15 апреля, 10.00 – 14.30
Специализированный семинар «Промышленные
вакуумные технологии»
Организатор: FRAUNHOFER INSTITUTE FOR ELECTRON BEAM AND PLASMA TECHNOLOGY FEP
1. W.SCHÖNBERGER, H.BARTZSCH, P.FRACH, D.GLÖSS. Fraunhofer FEP, Dresden, Germany. Precision coatings for optic, electronic and sensor applications at industrial scale. (Прецизионные покрытия для электроники и оптики).
2. A. KABANOV, *J. KRISCHER, *S. STILLE, ** V. ANISIMOV. Buhler AG. Moscow representative office, Russia, Moscow, *Leybold Optics (a part of Buhler) Alzenau, Germany. **JSC »NII EKRANRussia, Samara. Vacuum coating solutions for up-to-date industry. R&D, implementation, experience. (Оборудование и технологии для нанесения функциональных вакуумных покрытий).
3. G. K. VINOGRADOV. ESTO JSC, Russia, Moscow, Zelenograd, Capacitively balanced large volume inductive plasma sources for high-rate applications. (Разработка, изготовление и применение плазменных реакторов для промышленного производства).
4. C. METZNER, H. MORGNER, B. SCHEFFEL, H. KLOSTERMANN, F. FIETZKE.
Fraunhofer FEP, Dresden, Germany. Decorative colored coatings on metal strips. (Цветные декоративные покрытия на металлических лентах).
5. D. BRÄUNLICH, J. STRÜMPFEL, H. PRÖHL. VON ARDENNE GmbH, Dresden, Germany. Metal Strip Coating Systems from VON ARDENNE. (Установки вакуумного напыления для декоративных покрытий на металле).
6. B. SIEPCHEN. CTF-Solar GmbH, Dresden, Germany. 100 MW production of CdTe solar modules by the Close Spaced Sublimation (CSS) process. (Совершенствование процесса производства солнечных батарей на основе теллурида кадмия).
7. E.SCHWUCHOW, H.MORGNER, O.ZYWITZKI, C.METZNER. Fraunhofer FEP, Dresden, Germany. Technology chain for CdTe thin-film solar cells. (Производство солнечных модулей на основе теллурида кадмия).
15 апреля, 14.30 – 18.00
Секция 1. Новые технологии формирования тонких пленок. Методики исследования. Технологическое оборудование.
1. , , *. Институт систем обработки изображений РАН, Россия, Самара, * СГАУ им. академика , Россия, Самара. Тонкоплёночные декоративные покрытия на основе сложного оксида ниобия.
2. , *, *. ОАО “НИИ “Полюс” им. ”, Российская Федерация, Москва, *НТУУ “Киевский политехнический институт”, Украина, Киев, Безэлектродный активатор реакционного газа для тонкоплёночной оптической технологии.
3. , , . Институт синтетических полимерных материалов им. РАН, Москва. Использование низкотемпературной плазмы для улучшения контактных и адгезионных свойств «low-k» диэлектриков – полифторфторолефинов.
4. , , . Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь. Осаждение диэлектрических пленок на поверхность с развитым рельефом.
5. , , *,*. Gresem Innovation», Киев. *Институт ядерных исследований НАН Украины, Киев. Геликонный источник с регулируемым плазменным резонатором.
6. , , , , . ГНЦ «ЦНИИТМАШ». Институт технологии поверхности и наноматериалов, Россия, Москва. Промышленная вакуумно-плазменная установка NanoArcmaster950.
7. Д.В.Духопельников, Д.В.Кириллов, Е.В. Воробьёв, С.Г.Ивахненко. МГТУ им. , г. Москва. Влияние выработки катода дугового испарителя на угловое распределение продуктов эрозии.
8. , , . Москва, МГТУ им. . Трибологические свойства серебряных покрытий, наносимых методом магнетронного распыления.
9. , , . Физико-технологический институт РАН, Москва. Источники пучков быстрых нейтральных частиц и их применение для обработки тонких пленок.
