5, 1, A. A. Ионин2, 1, 2, 3, 4,
2, 2, 2
1Белгородский государственный университет
2Физический институт им. РАН, Москва
3Институт общей физики им. РАН, Москва
4Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
5Московский государственный университет им.
ФОРМИРОВАНИЕ структур на поверхности кремния под действием фемтосекундных
лазерных импульсов
Одним из перспективных материалов для создания новых оптических устройств является микро - и наноструктурированный кремний. В данной работе произведено структурирование поверхности кремниевого образца в воздухе фемтосекундными лазерными импульсами длительностью 100 фс инфракрасного (λ = 750 нм) и ультрафиолетового (λ = 250 нм) диапазонов. При различных интенсивностях и числе импульсов получены квазипериодические субмикронные и микронные структуры. Изучена динамика развития данных структур и исследованы особенности полученных поверхностей.
