Задание на выполнение работы

Утверждаю

Заместитель Руководителя

Федерального агентства по

техническому регулированию и

метрологии

«___»_______________ 2011 г.

ПО ЛОТУ 1.1.1.3

Разделы Задания могут быть дополнены
по усмотрению участника конкурса

Задание

на выполнение работы:

Создание комплекса аттестованных методик, стандартных образцов и мер для метрологического обеспечения оптических характеристик наноразмерных энергосберегаюших покрытий на стеклах, устройств на основе тонкопленочных фильтров и многослойных наноструктур для электроники

Шифр 2011-03-3.1-003 

1. Основание для выполнения работ

Федеральная целевая программа «Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 - 2011 годы» (далее ФЦП);

Постановление Правительства Российской Федерации от 21 июня 2010 г. № 000 «О внесении изменений в постановление Правительства Российской Федерации от 2 августа 2011 г. № 000»;

Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от
«16» марта 2011 г. № 000 «О размещении заказов на выполнение работ в рамках федеральной целевой программы "Развитие инфраструктуры наноиндустрии в Российской Федерации на 2008 - 2011 годы».

Начало работ: « » апреля 2011 г.

Окончание работ: «25» декабря 2011 г.

2. Головной исполнитель и соисполнители:

2.1. Головной исполнитель: (Указывается полное наименование головного исполнителя и город расположения)[1]

2.2. Соисполнители: (Если предусмотрено их участие в выполнении работы, указывается полное наименование каждого соисполнителя, город расположения и виды выполняемых работ. Если участие соисполнителей в выполнении работ не предусмотрено, слово «Соисполнители» заменяется на слова «Соисполнителей нет»)

3 Цель выполнения работы

Целью выполнения работы является создание средств метрологического обеспечения технологических режимов формирования многослойных наноструктур, являющихся основным структурным элементом нового поколения твердотельных фотоприемников, сверхбольших интегральных схем, мощных полевых сверхвысокочастотных транзисторов, тонкопленочных магнитных устройств, телескопов, матриц с зарядовой связью и других приборов и устройств.

4. Основные требования к выполнению работы

4.1. Основное содержание работы

4.1.1. Разработка спектрорадиометрических методов неразрушающего технологического контроля характеристик энергосберегаюших покрытий на основе тонкопленочных фильтров и многослойных наноструктур.

4.1.2. Разработка и изготовление рабочих эталонов, рабочих средств измерений и стандартных образцов для метрологического обеспечения технологического контроля характеристик энергосберегаюших покрытий на основе многослойных наноструктур.

4.1.3. Разработка нормативно-методических документов для метрологического обеспечения измерений оптических характеристик многослойных наноструктур, включая методики выполнения измерений, методики поверки, калибровки и испытаний средств измерений параметров:

- потока излучения, энергетической освещенности, абсолютной спектральной чувствительности, распределения потока излучения и относительной спектральной чувствительности с высоким пространственным разрешением, порога чувствительности с прослеживаемостью результатов измерений к Государственному первичному эталону ГЭТ-162-2009;

- спектральной плотности энергетической яркости источников экстремального ультрафиолета, распределения абсолютных значений спектральных коэффициентов зеркального и диффузного отражения по образцу и углового распределения спектральной плотности потока излучения с прослеживаемостью результатов измерений к Государственному специальному эталону ГЭТ-84-85;

- пространсвенной структуры и однородности нанослоев и интерфейсов многослойных наноструктур с использованием относительного углового распределения спектральных коэффициентов зеркального и диффузного отражения с прослеживаемостью результатов измерений к Государственным первичным эталонам ГЭТ-84-85 и ГЭТ 162-09;

Работа должна выполняться на основе методов спектрорадиометрии с использованием синхротронного излучения электронных накопительных колец Сибирь-1, Сибирь-2, BESSY-2, MLS, оснащенных специализированным спектрорадиометрическим оборудованием.

4.1.4. Разработка программ совместных исследований и двухсторонних сличений эталонных средств УФ спектрорадиометрии с ведущими метрологическими центрами и центрами синхротронного излучения.

