Нагревательная плита HP-401-250 0C
Руководство по эксплуатации
SAWATEC AG
SAWATZKI TECHNOLOGY
Industriestrasse 416, FL-9491 Ruggell
СОДЕРЖАНИЕ
Описание установки. 3
Технические данные. 4
Руководство по безопасности. 6
Определение пользователей. 6
Область применения и известные случаи неправильной эксплуатации. 6
Основная опасность. 7
Опасность, связанная с остаточными продуктами. 8
Установка прибора. 9
Присоединение системы трубок. 9
Установка напряжения сети. 9
Установка уровня плиты.. 10
Поддерживающие пины.. 10
Панель управления. 11
Кнопки управления. 11
Звук. 12
Поддерживающие пины.. 12
Схема управления. 13
Управляющий интерфейс. 14
Обзор. 14
Суммарная страница. 15
Страница управления. 15
Создание или изменение программы.. 16
Примеры программы.. 18
Пример программы №1. 18
Пример программы №2. 19
Процесс эксплуатации. 21
Включение. 21
Запуск и работа с программой. 21
Выключение. 22
Техническое обслуживание и ремонт. 23
Сгорание предохранителя. 23
Чистка. 23
Замена уплотнения в крышке. 24
Описание установки
Нагревательная плита HP-401-250 0C | Нагревательная плита HP-401-250 0C предназначена для использования в тех процессах полупроводникового производства, где необходим нагрев. Эти процессы включают в себя лакирование и отжиг кремниевых подложек. | ||||||||||||
Основные особенности | · Цифровая установка и вывод на экран значений температуры плиты · Широкий диапазон температур 25- 250 0C · Высота загружаемых подложек до 15 мм · Поддерживающие пины могут быть отрегулированы с точностью 0,1 мм · Пневматическое поднятие крышки · Подача N2 в рабочую камеру | ||||||||||||
Основные части | На рисунке ниже представлены основные части плиты HP-401-250 0C: · Корпус [A] с панелью управления [A1]. · Нагревательный прибор [B] с механизмом [B1] подъема поддерживающих пинов. · Крышка [С] с корпусом [С1], поднимающаяся пневматически. · 5 небольших отверстий [V] для подачи вакуума, чтобы избежать смещения подложки. · Вытягивание поддерживается воздухом, который подается через отверстия [H] и подается на обратную сторону подложки через зазор [G].
| ||||||||||||
Соединения и система труб | На задней стенке корпуса плиты HP-401-250 0C расположены следующие выводы и приспособления:
|
Технические данные
Рабочие характеристики |
| ||||||||||||||||||||||||
Физические свойства и окружающая среда |
Плиту HP-401-250 0C следует устанавливать на чистой, плоской, выровненной поверхности на соответствующем расстоянии от воспламеняющихся материалов. | ||||||||||||||||||||||||
Суммарный размер |
| ||||||||||||||||||||||||
Стандарты | В плите HP-401-250 0C используются только DIN-CE сертифицированные элементы или материалы. |
Руководство по безопасности
Определение пользователей
Оператор | Оператором нагревательной плиты HP-401-250 0C является человек, выполняющий все задания, касающиеся использования установки по назначению. В частности к этому относятся транспортировка и чистка. Также сюда можно включить установку и перемещение запчастей плиты. |
Область применения и известные случаи неправильной эксплуатации
Область применения продукта | Нагревательная плита HP-401-250 0C предназначена для нагрева плоских подложек в полупроводниковой промышленности. |
Условия работы | Нагревательная плита HP-401-250 0C должна работать только при свойствах окружающей среды, представленных в техническом описании. Вытяжка всегда должна быть включена. Прибор следует отключить при неисправностях вытяжки. Может возникнуть потребность в изменении температурного диапазона в зависимости от средней температуры сушки (например, лакокрасочные покрытия могут создавать опасные пары). Следует внимательно следить за этим для избежания опасных ситуаций, таких как утечка аэрозолей или частиц газа, образующих взрывоопасные смеси. |
Надлежащее использование | Надлежащее использование установки включает в себя данные инструкции, которыми руководствуется квалифицированный персонал. |
Ненадлежащее использование Фирменный знак | Нагревательная плита HP-401-250 0C не предназначена для: · Установки дополнительных нагревательных элементов (например, для достижения более высокой температуры, чем указанная в технических данных). · Нагрева жидкостей кроме лакокрасочных с относительной высокой вязкостью. · Нагрев других объектов кроме тонких подложек. Нагревательная плита HP-401-250 0C не предназначена для обычного применения в качестве нагревательного прибора. Перечисленный список не является полным.
|
Фирменный знак на обратной стороне прибора суммирует все технические данные и соответствует требованиям стандартов Европейского сообщества.Основная опасность
Основная опасность исходит от температуры, которую может иметь нагревательная плита.
