Б. И. Подлепецкий, М. Ю. НИКИФОРОВА
Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»
ИНЖЕНЕРНО-ФИЗИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ ДЛЯ РАСЧЕТА ХАРАКТЕРИСТИК МДП-ТРАНЗИСТОРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ДАТЧИКОВ С УЧЕТОМ ВЛИЯЮЩИХ ФАКТОРОВ
Разработаны инженерно-физические модели на основе аппроксимации экспериментальных данных для расчётов характеристик интегральных датчиков (ИД) на основе МДП-транзисторных чувствительных элементов (ТЧЭ). Модели связывают электрические параметры различных схемных конфигураций датчиков с конструктивно-технологическими и электрофизическими параметрами ТЧЭ, позволяя аналитически рассчитывать метрологические и эксплуатационные характеристики ИД. Приводятся результаты моделирования характеристик интегральных датчиков на основе газочувствительных ТЧЭ с учетом действия влияющих факторов, в частности, заряда поверхностных состояний. Даны рекомендации по практическому применению интегральных газочувствительных датчиков на основе ТЧЭ в условиях действия внутренних и внешних влияющих факторов.
