Программа спецкурса
“Электронно-зондовая диагностика материалов и приборов микроэлектроники”
5 курс, 523 группа, весенний семестр
лектор – вед. науч. сотр.
1. Введение. Проблемы неразрушающей локальной диагностики в современной микроэлектронике.
2. Обзор современных методов диагностики и контроля качества полупроводниковых устройств. Физика отказов.
3. Основные положения диагностической микротомографии объектов микроэлектроники.
4. Методы растровой электронной микроскопии, используемые при неразрушающем бесконтактном контроле в микроэлектронике.
5. Потенциальный контраст и измерение потенциального рельефа на поверхности кристаллов. Тестирование интегральных микросхем.
6. Возможности наведенного электронным пучком тока для определения микронеоднородностей в кристалле и измерения фундаментальных параметров полупроводников.
7. Растровая электронная термоакустическая микроскопия объектов микроэлектроники. Акустическая микроскопия.
8. Бесконтактный режим индуцированной электронной ЭДС в растровом электронном микроскопе.
9. Некоторые нестандартные способы РЭМ-диагностики электрофизических параметров полупроводников.
10. Спектроскопия и микротомография в обратнорассеянных электронах.
11. Диагностика многослойных структур в РЭМ.
12. Рентгеновская микротомография радиоэлектронной аппаратуры.
13. Инфракрасная лазерная томография полупроводниковых кристаллов.
14. Сканирующая туннельная и силовая микроскопия в микроэлектронике.
15. Проблемы субмикронной зондовой метрологии.
16. Перспективные диагностические зондовые методы, их потенциальные возможности в технологии и контроле микроэлектронных структур.
