Методические рекомендации для преподавателя по организации изучения дисциплины «Технология изготовления современных ИС, МЭМС и НЭМС»
Методы преподавания: активные и интерактивные методы обучения
Система оценок: балльная
1. Базовые рекомендации по организации изучения дисциплины Дисциплина состоит из трех модулей:
1. Микро- и нанотехнологии в электронике.
2. Технология микро - наносистемной техники.
3. Технология гибридных интегральных схем.
На лекциях даются теоретические сведения о базовых технологических операциях изготовления СБИС и МСТ..
В процессе выполнения лабораторных работ приобретаются навыки проведения исследований технологических процессов, участвующих при изготовлении изделий МЭ и МЭМС..
Слушатель работает на лекции индивидуально, а на семинарах с использованием кейс-метода и деловых игр - в группах. Группы формируются по объему и сложности рассматриваемого вопроса, а функции внутри группы распределяются слушателями самостоятельно.
После изучения курса сдается экзамен.
2. Основные виды образовательных технологий и форм организации учебного процесса
Формы организации учебного процесса для достижения определенных результатов обучения и компетенций:
1. Лекции –11 занятий (22 часа)
2. Лабораторный практикум – 4 занятия (8 часов)
3. Практические занятия – 9 занятий (18 часов)
Самостоятельная работа – 16 часов.
Основные виды образовательных технологий:
1. Информационные технологии – обучение в электронной образовательной среде с целью расширения доступа к образовательным ресурсам, увеличения контактного взаимодействия с преподавателем, построения индивидуальных траекторий подготовки и объективного контроля и мониторинга знаний студентов.
2. Междисциплинарное обучение - использование знаний из разных областей, их группировка и концентрация в контексте решаемой задачи.
3. Опережающая самостоятельная работа - изучение обучающимися нового материала до его изучения в ходе аудиторных занятий.
Рекомендации по основным формам организации учебного процесса:
Лекции.
1. В начале курса внимание уделяется методологическим вопросам: предмету и задачам дисциплины, ее взаимосвязи с другими дисциплинами, истории развития.
2. В дальнейшем – последовательная, систематическая подача теоретического материала: каждое новое понятие опирается на уже изученное.
3. Акцент – на важнейшие категории; они особо выделяются в виде определений.
4. Практическая направленность теории.
5. После изучения каждого раздела необходимо дать список контрольных вопросов.
6. Лекции проводить в аудиториях, оборудованных мультимедийными средствами, для демонстрации видеолекций с синхронными слайдами.
Лабораторный практикум.
Лабораторный практикум формирует следующие компетенции:
способность к исследованию процессов изготовления основных интегральных элементов СБИС и МЭМС, составлению кратких технологических маршрутов;
- проводить анализ, систематизацию и обобщение полученных расчетных данных, подготовку материалов для составления отчетов;
владение методами разработки и исследования технологии производства изделий микро - и наноэлектроники на базе технологического и аналитического оборудования.
Для проведения лабораторных работ необходимо следующее технологическое и аналитическое оборудование: установка термического окисления, установка проявления фоторезиста, эллипсометр (спектрофотометр), установка для соединения пластин, установка контактной фотолитографии, оптический микроскоп.
Практические занятия (семинары).
1. Закрепление теоретического материала через проведение устного опроса и выполнение тестов и контрольных работ.
2. Связь теории с актуальными проблемами изучаемой дисциплины.
Постановка острых проблем стимулирует дискуссии в студенческих группах.
3. Дополнительная полезная информация:
- современным методам контроля;
- современному оборудованию для контроля и диагностики.
(с подготовкой материалов и сообщений на семинарах в виде доклада, реферата, эссе и т. п.).
Самостоятельная работа.
Освоение теоретического материала лекций и анализ дополнительной литературы с целью более глубокого освоения изучаемой темы и ответов на контрольные вопросы. Подготовка к лабораторным работам и практическим занятиям.
СРС ведется с применением следующих видов образовательных технологий:
Информационные технологии: использование электронных образовательных ресурсов при подготовке к лабораторным занятиям.
Взаимодействие с Заказчиком образовательной программы
В ходе обучения преподаватель должен тесно сотрудничать с руководством Заказчика, представляя ему текущие результаты контроля слушателей.
