

1.Цель и задачи дисциплины
1.1 Краткое содержание дисциплины
Сфера нанотехнологий считается во всем мире ключевой темой для технологий XXI века. Возможности их разностороннего применения в таких областях экономики, как производство полупроводников, медицина, сенсорная техника, экология, автомобилестроение, строительные материалы, биотехнологии, химия, авиация и космонавтика, машиностроение и текстильная промышленность, несут в себе огромный потенциал роста. Применение продукции нанотехнологий позволит сэкономить на сырье и потреблении энергии, сократить выбросы в атмосферу и будет способствовать тем самым устойчивому развитию экономики.
То обстоятельство, что квантово-размерные структуры находятся в центре внимания именно сейчас, вызвано интенсивным развитием в последние годы технологии изготовления полупроводниковых структур ̶ молекулярно-лучевой эпитаксии, газофазной эпитаксии, нанолитографии, открытием явления самоорганизации наноструктур. Это дает возможность создания такого рода структур любого профиля с точностью до одного атомного слоя.
1.2. Цели преподавания дисциплины
С одной стороны, нанотехнологии уже нашли сферы применения, с другой – они остаются для большинства населения областью научной фантастики. В будущем значение нанотехнологий будет только расти. В специализированной области это будет пробуждать интерес и стимулировать проведение исследовательских и опытно-конструкторских работ, а также работ по нахождению новых областей применения нанотехнологий. Очевидным необходимым условием развития данного процесса является усиленное внедрение основ науки о нанотехнологиях в образовательные программы в вузах. Это поможет сократить сохраняющийся дефицит молодых специалистов в этой области.
Цель дисциплины научить связывать физические свойства материалов с их структурой и фазовым состоянием, выявлять классические и квантовые размерные эффекты в материалах, анализировать особенности физических свойств наноматериалов, использовать физические свойства для анализа структуры, фазового состояния; а также для формирования рабочих характеристик материала.
1.3 Задачи преподавания дисциплины
- раскрыть сущность основных представлений, законов теорий классической и современной физики твердого тела в их внутренней взаимосвязи и целостности,
- изложить принципиальных понятий физики твердого тела для систем пониженной размерностью и развитие основ понимания физических процессов протекающих в этих системах при внешних воздействиях, а также изложить элементарные представления об использовании этих явлений в современных областях техники.
Цель курса – посвящена рассмотрению частного аспекта квантовой электроники, а именно описанию физических принципов действия лазеров и их характеристик.
Дать возможность слушателю усвоить и знать:
• принципы действия лазеров и их характеристик;
• ставить проблемы, анализировать известные материалы по данной проблеме, выбрать оптимальные способы решения;
• на базе фундаментальных законов квантовой физики оценивать эффективность лазерных установок.
1.4 Пререквизиты: Высшая математика, векторный анализ, физика конденсированного состояния, основы квантовой механики.
1.5 Постреквизиты:Общепрофессиональные и специальные дисциплины.
2. Система оценки знаний студентов.
2.1. Распределение рейтинговых процентов по видам контроля
Таблица 1
Вид итогового контроля | Виды контроля | % |
Экзамен | Итоговый контроль | 100 |
Рубежный контроль | 100 | |
Текущий контроль | 100 |
2.2 Календарный график сдачи всех видов контроля
Таблица 2
Недели | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | 10 | 11 | 12 | 13 | 14 | 15 |
Виды контроля | - | ЛР | ЛР СР | ЛР СР | СР | К | ЛР | РК | ЛР | ЛР СР | ЛР СР | СР | К | ЛР СР | РК |
Недель. количес.. контр. | 1 | 2 | 2 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 1 | 2 | 1 | |
Виды контроля: ЛР –Лабораторные занятие, К – контрольная работа, СР - самостоятельная работа, РК – рубежный контроль |
Итоговая оценка по дисциплине определяется по шкале (таблица 3 ).
2.3 Оценка знаний студентов
Таблица 3
Оценка | Буквенный эквивалент | Рейтинговый балл (в процентах %) | В баллах |
Отлично | А | 95 - 100 | 4 |
А- | 90 - 94 | 3,67 | |
Хорошо | В+ | 85 - 89 | 3,33 |
В | 80 - 84 | 3,0 | |
В- | 75 - 79 | 2,67 | |
Удовлетворительно | С+ | 70 - 74 | 2,33 |
С | 65 - 69 | 2,0 | |
С- | 60 -64 | 1,67 | |
D+ | 55 - 59 | 1,33 | |
D | 50 - 54 | 1,0 | |
Неудовлетворительно | F | 0 - 49 | 0 |
3. Содержание дисциплины
3.1. Тематический план курса.
