УДК 53.072;53:681.3
КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ РАДИАЦИОННЫХ ПРОЦЕССОВ В ТВЕРДЫХ ТЕЛАХ, ОБЛУЧЕННЫХ ТЯЖЕЛЫМИ ИОНАМИ
COMPUTER-BASED MODELING OF RADIATIVE PROCESSES IN SOLID BODIES IRRADIATED WITH HEAVY IONS
СТИ НИТУ «МИСиС», Россия, Старый Оскол
*****@***ru
доцент, к. ф.-м. н.
Efimov Anatoliy Konstantinovich
Stary Oskol Technological Institute ( branch), FGАOU VPO “ National Research Technological University MISIS”
docent, candidate in physical and mathematical sciences
Казахский национальный педагогический университет им. Абая, Алматы, Казахстан
*****@***ru
Директор физико-технологического центра, д. ф.-м. н., профессор
Kupchishin Anatoliy Ivanovich
Kazakh National Pedagogical University named after Abai, Almaty, Kazakhstan
director at physic-technological center, Dr. in physical and mathematical sciences, professor
Казахский национальный педагогический университет им. Абая, Алматы, Казахстан
*****@***ru
специалист высшего уровня квалификации физико-технологического центра
Shmygalev Evgeniy Vladimirovich
Kazakh National Pedagogical University named after Abai, Almaty, Kazakhstan
high level qualification specialist at physic-technological center
Казахский национальный университет им. аль-Фараби, Казахстан, Алматы
*****@***ru
профессор кафедры информатики, д. т.н., профессор
Shmygaleva Tatyana Alexandrovna
al-Farabi Kazakh National university, Kazakhstan, Almaty
professor at Computer science department, Dr. in technical sciences, professor
адрес и телефоны: 050060, кв.31, , 8 705 718 1835, 8 777 020 2453, Шмыгалевой Татьяне Александровне.
Аннотация. В данной работе рассматривается моделирование процессов радиационного дефектообразования в твердых телах, облученных тяжелыми ионами в рамках каскадно-вероятностного метода (КВМ). Получены выражения для спектров первично-выбитых атомов и концентрации радиационных дефектов. Разработаны алгоритмы расчета и произведены расчеты спектров первично-выбитых атомов и концентрации радиационных дефектов для ионов, облученных тяжелыми ионами. Выявлены закономерности нахождения и поведения области результата в зависимости от атомного номера мишени, первоначальной энергии первичной частицы, глубины проникновения.
Abstract. This work considers radiation defects generation processes modeling in solid bodies irradiated with heavy ions within the cascade-and-probability method (CPM) limits. Expressions for radiation defects at primary knocked-on atoms spectrums and concentration are obtained. The calculation algorithms are developed; calculations on primary knocked-on atoms spectrums and concentration for radiation defects at the ions radioactively treated with heavy ions are made. Regularity result determination and behavior result area patterns are depending upon on the target atomic number, primary particle and depth penetration initial energy are educed.
Ключевые слова: моделирование; дефектообразование; взаимодействие; сечение; ион; мишень; концентрация; вакансионные кластеры; спектр первично-выбитых атомов.
Keywords: modeling; defect formation; interaction; section; ion; target; concentration; vacancies clusters; primary knocked-on atoms spectrum.
Облучение металлов тяжелыми ионами, которым соответствуют более высокие плотности, формируются дефекты: дислокационные петли вакансионного типа. В этом случае предполагается [1], что междоузельные атомы мигрируют из образованной дефектной зоны, а оставшиеся в ядре зоны вакансии атермически и термически перестраиваются и коллапсируют в вакансионную петлю. Отметим, что коллапсирование дефектной зоны в аморфную в полупроводниках и вакансионную петлю в металлах отражает различную эффективность миграции точечных дефектов, а также влияние типа межатомных связей. Таким образом, имеющиеся работы и существующие методы расчета концентрации дефектов, возникающих при облучении металлов быстрыми ионами, либо существенно завышают экспериментальные данные по концентрации и не объясняют их наблюдаемые размеры, либо в предложенных моделях имеются свободные параметры, которые не определяются из каких-то физических соображений.
Рассмотрим процесс образования дефектов и вакансионных кластеров в рамках каскадно-вероятностной модели. Рассчитаем энергетический спектр ПВА
на различных глубинах, далее найдем концентрацию каскадных областей. Для расчета концентрации вакансионных кластеров используется формула [2]:
, (1)
.
Спектр ПВА W(E0,E2,h) определяется формулой [2]:
, (2)
где n1 – максимальное число упругих столкновений,
– каскадно-вероятностная функция с учетом потерь энергии для ионов после n-го числа взаимодействий на глубине генерации
. Для нахождения λ2 рассчитываем σ2 по формуле Резерфорда. Спектр ПВА в элементарном акте на глубине
определяется как отношение дифференциального резерфордовского сечения к интегральному, т. е. [2]:
, (3)
. (4)
В конечном счете, получаем формулу для вычисления вакансионных кластеров [2]:
. (5)
Результаты расчетов представлены на рисунке 1 и в таблицах 1,2.

