НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

ФАКУЛЬТЕТ РАДИОТЕХНИКИ И ЭЛЕКТРОНИКИ

КАФЕДРА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ И МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

УТВЕРЖДАЮ:

Декан факультета РЭФ

д. т.н., профессор

______________

«_____»_______________2010 г.

РАБОЧАЯ ПРОГРАММА УЧЕБНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ

«МИКРООПТИКА»

Специальность

201 108 – «микросистемная техника»

направления подготовки дипломированного специалиста

210100 «электроника и микроэлектроника»

Новосибирск, 2010

Рабочая программа составлена на основании Государственного образовательного стандарта высшего профессионального образования для подготовки дипломированного спепциалиста по направлению 210100 «электроника и микроэлектроника» образовательной программы специальности 201 108 – «микросистемная техника».

Стандарт утвержден 18.01.2006г., регистрационный номер № 000 тех/сп.

Рабочая программа обсуждена и утверждена на заседании кафедры полупроводниковых приборов и микроэлектроники от «11» октября 2010 г.,

протокол № 31.

Программу разработали:

к. т.н., доцент

Заведующий кафедрой ПП и МЭ

д. ф.-м. н., профессор

Ответственный за основную

образовательную программу

д. ф.-м. н., профессор

1. Цели и задачи дисциплины

Целью преподавания дисциплины является формирование знаний в области базовых принципов функционирования и конструирования оптических элементов и устройств, реализуемых на микроуровне.

2. Требования к уровню освоения содержания дисциплины.

В результате изучения дисциплины студенты должны:

2.1. Знать и уметь использовать:

НЕ нашли? Не то? Что вы ищете?

-  физические принципы, эффекты и процессы, лежащие в основе функционирования элементной базы и устройств микрооптики, особенности их проявления при переходе к элементам микронных размеров;

-  основные методы и алгоритмы расчета элементной базы и устройств микрооптики с учетом условий их реализации и границ применения.

2.2. Иметь навыки:

-  применения методов расчёта и исследования элементной базы и устройств микрооптики;

-  определения областей рационального использования устройств микрооптики.

3. Объем дисциплины и виды учебной работы

Вид учебной работы

Всего часов

Семестр

Общая трудоемкость дисциплины

100

7

Аудиторные занятия

51

7

Лекции

34

7

Лабораторные работы (ЛР)

17

7

Самостоятельная работа

49

7

Курсовой проект (работа)

25

7

Другие виды самостоятельной работы

24

7

Виды итогового контроля

экзамен

4. Содержание дисциплины

4.1. Разделы дисциплин и виды занятий

№ п/п

Раздел дисциплины

Лекции

П З

ЛР

Введение

*

1

Основные положения геометрической, волновой, квантовой и нелинейной оптики

*

*

2

Размерные эффекты в оптике

*

*

3

Твердотельные источники и приемники оптического излучения

*

*

4.

Оптические волноводы

*

*

5

Электро-, акусто-, магнитооптические способы управления оптическим излучением

*

*

6

Оптика движущихся тел

*

*

7

Интегрально-оптические и оптомеханические элементы и устройства

*

*

Заключение

*

4.2. Содержание разделов дисциплины

§  Введение

Базовые понятия и принципы оптики. Классификация и стандартизация оптических компонентов и приборов.

§  1. Основные положения геометрической, волновой, квантовой и нелинейной оптики

Основные положения геометрической оптики: оптические константы, световые лучи, отражение и преломление света на границе раздела двух сред, явление полного внутреннего отражения, прохождение света через поглощающие среды.

Основные положения волновой оптики:; интерференция и дифракция света, комплексный показатель преломления, показатель поглощения, фазовая и групповая скорость света, дисперсия, соотношение Крамерса-Кронига; поляризация плоских волн, распространение света в изотропных и анизотропных средах, двойное лучепреломление; оптическая активность и фарадеевское вращение.

Основные положения квантовой оптики: квантовые переходы при взаимодействии с электромагнитным излучением, матричный элемент и вероятность перехода, спонтанное и вынужденное излучение, коэффициенты Эйнштейна, кинетические уравнения, усиление и генерация оптического излучения; монохроматичность, поляризация, когерентность, направленность лазерных пучков; пространственное, амплитудное, поляризационное, частотное, временное и фазовое преобразование лазерных пучков.

