Е. В. БАСИСТЫЙ, В. А. КОМОЦКИЙ, Ю. М. СОКОЛОВ
Российский университет дружбы народов, Москва
О ТОЧНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ ГЛУБИНЫ РЕЛЬЕФА
ПЕРИОДИЧЕСКИХ ПРЯМОУГОЛЬНЫХ РЕШЕТОК
ЛАЗЕРНЫМ ЗОНДИРОВАНИЕМ
Предложена методика измерения глубины периодических прямоугольных структур, полученных методом травления подложки. Методика основана на измерении интенсивностей дифрагированных волн нулевого и первого порядков. Диапазон измеряемых глубин от десятков нанометров до нескольких микрометров. Метод может быть использован для измерения глубин структур-отражателей поверхностных акустических волн. Проведена оценка точности измерений. Представлены экспериментальные результаты измерений для нескольких образцов с различной глубиной рельефа и с различными периодами. Проведены контрольные измерения этих образцов на высокоточном профилометре Dectak 150. Получено достаточно хорошее совпадение результатов измерений с контрольными, при этом отклонение не превышает 5 %.