Рисунок 1. Зависимость концентрации радиационных дефектов от глубины при облучении кремния ионами серебра при Е0=1000 кэВ, Ес=50 кэВ (1), 100 кэВ (2), 200 кэВ (3)
Таблица 1. Границы области определения концентрации радиационных дефектов для серебра в кремнии при Ес=50 кэВ, Е0= 1000 кэВ
h*104, см | Ск, см | Е0, кэВ | n0 | n1 | ф |
0,1 | 88082,9 | 1000 | 174 | 417 | 4ґґ 37 |
1,81 | 99324,6 | 900 | 60299 | 63742 | 15ґ |
3,60 | 113195,6 | 800 | 130090 | 135256 | 46ґ |
5,37 | 130454,8 | 700 | 210534 | 217106 | 1° 33ґ09ґґ |
7,11 | 152649,5 | 600 | 304159 | 311851 | 2° 37ґ |
8,84 | 181910,5 | 500 | 416958 | 426047 | 4° 11ґ |
10,52 | 220917,3 | 400 | 553995 | 564515 | 6° 25ґ58ґґ |
11,35 | 246186,7 | 350 | 636131 | 647055 | 7° 39ґ |
12,17 | 275726,9 | 300 | 730486 | 742372 | 9° 33ґ |
12,50 | 288048,2 | 280 | 773157 | 785169 | 10° 13ґ |
12,82 | 301953,9 | 260 | 817668 | 830230 | 11° 16ґ |
13,14 | 327040,8 | 240 | 865743 | 878584 | 12° 13ґ |
13,47 | 345536,9 | 220 | 919681 | 932919 | 13° 55ґ |
13,79 | 343932,4 | 200 | 976991 | 991171 | 14° 20ґ |
14,11 | 354807,8 | 180 | 1040229 | 1054285 | 15° 31ґ |
14,43 | 360602,6 | 160 | 1110714 | 1125270 | 16° 28ґ |
14,74 | 355618,9 | 140 | 1187615 | 1202706 | 20° 35ґ |
15,07 | 330194,8 | 120 | 1281471 | 1297282 | 1,5 сут |
15,39 | 254778,6 | 100 | 1388250 | 1404749 | 1,7 сут |
15,72 | 61259,9 | 80 | 1521343 | 1538931 | 1,8 сут |
15,89 | 0 | 70 | 1602632 | 1620512 | 2 сут |
Таблица 2. Границы области определения концентрации радиационных дефектов для золота в серебре при Ес=50 кэВ и Е0=200 кэВ
h*105, см | Ск, см | Е0, кэВ | n0 | n1 | τ |
0,1 | 7007867,7 | 200 | 15644 | 18053 | 7' |
0,2 | 7302275,4 | 180 | 33412 | 36880 | 29' |
0,3 | 7511692,1 | 160 | 52883 | 57218 | 46' |
0,5 | 8284898,7 | 140 | 97458 | 103303 | 1ч44' |
0,7 | 8873991,1 | 120 | 150932 | 158182 | 3ч |
0,9 | 8996191,7 | 100 | 215684 | 224336 | 5ч |
1,1 | 7783588,7 | 80 | 295270 | 305387 | 5ч 18' |
1,2 | 6039618,3 | 70 | 342258 | 352550 | 7ч01' |
1,3 | 2777112,7 | 60 | 395295 | 407000 | 10ч06' |
1,4 | -3336586,8 | 50 | 455708 | 468109 | 9ч52' |
Поведение концентрации вакансионных кластеров следующее:
При
= 50 кэВ в профилях появляется максимум, что говорит о локализации каскадных областей на небольшой глубине. С увеличением первоначальной энергии частицы область повреждения смещается в глубину материала. При одинаковых
и
для более тяжелых частиц на единицу пути движения иона образуется больше областей. При энергиях налетающей частицы Е0 =100 КэВ максимум функции наблюдается у поверхности мишени, причем значение ее мало и быстро обращается в ноль, следовательно образуется очень малая поврежденная область, которая лежит в пределах 10–100 нм.
Нахождение области результата концентрации вакансионных кластеров при ионном облучении позволило выявить следующие закономерности:
1. В зависимости от глубины проникновения начальное и конечное значения числа взаимодействий увеличиваются, интервал области результата (n0 n1) увеличивается и смещается вправо.
2. С уменьшением первоначальной энергии первичной частицы интервал области результата смещается вправо, значения концентрации радиационных дефектов возрастают, значения глубин проникновения уменьшаются.
3. С увеличением атомного номера мишени интервал области результата значительно смещается вправо и увеличивается.
4. При большом атомном весе налетающей частицы и мишени резко возрастают значения концентрации.
5. При различных значениях пороговой энергии границы области результата остаются прежними. С увеличением пороговой энергии уменьшаются значения концентрации, значения глубин проникновения уменьшается.
Таким образом, в работе рассмотрен процесс взаимодействия тяжелых ионов с твердым телом. В качестве мишени были взяты легкие и тяжелые элементы. По предложенным алгоритмам проведены расчеты спектров первично-выбитых атомов, концентрации радиационных дефектов. Результаты расчетов представлены в виде графиков и таблиц. Получены новые закономерности поведения спектров ПВА, концентрации вакансионных кластеров. Полученные данные свидетельствуют о том, что концентрация каскадных областей является очень чувствительной функцией к изменениям первоначальной энергии налетающей частицы, пороговой энергии на образование каскада, атомному весу мишени, аппроксимационным параметрам.
Полученные модели, алгоритмы и результаты расчетов могут использоваться специалистами по радиационной физике твердого тела, позитронной физике, космофизике, прикладной математике.
Литература
1. Комаров имплантация в металлы. – М, Металлургия, - 1990. – 216 с.
2. , , . Каскадно-вероятностный метод. Решение радиационно-физических задач, уравнений Больцмана. Связь с цепями Маркова.- Алматы, КазНПУ им. Абая, НИИ НХТ и М им. аль-Фараби, ТОО «КАМА», 2015.-388 с.


