Российская Академия наук
Учреждение Российской академии наук
Санкт-Петербургский Академический университет –
научно-образовательный центр нанотехнологий РАН
Материалы тестовой системы для промежуточной аттестации
по курсу ТС2
«Техника чистых помещений»
образовательной программы опережающей профессиональной подготовки, ориентированной на потребности проектных компаний , реализующих инвестиционные проекты в области разработки технологии и производства эпитаксиальных пластин и чипов излучателей и детекторов для сверхскоростных оптических межсоединений.
Материалы разработаны д. ф.-м. н., Е.
©
Санкт-Петербург
2011 г.
Контрольно-измерительные материалы для оценивания итоговых результатов по курсу «Техника чистых помещений»
Для контроля усвоения данного курса учебным планом предусмотрен дифференцированный зачет, который проводится в форме устного ответа на предложенные вопросы. В ходе зачета слушателю предлагается дать развернутые ответы на два вопроса билета. Ответы за каждый вопрос оцениваются отдельно. Общая оценка за зачет складывается по итогам оценки на оба вопроса.
Подготовка к итоговому зачету требует повторения материала лекций и материалов, предлагаемых для изучения в учебных пособиях и дополнительной литературы. Критерии оценивания приведены в программе курса.
Кроме того, программой курса предусмотрен промежуточный контроль в форме теста.
Целью прохождения промежуточного и итогового контроля является закрепление системных знаний о современные методы изготовления полупроводниковых приборов.
1. Критерии оценивания
1.1. Итоговый контроль.
При оценивании знаний слушателей по итоговому (и промежуточному) тестированию:
- оценка «отлично» выставляется, если в итоговом тестировании дано не менее 85% правильных ответов;
- оценка «хорошо» выставляется, если при тестировании дано 70% - 84% правильных ответов;
- оценка «удовлетворительно» выставляется, если при тестировании дано 60% - 69% правильных ответов;
- оценка «неудовлетворительно» выставляется, если при тестировании дано не более 59% правильных ответов.
1.2. Текущий контроль.
При оценивании знаний слушателей, при проверке выполнения письменных внеаудиторных заданий:
Оценка «отлично» выставляется, если:
- усвоена теоретическая часть работы;
- правильно сформулирована цель работы;
- правильно изложен алгоритм выполнения работы;
- слушатель правильно и аргументировано ответил на все вопросы при допуске к работы.
Оценка «хорошо» выставляется, если:
- усвоена теоретическая часть работы;
- правильно сформулирована цель работы;
- допущены неточности при изложении алгоритма выполнения работы;
- слушатель правильно ответил на 80% вопросов при допуске к работе.
Оценка «удовлетворительно» выставляется, если:
- не полностью усвоена теоретическая часть работы;
- правильно сформулирована цель работы;
- допущены неточности при изложении алгоритма выполнения работы;
- слушатель правильно ответил на 50% вопросов при допуске к работе.
Оценка «неудовлетворительно» выставляется, если:
- не усвоена теоретическая часть работы;
- не правильно сформулирована цель работы;
- не изложен алгоритм выполнения работы;
слушатель не ответил правильно на 50% вопросов при допуске к работе.
2. Инструкция к выполнению теста.
Выберете правильный ответ из предложенных вариантов.
3. Вопросы тестовой системы для промежуточной аттестации слушателей по курсу «Спектроскопия поверхностных слоев»
1. Чистые помещения характеризуются:
а) только счетной концентрацией частиц;
б) только массовой концентрацией загрязнений в воздухе;
в) счетной концентрацией частиц и массовой концентрацией загрязнений в воздухе.
2. Обозначение класса чистоты по взвешенным в воздухе частицам для чистых помещений и чистых зон включает:
а) классификационное число, выраженное как «Класс N ИСО»;
б) классификационное число, выраженное как «Класс N ИСО»; заданные размеры частиц и соответствующие концентрации;
в) классификационное число, выраженное как «Класс N ИСО»; заданные размеры частиц и соответствующие концентрации; состояние чистого помещения.
3. Границей между чистыми помещениями с однонаправленным (ламинарным) и неоднонаправленным (турбулентным) потоком воздуха является класс чистоты:
а) 4 ИСО;
б) 5 ИСО;
в) 6 ИСО.
4. Состояние чистого помещения, в котором оно функционирует в соответствии с заданными требованиями и с установленной численностью персонала, работающего в соответствии с документацией, называется:
а) построенное;
б) оснащенное;
в) эксплуатируемое.
5. Самым большим источником микрозагрязнений в чистом помещении является:
а) человек;
б) оборудование;
в) окружающая среда.
6. В соответствии со стандартом ГОСТ Р ИСО 14644 классы чистоты ограничены пределами:
а) от класса 1 ИСО до класса 10 ИСО;
б) от класса 1 ИСО до класса 9 ИСО;
в) от класса 1 ИСО до класса 8 ИСО.