Таблица 4
№ п/п | Наименование темы | Количество | |||
Лекц. | лаб. заня. | СРСП | СРС | ||
1 | Предмет физики низкоразмерных систем. Основные представления. | 2 | 1 | 3 | 3 |
2 | Плотность состояний. Квантовые ямы, проволоки и точки. | 2 | 1 | 3 | 3 |
3 | Создание нанообъектов по принципам «сверху – вниз» и «снизу – вверх». Основные научные термины и определения. | 2 | 1 | 3 | 3 |
4 | Основы нанотехнологии консоли-дированных материалов. | 2 | 1 | 3 | 3 |
5 | Контролируемая кристаллизация из аморфного состояния. Основы технологии полимерных, пористых, трубчатых и биологических наноматериалов. | 2 | 1 | 3 | 3 |
6 | Технология пленок и покрытий. Основные методы создания наноструктур. | 2 | 1 | 3 | 3 |
7 | Зондовые методы нанолитографии. | 2 | 1 | 3 | 3 |
8 | Метод локального зондового окисления. | 2 | 1 | 3 | 3 |
9 | Особенности наноструктуры наноматериалов | 2 | 1 | 3 | 3 |
10 | Зерна, слои, включения и поры в консолидированныхнаноматериалах. | 2 | 1 | 3 | 3 |
11 | Основные особенности проявления размерных эффектов в наноматериалах. Электронное строение наноматериалов. Квантовые эффекты. | 2 | 1 | 3 | 3 |
12 | Фазовые равновесия и термодинамика наноматериалов. | 2 | 1 | 3 | 3 |
13 | Проводимость, оптические характеристики, диэлектрическая проницаемость и теплопроводность наноматериалов. | 2 | 1 | 3 | 3 |
14 | Механические свойства наноструктурных материалов. Наноматериалы со специальными физическими свойствами. | 2 | 1 | 3 | 3 |
15 | Туннельный эффект. Методы и приборы для изучения, анализа и диагностики наночастиц и наноматериалов. | 1 | 3 | 3 | |
Итого | 30 | 15 | 45 | 45 |
3.2. Содержание лекционных занятий
Таблица 5
Наименование тем лекции | Содержания лекции | Литература | Объем, час. |
Предмет физики низкоразмерных систем. | История возникновения низкорезмерных систем и наноэлектроники. Основные представления. | Осн.2 [5-15], 4 [10-35] | 2 |
Плотность состояний. | Плотности состоянии: 1D, 2D 3D и 0D. Квантовые ямы, проволоки и точки. | Осн. 1 [7-25], 2 [35-56] Доп. 1 [12-36] | 2 |
Создание нанообъектов по принципам «сверху – вниз» и «снизу – вверх». | Создание нанообъектов. Основные научные термины и определения. | Осн. 1 [45-58], 2 [87-95] Доп. 4 [55-78] | 2 |
Основы нанотехнологии консоли-дированных материалов. | Порошковые технологии. Конденсационный метод. Высокоэнергетическое измельчение. Механохимический синтез. Плазмохимический синтез. Синтез в условиях ультразвукового воздействия. | Осн. 2 [75-100], 3 [135-162] | 2 |
Контролируемая кристаллизация из аморфного состояния. | Основы технологии полимерных, пористых, трубчатых и биологических наноматериалов. Контролируемая кристаллизация из аморфного состояния. | Осн. 1 [125-150], 2 [98-112], 4 [45-78] | 2 |
Технология пленок и покрытий. | Основные методы создания наноструктур. | Осн. 5 [45-86], 6 [12-47] | 2 |
Зондовые методы нанолитографии. | Литография. | Осн 3 [135-160], 4 [102-125] Доп. 2 [25-45] | 2 |
Метод локального зондового окисления. | Электрохимические реакции. АСМ. | Осн. 3 [187-201], 4 [135-150] | 2 |
Особенности наноструктуры наноматериалов | Общая характеристика. Классификация консолидированных наноматериалов по составу, распределению и форме структурных составляющих. | Осн. 2 [201-215], 3 [311-127] | 2 |
Зерна, слои, включения и поры в консолидированныхнаноматериалах. | Дефекты, поверхности раздела, пограничные сегрегации. Фактор Дебая–Уоллера. | Осн 2 [167-185], 5 [87-105] | 2 |
Основные особенности проявления размерных эффектов в наноматериалах. | Электронное строение наноматериалов. Квантовые эффекты. | Осн. 1 [25-37], 2 [47-69], 3 [35-78] Доп. 4 [37-58] | 2 |
Фазовые равновесия и термодинамика наноматериалов. | Поверхностное натяжение. | Осн. 3[230-258], 4 [128-143] | 2 |
Проводимость, оптические характеристики, диэлектрическая проницаемость и теплопроводность наноматериалов. | Электросопротивление материалов. Свойство наноматериалов. | Осн. 3 [330-357], 5 [102-123] | 2 |