4.1.5. Разработка практических рекомендаций по применению рабочих эталонов и рабочих средств измерений оптических характеристик многослойных наноструктур.

4.2. Планируемые результаты работы

4.2.1 Комплекс рабочих эталонов и рабочих средств спектрорадиометрии абсолютной спектральной чувствительности фоторезистов и твердотельных фотоприемников для метрологического обеспечения технологических режимов формирования многослойных наноструктур с заданными оптическими свойствами.

4.2.2 Спектрорадиометрический комплекс, основанный на использовании синхротронного излучения электронных накопительных колец для поверки специализированных рабочих эталонов, рабочих средств измерений и стандартных образцов многослойных наноструктур.

4.2.3 Стандартные образцы оптических характеристик наноразмерных покрытий на основе многослойных наноструктур.

4.2.4. Комплект нормативно-методических документов, включающий аттестованные методики измерений, методики поверки, калибровки и испытаний средств измерений и стандартных образцов оптических характеристик наноразмерных покрытий на основе многослойных наноструктур.

4.2.5. Программы совместных исследований и двухсторонних сличений эталонных средств УФ спектрорадиометрии с ведущими метрологическими центрами и центрами синхротронного излучения с целью дальнейшего международного признания калибровочных возможностей в данном виде измерений.

4.2.6. Практические рекомендации по применению рабочих эталонов и рабочих средств измерений оптических характеристик многослойных наноструктур.

4.3. Требования к составу и параметрам технических средств

4.3.1. Рабочие эталоны потока излучения, энергетической освещенности, экспозиционной дозы излучения должны иметь характеристики в диапазоне длин волн 1 – 400 нм, абсолютной спектральной чувствительности приемников излучения - в диапазоне длин волн 1 – 400 нм, распределения потока излучения и относительной спектральной чувствительности с высоким пространственным разрешением - в диапазоне длин волн 1 – 400 нм, порога чувствительности приемников излучения - в диапазоне длин волн 1 – 400 нм с прослеживаемостью результатов измерений к Государственному первичному эталону ГЭТ-162-2009.

4.3.2. Рабочие эталоны спектральной плотности энергетической яркости излучения должны иметь характеристики в диапазоне длин волн 1 – 400 нм., распределения энергетической яркости по излучающей области - в диапазоне длин волн 1 – 400 нм, спектральных коэффициентов зеркального и диффузного отражения - в диапазоне длин волн 1 – 400 нм, углового распределения спектральной плотности потока излучения - в диапазоне длин волн 1 – 400 нм с прослеживаемостью результатов измерений к Государственному специальному эталону ГЭТ-84-85.

4.3.3. Стандартные образцы оптических характеристик наноразмерных покрытий на основе многослойных наноструктур должны пройти испытания и аттестацию в соответствии с требованиями федерального закона ФЗ-102 об обеспечении единства измерений.

4.4. Требования к видам обеспечения

В ходе выполнения работы должны использоваться:

- сертифицированное оборудование, первичные, вторичные и рабочие эталоны спектрорадиометрии ультрафиолетового излучения, в том числе в экстремальном ультрафиолете, рабочие средства измерений;

-каналы синхротронного излучения, оснащенные специальным метрологическим оборудованием;

- устройства диагностики энергии электронов и радиуса орбиты электронного накопительного кольца.

4.5. Требования к стандартизации и унификации

Рабочие эталоны и средства измерений должны обеспечивать измерение следующих характеристик:

- потока излучения, энергетической освещенности, экспозиционной дозы, абсолютной спектральной чувствительности, распределение потока излучения и относительной спектральной чувствительности с высоким пространственным разрешением, порога чувствительности с прослеживаемостью результатов измерений к Государственному первичному эталону ГЭТ-162-2009;

- спектральной плотности энергетической яркости источников экстремального ультрафиолета, распределение по излучающей области, распределение абсолютных значений спектральных коэффициентов зеркального и диффузного отражения по образцу и угловое распределение спектральной плотности потока излучения с прослеживаемостью результатов измерений к Государственному специальному эталону ГЭТ-84-85;

- пространсвенной структуры и однородности нанослоев и интерфейсов многослойных наноструктур с использованием относительного углового распределения спектральных коэффициентов зеркального и диффузного отражения с прослеживаемостью результатов измерений к Государственным первичным эталонам ГЭТ-84-85 и ГЭТ 162-09;

- стабильности и воспроизводимости характеристик многослойных наноструктур, динамики характеристик непосредственно при формировании изделий в условиях вакуума in situ, динамических характеристик при деградации и разрушении многослойных наноструктур с прослеживаемостью результатов измерений к Государственным первичным эталонам ГЭТ-84-85 и ГЭТ 162-09.

