Задания для выходного контроля
1. Предложить программу эксперимента для определения состава чередующихся слоев толщиной 10 нм и 700 нм. (Выбрать метод/методы анализа, обосновать выбор, выбрать режимы и параметры анализа, предложить прогнозируемый результат)
2. Предложить программу эксперимента для получения распределения элемента с концентрацией 1021 ат/см3 многослойной композиции 50 нм/50 нм. (Выбрать метод/методы анализа, обосновать выбор, выбрать режимы и параметры анализа, предложить прогнозируемый результат)
3. Предложить программу эксперимента для определения остаточной примеси на поверхности образца. (Выбрать метод/методы анализа, обосновать выбор, выбрать режимы и параметры анализа, предложить прогнозируемый результат)
4. Предложить программу эксперимента для определения остаточной примеси в слое толщиной 25 нм на глубине 300 нм. (Выбрать метод/методы анализа, обосновать выбор, выбрать режимы и параметры анализа, предложить прогнозируемый результат)
5. Предложить программу эксперимента для дефектов на поверхности образцов предполагаемый размер которых на превышает 40 нм. (Выбрать метод/методы анализа, обосновать выбор, выбрать режимы и параметры анализа, предложить прогнозируемый результат)
6. Предложить программу эксперимента для получения распределения элементов на поверхности образца максимальный размер чередующихся областей на превышает 100 нм. (Выбрать метод/методы анализа, обосновать выбор, выбрать режимы и параметры анализа, предложить прогнозируемый результат)
7. Предложить программу эксперимента для исследования (состав, распределение элементов по глубине) диэлектрических пленок толщиной до 10 нм на проводящей подложке. (Выбрать метод/методы анализа, обосновать выбор, выбрать режимы и параметры анализа, предложить прогнозируемый результат)
8. Предложить программу эксперимента для исследования (состав, распределение элементов по поверхности) проводящих пленок толщиной до 100 нм на диэлектрической подложке. (Выбрать метод/методы анализа, обосновать выбор, выбрать режимы и параметры анализа, предложить прогнозируемый результат)
9. Предложить программу эксперимента для исследования наноразмерных включений/дефектов на поверхности образцов. (Выбрать метод/методы анализа, обосновать выбор, выбрать режимы и параметры анализа, предложить прогнозируемый результат)
10. Предложить программу эксперимента для определения степени окисления материала в слое 30 нм. (Выбрать метод/методы анализа, обосновать выбор, выбрать режимы и параметры анализа, предложить прогнозируемый результат)
11. Предложить программу эксперимента для определения степени окисления материала в частицах размером 30 нм распределенных на поверхности образца. (Выбрать метод/методы анализа, обосновать выбор, выбрать режимы и параметры анализа, предложить прогнозируемый результат)
12. Предложить программу эксперимента для получения распределения элемента в многослойной композиции 100 нм/300 нм/50 нм, где концентрация элемента изменяется в слоях от 1017 до 1021 ат/см3. (Выбрать метод/методы анализа, обосновать выбор, выбрать режимы и параметры анализа, предложить прогнозируемый результат)