Основные положения нелинейной оптики: нелинейные явления второго порядка, электромагнитная формулировка нелинейного взаимодействия, нелинейная поляризуемость кристалла и нелинейные оптические эффекты, генерация гармоник, условие фазового синхронизма; параметрические преобразования в оптике, настройка частоты в параметрических генераторах, модуляторы на основе оптической нелинейности; нелинейная оптика и молекулярное рассеяние света.

§  2. Размерные эффекты в оптике.

Классические размерные эффекты: зеркальное отражение, микрошероховатость поверхности и геометрические неоднородности, многослойные низкоразмерные композиции.

Квантовые размерные эффекты: квантово-размерные слои, нити и точки; периодические квантово-размерные гетероструктуры, электронный спектр двумерных и одномерных систем. Оптические переходы в квантово-размерных структурах: применение структур низкой размерности в приборах оптоэлектроники, модуляторы и селективные фотоприемники.

§  3. Твердотельные источники и приемники излучения.

Источники некогерентного излучения: инжекционные источники света на основе гомо - и гетеропереходов, электролюминофоры, излучатели с преобразователем спектрального состава излучения, инфракрасные излучатели – микроглобары, коэффициент черноты.

Твердотельные лазеры: лазеры на кристаллах и стеклах; оптические резонаторы, добротность, собственные типы колебаний – моды; лазеры с селекцией мод, перестраиваемые и частотно-модулированные лазеры; инжекционные лазеры на гетеропереходах.

Твердотельные приемники излучения: фоторезисторы, фотодиоды, фототранзисторы, фотоумножители; спектральные, энергетические, частотные характеристики. Многоэлементные приемники излучения: ПЗС линейки и матрицы, микроканальные пластины.

§  4. Оптические волноводы

Объемные и планарные оптические волноводы: цилиндрические, полосковые, ступенчатые и градиентные световоды; распределение мощности, соотношения для лучевого и волнового приближений, одно - и многомодовые световоды; межмодовая дисперсия и связь мод, механизмы возникновения потерь. Волоконно-оптические кабели: соединение и сращивание волокон, разъемы; оптические мультиплексоры и демультиплексоры.

§  5. Электро-, акусто-, магнитооптические способы управления оптическим излучением

Электрооптические методы управления оптическим излучением: электрооптический эффект, электрооптическая амплитудная и фазовая модуляция, высокочастотная модуляция, электрооптические модуляторы и дефлекторы.

Акустооптические методы управления оптическим излучением: взаимодействие света и звука, дифракция света на акустической волне, теория связанных мод, поверхностная акустооптика; акустооптическая ячейка как фильтр пространственных частот, дефлектор, модулятор света, перестраиваемый акустооптический фильтр.

Магнитооптические методы управления оптическим излучением: физика магнитооптических явлений, управляемые доменные структуры в прозрачных магнетиках; магнитооптические изоляторы, переключатели, модуляторы; устройства на основе дифракции света на доменной структуре и на поверхностных магнитостатических волнах; запоминающие магнитооптические устройства.

§  6. Оптика движущихся тел.

Эффект Допплера, сдвиг и уширение линий. Эффекты Физо и Саньяка. Волоконно-оптические гироскопы.

7. Интегрально-оптические и оптомеханические элементы и устройства.

Основные компоненты интегрально-оптических схем: устройства и способы ввода и вывода излучения, оптические распределительные и комутационные устройства, направленные ответвители, переключатели, оптические спектральные фильтры, интерференционные покрытия, управляемые зеркала и дифракционные решетки, линзы Френеля, фокусирующие компоненты интегральной оптики.

Микрооптомеханические схемы: оптомеханические ключи, механические сканирующие микрозеркала, линзы, модуляторы и дифракционные решетки.

§  Заключение

Интеграция механических, оптических и электронных компонентов на микроуровне. Сверхскоростные способы передачи и обработки информации. Голографическая память.

5. Лабораторный практикум

№ п/п

Наименование лабораторных работ

1

-  Изучение влияния микрошероховатости и состава поверхности на характеристики оптического отражения

2

-  Исследование оптических характеристик объемного световода

-  Исследование оптических характеристик планарного световода

3

-  Исследование волоконно-оптических датчиков давления

4

-  Исследование датчика микроперемещений на основе интерферометра Майкельсона

5

-  Исследование электро-оптического модулятора света

-  Исследование акусто-оптических модулятора света

-  Исследование магнито-оптического модулятора света

6

-  Исследование волоконно-оптического гироскопа на эффекте Саньяка

7

-  Датчик охраны помещений

6. Учебно-методическое обеспечение дисциплины

6.1. Рекомендуемая литература.

а) основная литература

1. Пихтин основы квантовой электроники и оптоэлектроники. – М., "Высшая школа", 1983.