Механические свойства наноструктурных материалов. Наноматериалы со специальными физическими свойствами. | Твердость, прочность, пластичность, упругие характеристики. | Осн. 3 [385-401], Доп. 3 [76-95] | 2 |
Туннельный эффект.. | Методы и приборы для изучения, анализа и диагностики наночастиц и наноматериалов | Осн. 3 [404-421], 5 [98-108] | 2 |
Всего | 30 |
3.3. Содержание лабораторных занятий
Таблица 6
Наименование тем лабораторных занятий | Содержания лабораторной работы | Объем, час. |
Ознакомление со сканирующей зондовой микроскопии | Изучение основ сканирующей зондовой микроскопии. Изучение конструкции и принципов работы прибора NanoEducator. | 2 |
Получение первого СЗМ изображения. | Получение навыков обработки. Представление результатов эксперимента | 2 |
Исследование поверхности твердых тел методом сканирующей туннельной микроскопии | Изучение основ сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии. Изучение принципов работы датчика туннельного тока в приборе NanoEducator и измерение его основных параметров. Получение топографии поверхности исследуемого образца в режиме постоянного туннельного тока. | 2 |
Туннельный ток. | Получение топографии поверхности и фазового контраста исследуемого образца. | 2 |
Силовая нанолитография | Знакомство с силовой нанолитографией. Получение практических навыков выполнения динамической силовой литографии. | 2 |
Артефакты в сканирующей зондовой микроскопии | Изучение основных компонентов СЗМ, вызывающие артефакты. | 2 |
СЗМ сканеры | Изучение методов линеаризации характеристик и резонансные частоты сканеров. СЗМ зонды. Определение формы зонда и разрешения СЗМ. Методика изготовления зонда. | 3 |
Всего | 15 |
3.4. Планы занятий в рамках самостоятельной работы студентов под руководством преподавателя (СРСП)
Таблица 7
№ п/п | Задание | Форма проведение | Методические рекомендации | Литература |
1 | Получить оценку предельной толщины пленки, при которой возможно наблюдение квантово-размерных явлений, если подвижность электронов в пленке 104 cм2/(В с). | Тренинг решение задач. | Определение изменение энергетических уровней. | Осн. 2[5-12], 3 [7-15] |
2 | Какова предельная толщина пленки, при которой возможно наблюдение квантово-размерных явлений при комнатной температуре, если эффективная масса носителей m = 0.1 m0? | Тренинг решение задач. | Определение толщину пленки. | Осн. 1[69-78], 2[21-30], 3[160-211], |
3 | Для прямоугольной квантовой ямы шириной L и глубиной U получить уравнение для определения значений энергии связанных состояний. Определить число связанных состояний в яме. Найти условие, при котором расстояние по шкале энергий от вершины барьера до нижнего уровня в яме равно заданной величине Е0. | Тренинг. Решение задач. | Определения значений энергетических состояний. | Осн. 1[77-91], 2[58-88], Доп.2[20-27] |
4 | Рассмотреть цепочку из N атомов в бесконечно глубокой потенциальной яме Na. Показать, что значения энергии для векторов обратной решетки равны: | Тренинг. Решение задач. | Какое максимальное значение может принимать n? | Осн. 2[12-21], 4[47-91]. |
5 | Найти волновые функции и уровни энергии в треугольной квантовой яме, которая слева в точке z = 0 ограничена бесконечно высокой стенкой и справа потенциалом V = az. | Решение задач. | Найти волновые функции и уровни энергии. | Осн. 1[76-78], 2[81-105], Доп. 2[15-21] |
6 | Найти уравнение для определения энергии связанных состояний в яме, ограниченной справа в точке z = 0 бесконечно высокой стенкой, а справа потенциалом | Тренинг. Решение задач. | Найти уравнение для определения энергии связанных состояний в яме. | Осн. 2[19-33], 4[35-59] |