7. Чистое помещение класса 5 ИСО не должно содержать в 1 м3 частиц с размерами ≥ 0,5 мкм более:
а) 35200 частиц;
б) 3520 частиц;
в) 352 частиц.
8. В чистых помещениях под частицей понимают твердый, жидкий или многофазный объект или микроорганизм с размерами:
а) от 0,005 до 10 мкм;
б) от 0,005 до 10 мкм;
в) от 0,05 до 100 мкм.
9. При классификации чистых помещений рассматривают частицы с нижними пороговыми размерами.
а) от 0,1 до 5,0 мкм;
б) от 0,1 до 10,0 мкм;
в) от 0,05 до 5,0 мкм.
10. Какой документ регламентирует в России стандарты проектирования, строительства и эксплуатации чистых производственных помещений
а) ГОСТ Р ИСО 14644;
б) ГОСТ Р ИСО 1315;
в) ГОСТ 13775.
11. Какой ГОСТ регламентирует методы испытания чистых помещений
а) ГОСТ Р ИСО 14644-1-2000;
б) ГОСТ Р ИСО 14644-2-2001;
в) ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007;
г) ГОСТ Р ИСО 14644-4-2002;
д) ГОСТ Р ИСО 14644-5-2005.
12. Максимально допустимая концентрация частиц Cn [частиц/м3], с размерами равными или большими заданного размера D, для данного класса частоты N определяется по формуле:
а) 
;
б) 
;
в) 
.
13. Для чистого помещения площадью А = 80 м2 минимальное число точек отбора проб NL рассчитывается по формуле:
а) 
;
б) 
;
в) 
.
14. При определении класса чистоты чистого помещения точки отбора проб:
а) равномерно распределяются по площади чистого помещения на высоте рабочего места;
б) равномерно распределяются по площади чистого помещения на уровне пола;
в) случайным образом распределяются по площади чистого помещения на высоте рабочего места.
15. В соответствии с требованиями стандарта ГОСТ ИСО 14644 минимальный объем пробы и минимальное время отбора пробы составляют:
а) 2 литра и 1 минуту;
б) 1 литр и 2 минуты;
в) 1 литр и 1 минуту.
16. При расчете минимального объема пробы какое минимальное число частиц с размерами, соответствующими наибольшему из заданных пороговых значений, должно в ней содержаться:
а) 10 частиц;
б) 15 частиц;
в) 20 частиц.
17. При каком количестве точек отбора проб согласно ГОСТ Р ИСО 14644-1 применим метод вычисления 95 %-ого верхнего доверительного предела:
а) более одной и менее десяти;
б) более десяти;
в) при любом количестве точек больше одной.
18. Уравнение Клапейрона-Менделеева выражается формулой:
а) 
;
б) 
;
в) 
.
19. Согласно ГОСТ Р 51251-99 под утечкой фильтра понимается:
а) процесс неконтролируемого уменьшения концентрации воздуха в заданном объеме;
б) проскок частиц, который превышает предельно допустимые значения;
в) незапланированная передача информации в результате халатности или злого умысла.
20. Согласно ГОСТ Р 51251-99 интегральное значение эффективности HEPA фильтра Н14 составляет:
а) 99,5 %;
б) 99,95 %;
в) 99,995 %.
21. Для надежного определения утечки в фильтре на вход фильтра нужно подавать воздух с концентрацией частиц более:
а) 1*107 частиц/м3;
б) 3*107 частиц/м3;
в) 1*108 частиц/м3.
22. При контроле целостности фильтра проверяются:
а) интегральная целостность фильтра;
б) локальная целостность фильтра;
в) интегральная и локальная целостности фильтра.
23. В микроэлектронной промышленности согласно ГОСТ Р ИСО 14644-4 в помещениях класса 5 ИСО минимальная средняя скорость потока воздуха (для вертикального потока) составляет:
а) 0,2-0,5 м/с;
б) 0,6-0,8 м/с;
в) 1,0-1,2 м/с.
24. Согласно ГОСТ Р ИСО 14644-4 кратность воздухообмена N помещения с объемом V и площадью S и расходом воздуха на 1 м2 площади в 1 час L1 рассчитывается по формуле:
а) 
;
б) 
;
в) 
.
25. В каких единицах измеряется кратность воздухообмена:
а) ч-1;
б) безразмерная величина;
в) 
.
4. Ключи для проверки тестов
Номер вопроса | Номер правильного ответа | Номер вопроса | Номер правильного ответа |
1 | а | 14 | а |
2 | в | 15 | в |
3 | б | 16 | в |
4 | в | 17 | а |
5 | а | 18 | в |
6 | б | 19 | б |
7 | б | 20 | в |
8 | б | 21 | б |
9 | а | 22 | в |
10 | а | 23 | а |
11 | в | 24 | а |
12 | а | 25 | а |
13 | в |
Основные порталы (построено редакторами)