Рабочие эталоны потока излучения, энергетической освещенности должны соответствовать Государственной поверочной схеме ГОСТ 8.552 - 2001.

Рабочие эталоны спектральной плотности энергетической яркости должны соответствовать Государственной поверочной схеме ГОСТ 8.197 - 2005.

Разработка и аттестация методик измерений, методик поверки и калибровки средств измерений, должна проводиться в соответствии с требованиями ГОСТ Р 1.5-2004, ГОСТ 8.563-962009, ГОСТ Р ИСО/МЭК 5725-(1-6)-2002.

Конструкторская, технологическая и программная документация должна соответствовать требованиям действующих стандартов ЕСКД, ЕСТД, ЕСПД.

4.6. Требования к предоставлению информации

4.6.1. Исполнитель обязан предоставлять Заказчику и/или уполномоченной им организации информацию о ходе и результатах реализации работ, достигнутых значениях заданных целевых индикаторов и показателей за отчетный период, выполнять требования по осуществлению ввода отчетных данных в информационную компьютеризированную систему Заказчика.

4.6.2. По окончанию работы результаты передаются Заказчику или в организацию по его указанию по акту.

4.6.3. Аннотация выполненных работ, а также другая информация по проекту, согласованная с Заказчиком, должна быть предоставлена для размещения на федеральном Интернет-портале «Нанотехнологии и наноматериалы».

5. Технико-экономические показатели

5.1. Основные технико-экономические требования

Результаты работы должны быть направлены на решение проблемы создания метрологического обеспечения технологии формирования оптических многослойных наноструктур, используемых:

- в строительной промышленности для нанесения на стекла оконных рам энергосберегающих наноразмерных покрытий с заданными оптическими свойствами;

- в электронной промышленности для повышения быстродействия компьютерных систем и средств автоматической оперативной диагностики;

- в термоядерной энергетике для совершенствования средств диагностики высокотемпературной плазмы;

- в космической технике для создания высокоэффективных средств дистанционного зондирования атмосферы, диагностики солнечной активности, а также средств обнаружения и локации плазменных факелов ракетных двигателей;

- в медицинской аппаратуре для маммографических исследований, наблюдений кровеносных сосудов, ранней диагностики и лечении онкологических заболеваний.

Экономические требования не предъявляются.

5.2. В процессе выполнения работы должны быть достигнуты следующие значения программных индикаторов

(Участник размещения заказа вправе увеличить предлагаемые значения программных индикаторов )

№ п/п	Индикаторы	ед. изм.	2011 год
1	Удельная оснащенность (стоимость оборудования) одного сотрудника, занятого в исследованиях и разработках в рамках национальной нанотехнологической сети	тыс. рублей	860
2	Количество организаций, использующих исследовательское, метрологическое и технологическое оборудование в режиме коллективного пользования	единиц	6
3	Численность молодых ученых (специалистов), работающих в научных, инновационных, внедренческих и коммерческих организациях - участниках Программы	человек	2
4	Количество созданных новых рабочих мест для высококвалифици­рованных работников	единиц	5
5	Численность студентов и аспирантов, привлеченных к работе (прошедших практику) на новом нанотехнологическом оборудовании	человек	5

6. Требования по объему предоставления гарантий качества работы

Объем предоставления гарантий качества работы включает следующие требования:

- все создаваемые или используемые в этой работе средства измерений должны быть внесены в Государственный реестр средств измерений и проходить поверку или калибровку в соответствии с установленным межповерочным (межкалибровочным) интервалом в течение всего гарантийного срока;

- все разрабатываемые методики измерений должны быть аттестованы специализированными аккредитованными организациями и включены в Государственный реестр методик измерений;

- все создаваемые или закупаемые стандартные образцы состава и свойств материалов должны быть аттестованы в установленном порядке и включены в Государственный реестр стандартных образцов;

- результаты измерений на создаваемом или используемом метрологическом оборудовании должны отвечать требованиям достоверности и прослеживаемости к соответствующим государственным эталонам, участвующим в международных сличениях, что должно подтверждаться соответствующими документами (свидетельством о поверке или калибровке).

