Н. В. ТАТАРИНОВА, А. С. БАРЫШНИКОВ1, С. Б. НЕСТЕРОВ1

Московский инженерно-физический институт (государственный университет)
1Московский энергетический институт (технический университет)

исследование газонасыщенности нераспыляемого геттера

Газонасыщенность нераспыляемого геттера определяется с помощью токов пороэмиссии в вакууме при отрицательной полярности геттера.

Разработанные методы исследования сорбционно-десорбционных характеристик геттеров практически нельзя использовать для определения их газонасыщенности в работающих вакуумных установках [1].

Было предложено оценить газонасыщенность геттера с помощью токов в вакууме, возникающих за счет процессов в порах геттера под воздействием внешнего напряжения [2]. В этом способе исследуемый геттер является катодом, а подводящий к нему на некоторое расстояние электрод–анодом. При появлении вблизи поверхности поры электрического поля напряженностью ~5×102 В/см появляется ток через вакуумный промежуток (пороэлектронная и пороионная эмиссии). Эти эмиссии возникают вследствие резонансной десорбции газа при наличии на поверхности молекул воды, кислорода, азота и т. д. [3].

В данной работе представлены результаты исследования титано-ванадиевого нераспыляемого геттера, изготовленного из порошкового материала.

Исследуемый геттер был помещен в вакуумный стеклянный прибор под анодом на расстояние d = 4 мм. Измерялся линейный участок ВАХ при давлении не выше 10–6 мм. рт. ст.

На рисунке показаны линейные участки ВАХ после прогрева геттера до 240°С (кривая 1) после выдержки при давлении р = 78 мм. рт. ст. (кривая 2) и далее через день (кривая 3), два (кривая 4) и три (кривая 5) дня от начала откачки.

Из рисунка хорошо виден ступенчатый характер изменения тока при одних и тех же напряжениях, что не наблюдалось для напыленных геттеров [4, 5]. Вероятно, это связано со спецификой микрогеометрии поверхности исследуемого геттера.

Наблюдалось восстановление эмиссионной способности геттера после длительного отбора тока, которую можно объяснить диффузией газа из объема к поверхности.


Список литературы

1. В, Быков Д. В, Н, Тихонов плазмонапыленные газопоглотители // Саратовский университет. 1996.

2. В, Мурадян измерения количества газа, поглощенного геттером // а/с № 000. Бюл. №

3. Bernheim M, Ting-di Wu. Negative-ion desorption during electron impact on water adsorbed layers // Материалы 10-й Всесоюзной конференции «Взаимодействие ионов с поверхностью». Звенигород. Россия. 1991. С.207.

4. Татаринова электроизоляция (обзор) // Вакуумная техника и технология. 2003. Т.13. №1. С.3-28.

5. В, Барышников газонасыщенности электродов на токи в вакуумном промежутке // Материалы 10-й научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника». Судак. Украина. 2003. Т.2. С.368.