10. , , . Институт физики ДНЦ РАН, Махачкала. Мишени на основе ZnO для магнетронного формирования прозрачных электродов.
16 апреля, 10.00 – 13.30
Секция 2. Вакуумные технологии и оборудование
1. . , Россия, Республика Татарстан, Казань. Стратегия развития Российского центра вакуумного машиностроения.
2. , . Москва, ОАО “НИИВТ им. ”. Определение газовыделения в материалах энергетических установок.
3. . ФГБОУ ВПО МГТУ «СТАНКИН», Москва. Исследование особенностей изделий полученных при помощи метода селективного электронно-лучевого плавления титанового порошкового материала на примере изготовления крыльчатки центробежного насоса.
4. , , . Национальный технический университет Украины «КПИ», Украина, Киев. Моделирование процессов в индукционном испарителе с концентратором электромагнитного поля.
5. , . им. », Москва. Исследование гранулометрического и фазового состава порошка шихты для изготовления группы керамических материалов марок ВК100-1 и ВК100-2.
6. , , . им. », Москва. Преобразователи манометрические для измерения давления от 10-7 до 10-1 Па.
7. , , *Scott K. Robinson. , Санкт-Петербург, Centorr/Vacuum Industries, Blvd Nashua, NH 03062, USA. Вакуумные технологии удаления связки и спекания керамических и металлических материалов.
8. . им. », Москва. Анализатор общего давления, влажности и интегральной молекулярной массы газа в диапазоне низкого вакуума – 1×10-3÷110кПа.
9. , , . ОАО “НИИ точного машиностроения”, Москва, Зеленоград. Травление пластин сапфира в малогабаритной установке ”МВУ ТМ-Плазма ПХТ ICP-Т”.
10. , , . Казанский национальный исследовательский технологический университет, Россия, Республика Татарстан, Казань. Влияние частоты орбитального вращения спирали на откачные характеристики безмасляных спиральных вакуумных насосов.
11. , , *, *. Казанский национальный исследовательский технологический университет, * , Россия, Республика Татарстан, Казань. Сравнительный анализ безмасляных спиральных вакуумных насосов.
12. , , . , Россия, Республика Татарстан, Казань. Исследование, разработка и производство модернизированных паромасляных бустерных насосов.
13. , , . МГТУ им. , Москва. Определение проводимости сложных элементов вакуумных систем в широком диапазоне давлений методом частиц в ячейках.
14. , . МГТУ им. , Москва. Расчет оптимальных параметров турбомолекулярного вакуумного насоса в широком диапазоне давлений.
15. Mr. Jun Jaehee, , *. Компания SunPla, * им. », Москва. Вакуумное технологическое оборудование.
16. . С-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург. Разработка инверсно-магнетронного вакуумметра для измерения сверхвысокого вакуума.
17. , *. ННЦ «ХФТИ», * «ОТТОМ», Украина, Харьков. Современная вакуумная электропечь СЭВФ-3.3/11,5-ИЗМ-ОТТОМ для закалки в масло стальных деталей.
16 апреля, 13.30 – 14.30
Презентация Китайского вакуумного общества.
16 апреля, 14.30 – 18.00
Секция 3. Нанотехнология и биотехнология
1. A.Ф. Белянин, *, M. И.Самойлович. Центральный научно-исследовательский технологический институт “Техномаш”, Москва, * Научно-исследовательский институт ядерной физики им. МГУ им. , Москва. Влияние термообработки углеродных пленок на характеристики автоэмиссионных катодов.
2. , , *, **, *. Центральный научно-исследовательский технологический институт “Техномаш”, Москва. * Научно-исследовательский институт ядерной физики им. МГУ им. , РФ, Москва. ** Институт элементоорганических соединений им. РАН, Москва. Строение углеродных пленок, сформированных методом тлеющего разряда.
3. , , Йе Мин Со, Мин Тхет Со. ФГБОУ ВПО МГТУ «СТАНКИН», Москва. Закономерности формирования приповерхностного слоя на металлокерамике, модифицированного при микролегировании низкоэнергетическим сильноточным электронным пучком.