3. Позиционирование модулей
Дисциплина состоит из трех модулей:
1. Микро- и нанотехнологии в электронике.
2. Технология микро - наносистемной техники.
3. Технология гибридных интегральных схем.
Модульное построение курса предполагает изложение содержания модулей в единстве и логической последовательности. Структурирование содержания дисциплины предполагает вариативность ее изложения в целях формирования индивидуальной траектории обучения, способствующей усвоению не только базовых знаний достаточных для усвоения дисциплин учебного плана, но и повышенный уровень изучения дисциплины.
4. Использование активных и интерактивных форм проведения занятий и инновационных технологий обучения
Информационные технологии – обучение в электронной образовательной среде с целью расширения доступа к образовательным ресурсам, увеличения контактного взаимодействия с преподавателем, построения индивидуальных траекторий подготовки и объективного контроля и мониторинга знаний студентов.
2. Междисциплинарное обучение - использование знаний из разных областей, их группировка и концентрация в контексте решаемой задачи.
3. Опережающая самостоятельная работа - изучение студентами нового материала до его изучения в ходе аудиторных занятий.
5. Оценочные средства сформированности профессиональных компетенций
Совокупность организационных мероприятий по управлению процессом освоения базовой и повышенной траектории изучения дисциплины включает регулярную оценку знаний, умений и навыков студентов в рейтинговых баллах. Текущий контроль освоенных знаний осуществляется в виде приема лабораторных работ, проведения тестов, контрольных работ и опроса по каждой теме модуля. Форма промежуточной аттестации – экзамен.
Оценка учебной деятельности слушателя в течение семестра основана на балльно-рейтинговой системе, разработанной на кафедре.
Накопительная балльно-рейтинговая система включает две составляющие:
первая – оценка учебных достижений слушателя в течение обучения Rоб;
вторая – оценка знаний студента на экзамене Rэкз.
Максимальная сумма баллов по первой составляющей, Rоб составляет 45 баллов, по второй, Rэкз.– 55 баллов.
Сумма баллов по первой составляющей Rоб, складывается из оценки следующих видов работы слушателя:
- выполнение текущих контрольных мероприятий, предусмотренных семестровым планом, - Rтек - 9 - 15 баллов;
- лабораторных работ – Rл. р. – 9 - 15 баллов;
- максимальные премиальные рейтинговые баллы, начисляемые преподавателем студенту за активность на занятиях Rпр – 9 - 15 баллов.
Таким образом, фактический рейтинг контроля обучения Rоб по дисциплине равен сумме баллов
Rоб = Rтек + Rл. р. + Rпр
Показатели текущих контрольных мероприятий и лабораторных работ считаются сданными, если слушатель за них суммарно получил более 50% от установленного для этого контроля максимального балла. Если слушатель получает за контрольную точку менее 50% от установленного для этого контроля максимального балла, то эта точка считается не сданной, а в накопленный рейтинг баллы не добавляются.
Рейтинговый балл, выставляемый слушателю за текущее и др. контрольное мероприятие, определяется следующим образом:
за выполнение 91 - 100 % нормативного рейтинга - отлично
за выполнение 76 - 90 % нормативного рейтинга - хорошо
за выполнение 51 - 75 % нормативного рейтинга - удовлетворительно
за выполнение 0 - 50 % нормативного рейтинга - неудовлетворительно
Слушатели, набравшие до начала зачетно - экзаменационных мероприятий по учебной дисциплине менее 20% нижнего предела нормативного рейтинга учебной дисциплины, т. е. менее 10 баллов, не допускаются к зачетно - экзаменационным мероприятиям.
Для допуска к сдаче экзамена по дисциплине необходимо выполнение следующих условий:
- накопленный рейтинг контроля обучения должен составлять более 50% от нормативного рейтинга семестрового контроля для дисциплины, т. е. должно быть достигнуто минимальное значение нормативного рейтинга (Rоб = 27 баллов);
Итоговая оценка на экзамене слушателю по дисциплине по 5-ти балльной шкале выставляется на основе накопленной им общей суммы баллов Rнак по итогам контроля обучения и оценки знаний слушателя на экзамене в соответствие со следующей шкалой:
· 91-100 баллов – отлично;
· 76-90 баллов – хорошо;
· 51-75 баллов – удовлетворительно;
· менее 50 баллов – неудовлетворительно.