Опасность, связанная с остаточными продуктами
Предупреждение | Перегрев из-за отсутствия вытяжки |
| Работающая вытяжка является важным элементом для контроля температуры нагрева в приборе. Устройство должно работать только с контролируемой вытяжкой. При отсутствии вытяжки прибор следует немедленно отключить. |
Осторожно | Высокая температура |
| В зависимости от установок на панели управления температура нагревательной плиты может быть очень опасна для живых тканей. Не прикасайтесь к нагревательной плите после окончания процесса HP-401-250 0C. Всегда пользуйтесь подходящими приборами для снятия подложки с плиты. |
Внезапный подъем крышки | |
| При включении установки с помощью главной кнопки крышка может внезапно подняться. Перед включением всегда уменьшите давление сжатого воздуха до минимума, а затем отрегулируйте до рабочего значения (4 бара). |
Шарнир | |
| Шарнир крышки плиты опускается с большой движущей силой, которая может повредить пальцы. Держите пальцы подальше от области шарнира, когда крышка поднята и собирается опускаться. |
Установка прибора
Перед началом работы следует подключить установку в соответствии со следующими требованиями:
Присоединение системы трубок
1. Соедините выходную трубку с выводом на задней стенке прибора.
2. Подсоедините вакуум к соответствующему выводу на задней стенке прибора.
3. Подсоедините сжатый воздух к соответствующему выводу на задней стенке прибора.
4. Опция: подсоедините N2 к соответствующему выводу на задней стенке прибора.
Установка напряжения сети
Напряжение сети (~115 или ~230 В) следует установить с переключателем внутри передней части прибора:
1. Удалите 4 болта с правой боковой панели. Используйте отвертку Philips размера 0.
2. Осторожно удалите часть панели.
3. Установите напряжение: для ~115 В поставьте переключатель по направлению к передней стороне панели, для ~230 В – по направлению к задней стороне.
4. Верните боковую панель назад на место и зафиксируйте 4 болтами.
Установка уровня плиты
Нагревательная плита должна быть выровнена для избежания утолщений в нанесенном покрытии в процессе нагрева.
Используйте Allan ключ размером 4 мм для подгонки трех выравнивающих болтов (М5). Не поворачивайте болты больше чем на ±1,5 оборота.
|
Поддерживающие пины
Поддерживающие пины могут использоваться для подложек следующих диаметров:
Подложки | Диаметр подложки |
1 | 300 мм (12”), 200 мм (8”), 150 мм (6”), 125 мм (5”) |
5 | 100 мм (4”), 75 мм (3”), 50 мм (2). |
Подложки диаметром менее 50 мм можно класть непосредственно на поверхность плиты или помещать на поддерживающую подложку большего диаметра.
Интерфейс контроллера
Параметры процесса (температура, время действия) устанавливаются с помощью интерфейса контроллера.
Контроллер Eurotherm 2604 – это модульный, полностью конфигурируемый, высокоточный, стабильный по температуре и процессу контроллер.
Панель управления
Пользовательский интерфейс контроллера включает в себя электролюминисцентый дисплей и семь кнопок:
· Дисплей используется для вывода параметров процесса.
· Кнопки управления позволяют настроить управляющую программу.
Кнопки управления
Кнопка | Функция |
| Кнопка выбора страницы Нажмите для выбора нового списка параметров. |
| Кнопка прокручивания Нажмите для выбора нового параметра из списка |
| Кнопки Вниз и Вверх Нажмите кнопку Вниз для уменьшения (кнопку Вверх для увеличения) значения параметра. Используйте эти кнопки только при выборе списка с треугольниками прокрутки вверх/вниз как здесь:
|
| Левая кнопка неактивная. Средняя кнопка используется для вызова страницы управления. Правая кнопка запускает выбранную программу. |
| Нажатие этих двух кнопок последовательно перезагружает программу (так же как и кнопка включения) |
Звук
Звук используется только для показа конца процесса. Сообщения об ошибке выводятся только на дисплей.