4. Л.И. Кравец, *, *, **B.Mitu, **G.Dinescu. Объединенный институт ядерных исследований, Лаборатория ядерных реакций им. , Дубна. *Институт синтетических полимерных материалов им. Н.С. Ениколопова РАН Москва. **National Institute for Laser, Plasma and Radiation Physics, Bucharest, Romania. Нанофлюидные диоды на основе трековых мембран, модифицированных в плазме.
5. , . Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Москва. Микроструктура поверхности электродов и характеристики вакуумной электроизоляции.
6. , *, **, **. МГМСУ им. , Москва. * «Русская стоматология», Москва. ** им. », Москва. Разработка нового покрытия из карбида кремния для защиты зубных протезов от биодеструкции.
7. , *, ** , *** , . ФГБОУ ВПО «МАТИ - Российский государственный технологический университет им. », Москва. *ГБУЗ МО «Московский областной научно-исследовательский клинический институт им. », Москва **ГБОУ ВПО «Российский национальный исследовательский университет им. » Минздрава России, Москва. ***ГБОУ ВПО «Государственная классическая академия им. Маймонида, Москва. Антимикробная активность полиэтилентерефталата с наноструктурированной поверхностью в отношении клинических штаммов микроорганизмов.
8. , , . МГТУ им. , Москва. Лабораторная база наноинженерии на кафедре «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. .
9. , . МГТУ им. , Москва. Исследование микротвердости пленок.
10. , , . Мордовский государственный университет имени , г. Саранск. Анализ пылевых и сажевых частиц из плазмы вакуумного дугового разряда.
11. , , Ву Дык Хуан. ФГБОУ ВПО «МАТИ» - Российский государственный технологический университет им. », Москва. Технологический комплекс для металлизации рулонных супер пористых материалов.
12. , , *. ФГБОУ ВПО «МАТИ» - Российский государственный технологический университет им. », Москва, *Объединенный институт ядерных исследований, Лаборатория ядерных реакций им. , Дубна, МО. Исследование физико-химических и антимикробных свойств поверхности наноструктурированных полиэтилентерефталатных трековых мембран.
17 апреля, 10.00 – 12.00
Секция 4. Вакуумные технологии и аэрокосмический комплекс
1. , . ФГУП «ЦАГИ им », МО, г. Жуковский. Экспериментальные исследования взаимодействия высокоскоростного потока из смеси молекулярного и атомарного кислорода с твердыми поверхностями.
2. , . Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт», Москва. К задаче создания космического плазменного двигателя для дальних полетов.
3. , , . им. », Москва. Автоматизированные системы управления испытательных камер для имитации космических условий.
4. , , *, **. ФГУП «ВНИИМ им. », г. Санкт-Петербург. * спутниковые системы им. академика », Красноярский край, г. Железногорск. ** Синержи», Москва. Утверждение типа течеискателей масс-спектрометрических гелиевых серии ASM.
5. , . им. », Москва. К расчету криогенных экранов.
6. , , . им. », Москва. Высокоскоростной транспорт на основе магнитной левитации в разреженной среде.
17 апреля 12.00 – 14.00
Секция 5. Криогенная и криовакуумная техника
1. . Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет
информационных технологий, механики и оптики. С-Петербург. Особенность криооткачки в вязкостном режиме течения газа.
2. , , . Московский энергетический институт (НИУ МЭИ), Москва. Влияние теплофизических свойств материала насадки регенеративного теплообменника на характеристики работы криогенной газовой машины Гиффорда-Мак-Магона.
3. , . Московский энергетический институт (НИУ МЭИ), Москва. Оценка эффективности компрессорных станций с использованием эксергетической методики.
4. , , . Московский энергетический институт (НИУ МЭИ), Москва. Подбор смесевого хладагента для установки выработки электроэнергии с использованием низкотемпературных вторичных энергоресурсов.
5. *, **, **, ***, *. * Российский национальный исследовательский медицинский университет имени , Москва. ** им. », Москва. ***ГКБ № 1 имени , Москва. Изменение показателей микроциркуляции в тканях при местном воздействии охлаждающего аэрозоля.