Исполнитель гарантирует функциональность созданных средств измерения и разработанных методик в соответствии с требованиями, установленными в настоящем задании и обязуется за свой счет устранять недостатки в разработанных средствах измерений и нормативно-методических и иных документах в случае их выявления, как во время выполнения государственного контракта, так и в течение гарантийного срока.

7. Требования по сроку предоставления гарантий качества работы

Срок предоставления исполнителем гарантий качества на результаты выполненной работы должен составлять не менее двух лет с даты подписания акта сдачи-приемки работ последнего этапа государственного контракта.

8. Перечень этапов, содержание основных работ по этапам

Работа выполняется в 2011 г. в 2 этапа.

Наименование этапов, содержание выполняемых работ, перечень документов, разрабатываемых на этапах, сроки исполнения и контрактная цена должны быть приведены участником размещения заказа в календарном плане (приложение № 2 к государственному контракту).

9. Состав разрабатываемой документации

В процессе выполнения работ должны быть разработаны следующие документы:

Промежуточный и заключительный отчеты, содержащие результаты выполнения работ за отчетный период.

Комплект нормативно-методических документов для метрологического обеспечения измерений оптических характеристик многослойных наноструктур, включающий:

Аттестованные методики измерений:

- абсолютной спектральной чувствительности фоторезистов;

- потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 1-10 нм;

- экспозиционной дозы и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 1-400 нм;

- зонной чувствительности и временной стабильности фотодиодов с многослойными наноструктурами;

- энергетической яркости с высоким пространственным разрешением в диапазоне длин волн 1-30 нм;

- спектрального коэффициента зеркального и диффузного отражения в диапазоне длин волн 1-10 нм;

Аттестованные методики поверки и калибровки:

- средств измерений спектральных коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне длин волн 1-10 нм;

- средств измерений абсолютной спектральной чувствительности фоторезистов;

- средств измерений потока излучения и энергетической освещенности в диапазоне длин волн 1-10 нм;

- средств измерений экспозиционной дозы и энергетической освещенность в диапазоне длин волн 1-400 нм;

- средств измерений зонной чувствительности и временной стабильности фотодиодов с многослойными наноструктурами;

- средств измерений энергетической яркости с высоким пространственным разрешением в диапазоне длин волн 1-30 нм;

Методики испытаний:

- многоканальных радиометров экстремального вакуумного ультрафиолета;

- интегральных радиометров экстремального вакуумного ультрафиолета;

- УФ спектрорадиометров;

- дозиметров вакуумного ультрафиолета;

- рефлектометров экстремального ультрафиолета.

Программы совместных исследований и двухсторонних сличений эталонных средств УФ спектрорадиометрии с ведущими метрологическими центрами и центрами синхротронного излучения.

Практические рекомендации по применению рабочих эталонов, рабочих средств измерений и стандартных образцов оптических характеристик многослойных наноструктур.

10. Порядок сдачи-приемки результатов работы

Документация по каждому этапу и работе в целом оформляется в соответствии с требованиями актов Заказчика по приемке выполненных работ по государственным контрактам, заключенным в рамках Программы, и представляется Заказчику или уполномоченной им организации на бумажном носителе в двух экземплярах и в электронном виде на оптическом носителе в одном экземпляре.

Сдача и приемка выполненных работ (этапов работ) осуществляется в порядке, установленном актами Заказчика. По результатам сдачи и приемки оформляются акты сдачи-приемки выполненных работ (этапов работ) и иные установленные актами Заказчика и Календарным планом выполнения работ документы.

Начальник Управления метрологии

[1] Здесь и далее участник размещения заказа должен представить свои предложения вместо пояснительного текста, приведённого курсивом в круглых скобках.