Аннотация дисциплины
1. Название дисциплины: Физические основы микро - и наноэлектроники
Physic foundation of micro - and nanoelectronic
2. Семестр: 3
3. Общая трудоёмкость изучения дисциплины: 5 ЗЕТ, 180 часов
4. Предшествующие дисциплины, необходимые для изучения данной дисциплины:
Физика, Химия,
5. Последующие дисциплины, опирающиеся на данную дисциплину:
Физико-химические основы технологии электронных средств
Технология производства электронных средств
Результаты изучения дисциплины:
В результате изучения дисциплины студенты должны:
- знать основные положения физики твердого тела: методы создания объемных и поверхностных конфигураций и переноса изображения в субмикронной электронике; методы модификации поверхностных и объемных структур; физические основы метрологии, методов анализа и контроля параметров изделий в микро - и наноэлектронике;
- уметь выбирать соответствующие технологические процессы производства, методы измерения и контроля параметров изделий микро - и наноэлектроники; разбираться в физических принципах и моделях процессов, лежащих в основе современной микро - и нанотехнологии;
- владеть навыками: анализа соответствия имеющихся технологических возможностей и технических требований, анализа полученных результатов и правильной их оценки.
7. Разделы и темы дисциплины:
Тема 1. Введение
Тема 2. Энергетическая характеристика структуры твердого тела
Тема 3. Физические основы получения конденсированных структур
Тема 4. Физические основы методов формирования и модификации поверхностных и объемных структур
Тема 5. Физические основы метрологии и методов контроля в микро - и наноэлектронике
Тема 6. Физические основы наноэлектроники и нанотехнологии
8. Виды и объёмы учебной работы:
Лекции – 36 часов, лабораторные работы – 18 часов; практические занятия – 18 часов,
Форма контроля: экзамен
9. Ответственный за дисциплину: проф. , каф. МИТ
