1.2.
Физика тонких пленок
Учебный план № 000 (версия № 3)
ИЕН.268.62.2015
Код ООП | Направление/ Специальность | Профиль/Программа магистратуры/ Специализация | Код дисциплины по учебному плану |
222900.62-01-2011 | Нанотехнологии и микросистемная техника | Материалы микро - и наносистемной техники | Б.3. 3.30.2 |
Рабочая программа дисциплины составлена авторами:
№ п/п | ФИО | Ученая степень, ученое звание | Должность | Кафедра | Подпись |
1 | к. ф.-м. н. | доцент | компьютерной физики | ||
2 | к. ф.-м. н. | доцент | компьютерной физики |
Рабочая программа одобрена на заседании кафедр (учебно-методических советов):
№ | Наименование кафедры (УМС) | Дата заседания | Номер протокола | ФИО зав. кафедрой (предс. УМС) | Подпись |
1 | Кафедра компьютерной физики (читающая кафедра) | 04.06.2014 | № 6 | ||
2 | Кафедра физики низких температур (выпускающая кафедра) | 06.06.2014 | № 000 |
7. УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКОЕ И ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
7.1.Рекомендуемая литература
7.1.1.Основная литература
1. Pelliccione M. and Lu T.-M. Evolution of thin film morphology. Modeling and Simulations. Springer, 2008, 204 c.
2. , , Сейдман технология и оборудование для нанесения и травления тонких пленок. М.: Техносфера, 2007, 176 с.
3. Machlin E. S. The relationships between thin film processing and structure. Elsevier, 2005, 256 c.
4. Harsha K. S.S. Principles of vapor deposition of thin films. Elsevier, 2006, 1160 c.
7.1.2.Дополнительная литература
1. Физика тонких пленок: современное состояние исследований и технические применения. Том 2. Под редакцией Г. Хасса, . М.: Мир, 1967, 396 с.
2. Данилин нанесение тонких пленок. М.: Энергия, 1967, 312 с.
3. Основы анализа поверхности и тонких пленок. М.: Мир, 1989, 344 с.
4. , Хохлов тонких пленок: Учебник для вузов. М.: Высшая школа, 2000.
5. , Папиров пленки. М.: Наука, 1970.
6. , Осипов конденсации тонких пленок. Успехи физических наук, Т. 168, № 10, с.1083-1116.
7. Donald Mattox M. D. Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing: Film Formation, Adhesion, Surface Preparation and Contamination Control. NOYES Publications, 1998, 945 c.
8. Handbook of Thin-Film Deposition Processes and Techniques: Principles, Methods, Equipment and Applications, Second Edition, Edited by Seshan K. NOYES Publications, 2002, 629 c.
9. Ohring M. Materials science of thin films: deposition and structure. Second edition, 1991, 794 c.
10. Технология тонких пленок. Том 1, 2. Справочник. Под редакцией Л. Майссела, Р. Глэнга. М.: Советское радио, 1977, 664 с (Том 1), 768 с (Том 2).
7.1.3.Методические разработки
не используются
7.2. Программное обеспечение
Операционные системы семейства MS Windows, математические пакеты обработки данных и научной графики.
7.3. Базы данных, информационно-справочные и поисковые системы
Электронные ресурсы образовательного портала edu. ru.
Электронная библиотека УрФУ opac. urfu. ru
Портал информационно-образовательных ресурсов УрФУ study. urfu. ru
7.4.Электронные образовательные ресурсы
не используются