Поддерживающие пины
Поддерживающие пины определяют расстояние от подложки до нагревательной плиты в процессе нагрева. Значение зазора устанавливается поворотом ручки на обратной стороне прибора.
Риск повреждения прибора |
Установка значения зазора с помощью поворотной ручки для поддерживающих пинов в самом низком положении может повредить устанавливающий зазор механизм.
Всегда устанавливайте значение зазора с поднятыми поддерживающими пинами (режим прибора RESET ).
Можно установить значение зазора от 0 до 1 мм с шагом 0,1 мм.
Схема управления
Управляющий интерфейс
Обзор
|
|
|
А Прокручивание основных страниц дисплея:
ü Статус процесса
ü Выбор программы
ü Ручное управление крышкой или поддерживающими пинами
В Прокручивание второго уровня страницы управления:
ü Смена заданного значения контроллера, если ни одна программа не запущена
ü Контроль уровня мощности
ü Контроль состояния вакуума, пинов и звуковой сигнализации
Суммарная страница
Это основная страница дисплея. Она показывает статус процесса, позволяет выбрать программу и вручную управлять крышкой и поддерживающими пинами. Используйте кнопку для прокручивания списка.
|
|
|
|
Страница управления
Доступ к странице управления осуществляется через среднюю круглую кнопку.
|
|
|
|
* Индикатор обдува азотом появляется только при установленной опции.
Создание или изменение программы
Примечание: Пример программы показан в следующей секции.
Выбор Редакторование программы | 1. 2. 3. 4. Параметры программы должны быть следующие:
| ||||||||
Выбор Редакторование сегмента | 5. Редактирование названия программы по желанию.
1. Нажмите или для выбора сегмента. 2. 3. 4. Параметры в странице сегмента должны быть следующие:
|
Выберите Редактор программы, нажав на кнопку как показано в Обзоре на стр.12.
Нажмите для входа в.
Выберите нужные параметры с помощью кнопки и измените значения с или.
После завершения редактирования Страницы программы выберите Страница сегмента:
Войдите в страницу сегмента с помощью кнопки.
Прокрутите параметры с помощью кнопки и измените значения кнопками или.
Установите значение каждого сегмента программы.
Примеры программы
Параметры для всех программ (не только для примера):
Параметры | Значение |
Номер программы | Нет |
HBk Mode | Нет |
Циклы программы | 1 |
Конец действия | Возврат в исходное положение |
Имя программы | Какое необходимо |
Пример программы №1
Цикл процесса поддерживается на температуре 150 0С.
Сегмент 1 Выводится на экран: Process initialization - Инициализация процесса. Продолжительность 5 сек, контроль при 150 0С, вакуум включен, крышка открыта, пины опускаются.
Сегмент 2 Выводится на экран: Segment time remaining – Выдержка времени процесса. Продолжительность 15 мин, контроль при 150 0С, вакуум включен, крышка открывается, пины опускаются.
Сегмент 3. Выводится на экран: Segment time remaining – Выдержка времени процесса. Продолжительность 5 сек, контроль при 150 0С, вакуум включен, крышка открывается, пины опущены.
Сегмент 4 Выводится на экран: Process finished – Процесс окончен. Продолжительность 1 мин, вакуум выключается, крышка остается открытой, пины поднимаются, устройство звуковой сигнализации повернуто для оповещения об окончании процесса.
Сегмент 5 Выводится на экран: Process ready to start – Процесс готов к запуску. Продолжительность 0, звуковой сигнализатор выключен, программа закончена, и автоматически переустановлены все ее параметры для запуска нового процесса.
Примечание: Максимальная скорость нагрева 10 0С/ мин.
Пример программы №2
Цикл программы в данном примере имеет подъем температуры до 125 0С, который сохраняется в течение 15 мин, а затем опускается до 25 0С.
Сегмент 1 Выводится на экран: Process initialization - Инициализация процесса. Продолжительность 5 сек, контроль при 25 0С, вакуум включен, крышка открыта, пины опускаются.
Сегмент 2 Выводится на экран: Segment time remaining – Выдержка времени процесса. Нагрев до 125 0С в течение 20 мин., вакуум включен, крышка закрывается, пины опускщены.
Сегмент 3. Выводится на экран: Segment time remaining – Выдержка времени процесса. Контроль при 125 0С в течение 15 мин, вакуум включен, крышка опущена, пины опущены.