7 | Поверхность тонкой монокристаллической пленки кремния имеет ориентацию (100). Рассчитайте плотность электронных состояний в таком двумерном электронном газе. Что изменится при ориентации поверхности (111)? | Тренинг. Решение задач. | Рассчитайте плотность электронных состояний | Осн. 2[90-113], Доп. 2[56-65] |
8 | Получить выражение для экранированного потенциала точечного заряда в двумерном электронном газе. | Дискуссия | Решить уравнение Лапласа в цилиндрической системе координат. | Осн. 3[90-100], 4[23-27]. |
9 | Решить уравнение Шредингера для электронов в двумерном электронном газе, находящемся в плоскости z = 0 во внешнем магнитном поле Н = (0, 0, Нz) и электрическом поле F = (Fx, 0, 0). | Тренинг. Решение задач. | Решить уравнение Шредингера | Осн. 2[108-117], 3[145-162]. |
10 | Найти связь между концентрацией электронов и уровнем Ферми для вырожденного одномерного электронного газа. | Тренинг. Решение задач. | Найти связь между концентрацией электронов и уровнем Ферми | Осн. 2[76-78], 5[110-122] |
11 | Вычислить долю атомов, лежащих на поверхности кристаллического кластера кубической формы, составленного из 5х5х5 элементарных ячеек. Рассмотреть два случая: а) решетка простая кубическая; б) решетка кубическая объемноцентрированая. | Тренинг. Решение задач. | Вычислить долю атомов. | Осн. 3[35-40]. Доп. 2[78-85] |
12 | Уравнение Ландау в объемных твердых телах. Покажите, что энергетические уровни трехмерного тела в магнитном поле в (направлено вдоль оси z) описывается уравнением
| Тренинг. Решение задач. | Вычислит уравнение. | Осн. 4[159-179], 5[37-45] |
13 | Характеристическая магнитная длина ln электрона в магнитном поле В определяется уравнением | Тренинг. Решение задач. | Покажите что длина lm равна радиусу циклотронной орбиты электрона, соответствующему значению квантования энергии в плоскости, перпендикулярной В при п=0 | Осн. 1[76-84], 2[21-30], 3[160-211], Доп. 2[15-21] |
14 | Край спектра поглощения фуллерена С60 лежит вблизи длины волны 526 нм. Определите ширину запрещенной зоны С60. | Дискуссия | Определите ширину запрещенной зоны материала на основе фуллерена С60. | Осн. 4[96-101]. Доп. 2[56-63], 4[75-86] |
15 | Структура и связь фуллерена С60. | Дискуссия | Какого вида связью связаны между собой атомы углерода в молекуле фуллерена С60. | осн. 2[77-89], Доп. 2[73-80] |
3.5. Содержание самостоятельной работы студентов (СРС)
Таблица 8
№ | Задание | Методические рекомендации | Литература |
1 | Частицы в прямоугольной потенциальной яме | Особенности энергетического спектра частиц в системах пониженной размерности. Сдать в виде реферата. | Осн. 1[69-76], 2[5-12] |
2 | Прямоугльная потенциальная яма конечной глубины. | Особенности движения частиц в потенциальной яме. Сдать в виде реферата. | Осн. 2[5-12], 4[10-13]. Доп.4[3-15] |
3 | Структуры со удвоенной квантовой ямой | Квантовые ямы. Сдать в виде реферата. | Осн. 2[13-22], 3[15-23] |
4 | Плотности состояний в 1D системах | Распределение квантовых состояний в системах пониженной размерности | Осн. 1[76-87], 2[5-12] |
5 | Плотности состояний в 1D системах | Плотность состояний и размерность системы. Сдать в виде реферата. | Осн. 4[108-153]. Доп. 1[84-89] |
6 | Квантовые ямы, проволки и точки | Мезоскопическая физика и нанотехнология. Сдать в виде реферата. | Осн.1[68-76]. |
7 | Появление и развитие полупроводниковой наноэлектроники | Этапы развитие электроники. Сдать в виде реферата. | Осн. 2[26-39], 4[41-54]. |
8 | Основные характеристики полупроводниковых наноструктур | Физика полупроводников с пониженной размерности. Сдать в виде раеферата. | Осн. 2[39-50], Доп. 2[75-85] |
9 | Приповерхностная область пространственного заряда. Уравнение Пуассона | Экранирование электрического поля в структурах пониженной размерности. Сдать в виде реферата. | Осн. 4[44-63] |
10 | Гетеропереходы | Полупроводниковые наноструктуры и сверхрешетки. Сдать в виде реферата. | Осн. 2[19-28], 4[47-54] |
