиста получили дополнительную возможность (обучились) самостоятельно преподавать, вести научные дискуссии, руководить научными группами.
Распределенная образовательная программа на краткосрочные курсы по повышению квалификации в направлении «Микро - и наноэлектроника»
Научный руководитель мероприятия:
, д. ф.м. н., профессор, МИЭТ.
Заместители научного руководителя мероприятия:
, д. т.н., профессор, СИТРОНИКС.
, д. ф.-м. н., профессор, МФТИ.
№ п/п | Название раздела и подраздела | Исполнитель (вуз, партнер) | Кол-во часов |
1 | Раздел 1.: Материаловедческие проблемы микро- и наноэлектроники. Задачи: Развитие современных представлений, ознакомление с новейшими результатами и получение знаний по новым фундаментальным принципам и технологическим направлениям в области материаловедческих проблем микро - и наноэлектроники. | МИЭТ | |
Подраздел 1. Материалы для электронных наноструктур. | 6 | ||
Подраздел 2. Кремний в наноэлектронике. | 6 | ||
Подраздел 3.Силициды в микро - и наноэлектронике. | 6 | ||
Подраздел 4.Новые типы диэлектриков для микро - и наноэлектроники. | 6 |
Ответственный за раздел: профессор
№ п/п | Название раздела и подраздела | Исполнитель (вуз, партнер) | Кол-во часов |
2 | Раздел 2. Технологические задачи наноэлектроники. Задачи: Развитие современных представлений, ознакомление с новейшими результатами и получение знаний по новым фундаментальным принципам и технологическим направлениям в области технологических задач наноэлектроники. | СИТРОНИКС | |
Подраздел 1. Разработка энергонезависимой памяти на основе наноразмерных слоев в МОНОП структурах | 6 | ||
Подраздел 2. Разработка энергонезависимой памяти на основе наноразмерных слоев ЦТС | 6 | ||
Подраздел 3. Вакуумная микро - и наноэлектроника | 6 |
Ответственный за раздел: профессор
№ п/п | Название раздела и подраздела | Исполнитель (вуз, партнер) | Кол-во часов |
3 | Раздел 3. Современное состояние и тенденции развития в мировой микро - и наноэлектронной индустрии. Задачи: Развитие современных представлений, ознакомление с новейшими результатами и получение знаний по новым фундаментальным принципам и технологическим направлениям в области мировой микро - и наноэлектроннной индустрии. | МИЭТ | |
Подраздел 1. Состояние микро - и наноэлектроники в России. | 6 | ||
Подраздел 2. Состояние микро - и наноэлектроники в развитых странах мира (США, Япония, страны ЕС и Юго-Восточной Азии) | 6 | ||
Подраздел 3. Дорожные карты по микро - и наноэлектронике. | 6 |
Ответственный за раздел: профессор
№ п/п | Название раздела и подраздела | Исполнитель (вуз, партнер) | Кол-во часов |
4 | Раздел 4. Входной контроль исходных материалов. Задачи: Развитие современных представлений, ознакомление с новейшими результатами и получение знаний по новым фундаментальным принципам и технологическим направлениям в области контроля материалов микро - и наноэлектроники. | МФТИ | |
Подраздел 1. Контроль состава и структуры исходных материалов. | 6 | ||
Подраздел 2. Контроль по электрофизическим и оптическим параметрам. | 6 | ||
Подраздел 3. Существующие и разрабатываемые системы контроля. | 6 |
Ответственный за раздел: профессор
Заключение.
Анализ полученных в ходе работы результатов позволяет выделить следующие важные моменты, которые могут и должны быть использованы при решении задач, связанных с подготовкой специалистов высшего звена для наиболее быстроразвивающихся научно-технических направлений. Речь идет не только о специалистах, непосредственно занятых в производстве, но и о тех, кто с производством соприкасается, а именно: участвует в разработках и проектировании новых товаров и изделий, процессов и оборудования для их производства, прогнозирования рынка, планирования общегосударственных, локальных расходов, системы организации и планирования производства и всей системы развития отрасли. Особенно хочется подчеркнуть, что переподготовка и дополнительное образование менеджеров, руководящих работников сверху донизу, работников аппарата, включая, прежде всего, аппарат государственных органов должен быть предметом постоянного и пристального внимания, поскольку квалифицированное управление, проектирование и прогнозирование, прежде всего, нуждаются в постоянном отслеживании новейших результатов технического и организационного направлений, в постоянном анализе, обобщении и вовлечение в процессы реализации. К этому следует добавить, что такой подход подчас наталкивается на психологические проблемы, связанные с убеждением обличенных властью людей, что они и так «всё знают», что здесь «всё ясно». Некомпетентность, связанная с отсутствием повышения образовательного уровня, не вызывает отрицательного отношения еще и потому, что в значительной степени отсутствует, с одной стороны, система жёсткой персональной ответственности за принятие неадекватных решений, недостаточной настойчивости и оперативности, а с другой - не достаточное внимание к обобщению и поощрению передового опыта и новых идей. Было бы целесообразно обратить особое внимание на создание и систематическое обновление «обратной связи», что подразумевает непременное публичное обсуждение итогов проведенных работ (особенно в государственном масштабе) с реализацией всех вышеупомянутых моментов.
Если говорить о решении задач, поставленных при реализации данного проекта, а именно о подготовки специалистов высшей квалификации и переподготовки действующих специалистов, которые обладают значительным опытом, но начальное систематическое образование в вузе получили некоторое время тому назад, то можно отметить, что на базе кластеров, реализующих как старые устоявшиеся формы передачи информации, так и новые формы, учитывающие специфику обучающегося персонала, в ходе проекта были реализованы. Следует также отметить, что вовлечение подобного рода специалистов в образовательный процесс оказало существенное воздействие также и на понимание и вкус к постоянно возобновляющемуся образовательному процессу, то есть к самообразованию. Отметим также, что вовлечение в систему образования кластеров, включающих передовые вузы, дало возможность ознакомить обучающихся специалистов с новыми образцами оборудования, а в некоторых случаях и использовать это оборудование для решения собственных производственных проблем. В ходе реализации программы обучения неоднократно использовались возможности вузовских специалистов и производственников для обсуждения научно-технических проблем, иногда остро стоящих перед производством, мешающих его эффективному развитию. Эта форма общения, по-видимому, не будет ограничиваться во времени только периодом процесса обучения.
В ходе реализации проекта его участниками неоднократно поднимались вопросы, которые, хотя и не нашли окончательного решения в ходе выполнения программы, однако, их общность позволила рассмотреть возможность их обсуждения и решения в дальнейшем. Например, многократно обсуждались вопросы эффективного использования возможностей Центров коллективного пользования. Эти возможности могут быть расширены не только за счет разработки наиболее эффективных организационных форм на базе уже имеющегося внутри страны опята, но и с учетом зарубежного опыта, например, опыта подобных структур, внутри Европейского экономического сообщества.
Другие положительные стороны взаимодействия внутри информационно-образовательного центра также отмечены. Они касаются не только новых методических подходов, к самому образовательному процессу, но и организационно-юридических форм, чему, во время реализации проекта, уделялось особое внимание.