Сегмент 4. Выводится на экран: Segment time remaining – Выдержка времени процесса. Остывание до 25 0С в течение 20 мин, вакуум включен, крышка опущена, пины опущены.
Сегмент 5. Выводится на экран: Segment time remaining – Выдержка времени процесса. Контроль при 25 0С в течение 5 сек, вакуум включен, крышка открывается, пины опущены.
Сегмент 6 Выводится на экран: Process finished – Процесс окончен. Продолжительность 1 мин, вакуум выключается, крышка остается открытой, пины поднимаются, устройство звуковой сигнализации повернуто для оповещения об окончании процесса.
Сегмент 7 Выводится на экран: Process ready to start – Процесс готов к запуску. Продолжительность 0, звуковой сигнализатор выключен, программа закончена, и автоматически переустановлены все ее параметры для запуска нового процесса.
Процесс эксплуатации
Включение
1. Убедитесь в надлежащем функционировании вытяжки и вакуума.
2. Отрегулируйте давление сжато воздуха до минимального значения.
Если сжатый воздух включен без регулировки и контроля давления, то крышка может подниматься неожиданно с большой силой. Это опасно для оператора.
3. Включите прибор с помощью кнопки включение на задней панели.
Примечание: Кнопка включения горит при включенном приборе.
4. На панели управления отображается дисплей по умолчанию, упомянутый в Суммарной странице. Эта страница отображается при следующих условиях:
ü Когда контроллер включен.
ü 
Когда режим доступа изменен с уровня конфигурации на уровень управления.
ü 
Когда кнопки и нажаты одновременно.
Запуск и работа с программой
Выберите программу (процесс) | 1. 2. Используйте кнопки или для выбора нужной программы. |
Запуск выбранной программы (процесса) |
|
Приостановка процесса | Нажмите правую круглую кнопку (Run/ Hold.) кратковременно (<1 сек) |
Возобновление приостановленного процесса | Нажмите правую круглую кнопку (Run/ Hold.) кратковременно (<1 сек) |
Переустановка параметров или остановка процесса | Нажмите правую круглую кнопку (Run/ Hold.) долго (>2 сек) |
Для запуска выбранной программы нажмите правую круглую кнопку с надписью Run/ Hold.Выключение
Выключите прибор с помощью главной кнопки включения после выполнения процесса или при необходимости.
Примечание: Кнопка включения не горит при выключенном приборе.
Техническое обслуживание и ремонт
Нагревательная плита HP-401-250 0C не требует специального технического обслуживания. Однако рекомендуется:
· Чистка прибора через промежутки, определенные интенсивностью использования.
· Смена уплотнения для крышки, если больше не поддерживается вакуум.
Примечание: Никакие другие действия по техническому обслуживанию не должны производится пользователем.
Сгорание предохранителя
Сгорание предохранителя может показывать неисправность в приборе. Следовательно, причину сгорания следует обсудить и определить до замены предохранителя на новый.
За три группы нагревательных блоков ответственны 3 предохранителя.
Чистка
При чистке нагревательной плиты HP-401-250 0C:
· Не разбирайте прибор ни для каких целей чистки. Это может сделать прибор негодным к применению.
· Используйте стандартный промышленный очиститель для внешних поверхностей за исключением панели управления с кнопками.
· Помойте управляющие элементы (кнопки, дисплей) с помощью неагрессивных растворителей, рекомендующихся для чистки экранов и клавиатур.
Замена уплотнения в крышке
Уплотнение предоставляется производителем и имеет длину 3 м (подходит для двух нагревательных плит).
Для замены уплотнения | 1. Включите плиту HP-401-250 0C, чтобы поднять крышку. 2. Установите минимальное значение температуры для избежания ожога. 3. В желобке уплотнения найдите место соединения и аккуратно вытащите уплотнение из канавки. Примечание: Избегайте повреждений канавки для уплотнения (крышка сделана из алюминия) острыми инструментами. 4. Удалите уплотнитель аккуратно без повреждений для определения необходимой длины нового уплотнения. 5. При желание уплотнитель можно помыть с помощью промышленных чистящих средств и небольших щеток. 6. Аккуратно вставьте новый уплотнитель без его разрыва (следует избегать неправильной длины уплотнения). 7. Конец должен войти под небольшим давлением. |
Основные порталы (построено редакторами)