11 | Тенденция создания нанотранзисторов. | Электронные приборы на наноструктурах. Сдать в виде реферата. | Осн. 2[12-37], 4[45-53] |
12 | Лазеры на полупроводниковых гетеросруктурах. Лазеры на полупроводниковых ямах. | Оптоэлектронные устройства на основе наноструктур. Сдать в виде реферата. | Осн. 2[25-37], 4[34-53] |
13 | Особенности фононного спектра в системах пониженной размерности | Дисперсионные зависимости фононв в полупроводниковых сверхрешетках. Сдать в виде реферата. | Осн. 2[49-63], 4[59-77]. |
14 | Экспериментальные данные и элементарная теория целочисленного Квантового эффекта Холл. | Квантовый эффект Холла. Сдать в виде реферата. | Осн. 2[103-121] Доп. 4[105-115] |
15 | Квантовый эффект Холла в двумерной электронном газе. | Эксперименты с двумерным электронным газом. Сдать в виде реферата. | Осн. 4[30-39], 5[215-230]. |
3.6. График проведения занятий
Таблица 9
№ | Дата | Время | Наименование тем |
Лекции | |||
1 | Предмет физики низкоразмерных систем. | ||
2 | Плотность состояний. | ||
3 | Создание нанообъектов по принципам «сверху – вниз» и «снизу – вверх». | ||
4 | Основы нанотехнологии консоли-дированных материалов. | ||
5 | Контролируемая кристаллизация из аморфного состояния. | ||
6 | Технология пленок и покрытий. | ||
7 | Зондовые методы нанолитографии. | ||
8 | Метод локального зондового окисления. | ||
9 | Особенности наноструктуры наноматериалов | ||
10 | Зерна, слои, включения и поры в консолидированныхнаноматериалах. | ||
11 | Основные особенности проявления размерных эффектов в наноматериалах. | ||
12 | Фазовые равновесия и термодинамика наноматериалов. | ||
13 | Проводимость, оптические характеристики, диэлектрическая проницаемость и теплопроводность наноматериалов. | ||
14 | Механические свойства наноструктурных материалов. Наноматериалы со специальными физическими свойствами. | ||
15 | Туннельный эффект. | ||
Лабораторные занятия | |||
1 | Ознакомление со сканирующей зондовой микроскопии. | ||
2 | Получение первого СЗМ изображения. | ||
3 | Исследование поверхности твердых тел методом сканирующей туннельной микроскопии. | ||
4 | Туннельный ток. | ||
5 | Силовая нанолитография. | ||
6 | Артефакты в сканирующей зондовой микроскопии. | ||
7 | СЗМ сканеры. |
5. Список литературы
Список основной литературы
1. , , Рыков низкоразмерных систем. –Санкт-Петербург. Наука, -2001. -160с.
2. Введенеие в нанотехнологию: пер. с яп. /Н. Кобаяси. –М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2007.-134с.
3. , , Гридчин наноэлектроники, Москва, Логос, 2006, -496с.
4. , Ивченко свойства наноструктур, Санкт-Петербург, 2001, -188с.
5. , . Физика квантовых низкоразмерных структур. М.: Логос, 2000. -230с.
6. . Двумерные, одномерные, нульмерные структуры и сверхрешетки. Физ. фак МГУ 1998. -186с.
Материал для дополнительного чтения
1. Т. Андо, А. Фаулер, Ф. Стерн. Электронные свойства двумерных систем М. Мир 1982. -115с.
2. Полупроводниковые сверхрешетки. М, Мир, 1979. -112с.
3. Электроны в неупорядоченных средах. М.: ФИЗМАТЛИТ, 2003. -135с.
4. Квантовый эффект Холла. Под редакцией Р. Пренджа, С. Гирвина. М.: Мир, 1989. -183с.
5. , . Квазичастицы в физике конденсированного
состояния М.: ФизМатЛит 2005, -396 с.
6. J. A.Wilson, F. J.Di Salvo, S. Mahajan “Charge-density waves and superlattices in the metallic layered transition metal dichalcogenides” Adv. Phys. 50 (2001) N 8, 1171-1248
СОДЕРЖАНИЕ
1. Цели и задачи дисциплины………………………………………………….. | 3 |
2. Система оценки знаний студентов………………………………………….. | 4 |
3. Содержание дисциплины, распределение часов по видам занятий………. | 5 |
4. Содержание лекционных занятий…………………………………………... | 6 |
5. Содержание лабораторных занятий………………………………………… | 8 |
6. Содержание СРСП…………………………………………………………… | 9 |
7. Содержание СРС……………………………………………………………... | 12 |
8. График проведения занятий…………………………………………………. | 13 |
9. Список основной и дополнительной литературы………………………… | 15 |


и 