2. Калитеевский оптика. – М.: Высшая школа, 1995.

3. Носов . М., "Радио и связь", 1989.

4. , Сидоров и их применение М.: Радио и связь, 1981.

5. Чео оптика. Приборы и системы М.:

Энергоатомиздат, 1988.

б) дополнительная литература

1.  Введение в оптическую электронику. ."Высшая школа", 1983 .

2.  П. Юх.. Оптические волны в кристаллах. М: Мир.,1987.

3.  Полупроводниковые сверхрешетки. – М: Мир, 1989.

4. , , Чирков основы акустооптики. – М: Радио и связь, 1985.

5. , Червониекс магнитооптика. – М: Энергоатомиздат, 1990.

6. Волноводная оптоэлектроника, под ред. Т. Тамира. – М: Мир, 1991.

7.  Интегральная оптика (Теория и технология). – М: Мир, 1985 .

8. Гауэр Дж. Оптические системы связи. – М: Радио и связь, 1989.

9. Техника оптической связи. Фотоприемники. Под/ред. У. Тсанга. –М.: Мир, 1988.

10. Волоконно-оптические датчики, под ред. Т. Окоси. Л. Энергоатомиздат, 1990.

7.  Методические рекомендации по организации изучения дисциплины.

Для реализации целей и задач курса предлагается предусмотреть в программе дисциплины курсовую работу. Требования к содержанию курсовой работы определяются характером задачи по расчёту и исследованию элементной базы или конкретного устройства микрооптики. В курсовой работе должны быть отражены следующие вопросы:

-  анализ основных характеристик и параметров объекта исследования, разработки;

-  выбор и обоснование методов расчёта, моделирования, исследования;

-  расчет конструкции, моделирование, обработка результатов исследования;

-  графическое представление результатов расчётов, моделирования, исследования;

-  анализ полученных результатов и их обобщение.

8.  Перечень экзаменационных вопросов.

1.  Особенности оптической электроники. Основные понятия и определения.

2.  Основы геометрической оптики

3.  Основные положения волновой оптики: электромагнитные волны, уравнение Максвелла и граничные условия.

4.  интерференция и дифракция света, комплексный показатель преломления

5.  показатель поглощения, фазовая и групповая скорость света, дисперсия

6.  Основные положения квантовой оптики: квантовые переходы при взаимодействии с электромагнитным излучением

7.  монохроматичность, поляризация, когерентность, направленность лазерных пучков

8.  пространственное, амплитудное, поляризационное, частотное, временное и фазовое преобразование лазерных пучков

9.  Классические размерные эффекты: зеркальное отражение, микрошероховатость поверхности и геометрические неоднородности

10.  Квантовые размерные эффекты: квантово-размерные слои, нити и точки

11.  Источники некогерентного излучения: инжекционные источники света на основе гомо - и гетеропереходов

12.  Твердотельные лазеры: лазеры на кристаллах и стеклах; оптические резонаторы, добротность, собственные типы колебаний – моды

лазеры с селекцией мод, перестраиваемые и частотно-модулированные лазеры; инжекционные лазеры на гетеропереходах.

13.  Твердотельные приемники излучения: фоторезисторы, фотодиоды, фототранзисторы.

14.  Многоэлементные приемники излучения: ПЗС линейки и матрицы, микроканальные пластины.

15.  Объемные и планарные оптические волноводы: цилиндрические, полосковые, ступенчатые и градиентные световоды.

16.  одно - и многомодовые световоды; межмодовая дисперсия и связь мод, механизмы возникновения потерь.

17.  Электрооптические методы управления оптическим излучением: электрооптический эффект.

18.  Электрооптические методы управления оптическим излучением: электрооптические модуляторы и дефлекторы.

19.  Акустооптические методы управления оптическим излучением: взаимодействие света и звука, дифракция света на акустической волне, теория связанных мод, поверхностная акустооптика.

20.  Магнитооптические методы управления оптическим излучением: физика магнитооптических явлений, управляемые доменные структуры в прозрачных магнетиках

21.  Эффекты Физо и Саньяка. Волоконно-оптические гироскопы.

22.  Основные компоненты интегрально-оптических схем: устройства и способы ввода и вывода излучения.

23.  Оптические распределительные и комутационные устройства, направленные ответвители, переключатели, оптические спектральные фильтры.

24.  Микрооптомеханические схемы: оптомеханические ключи, механические сканирующие микрозеркала, линзы, модуляторы и дифракционные решетки.