Филиал Российского государственного архива научно-технической

документации в г. Самаре (Филиал РГАНТД)

Научно-исследовательский институт вакуумно-электронного машиностроения (НИИ «ВЭМ»)

Министерства промышленности средств связи СССР, г. Ижевск, 1976-2002 гг.

ФОНД № Р - 817


ОПИСЬ № 2 -2. Том 1.

дел постоянного хранения конструкторской документации

за 1981-1991 гг.

СПИСОК  СОКРАЩЕННЫХ  СЛОВ

АСКД – автоматизированная система контроля диагностики.

БКТП – блок контроля технологического процесса.

БКУСТ – блок контроля и управления системой травления.

БП – блок питания.

БУАН – блок управления автоматической настройки.

БУМК – блок управления машинного контроля.

БУСН – блок управления системой нагрева.

БУТС – блок управления транспортной системой.

БУУЭ – блок управления узлом электрическим.

ВЧ – высокие частоты.

ВЭУ – вторично-электронный умножитель.

ЗИП – запчасти и принадлежности.

ЛВН – линия вакуумного напыления.

МСР – магнетронная система распыления.

ПКУ – панель контроля и управления.

УВ – установка вакуумная.

УВК – управляющий вычислительный комплекс.

УКР – установка катодного распыления.

УПТ – усилитель постоянного тока.

УСМ – установка сопряжения с машиной.

УСО – установка системы очистки.

ЭЛИ – электронно-лучевой испаритель.

ЯВИ – ячейка ввода информации.

ЯГР – ячейка гальванической развязки.

ЯКМ – ячейка контроля магистрали.

НЕ нашли? Не то? Что вы ищете?

ЯКС – ячейка контроля и синхронизации.

ЯМ – ячейка мультиплексора.

ЯПС – ячейка последовательной связи.

ПРЕДИСЛОВИЕ

В 1976 году на базе Ижевского механического института приказом Министра министерства промышленности средств  связи СССР № 000 от 29.10.76 был создан филиал Центрального научно-исследовательского технологического института на самостоятельном балансе (Ижевский филиал ЦНИТИ) «с целью ускорения проектирования и внедрения новых видов высокопроизводительного, автоматизированного специального оборудования и прогрессивных технологических процессов».

Приказом была определена следующая специализация филиала:

-разработка и модернизация специального технологического оборудования для изготовления микросхем, печатных плат и роботов;

-проведение технической подготовки производства специального оборудования  с разработкой механизации и автоматизации техпроцессов;

-совершенствование и внедрения технологических процессов при изготовлении специального оборудования в области литейного производства, термообработки и механической обработки.

В структуру Ижевского филиала было включено два отделения: отделение модернизации и разработки специального технологического оборудования и отделение технологической подготовки производства специального технологического оборудования, а также 4 лаборатории, , 6 производственных отделов, 8  управленческих отделов и опытное производство.

29 августа 1980 года приказом министерства промышленности средств связи СССР № 000дсп на базе Ижевского филиала ЦНИТИ было создано специальное конструкторско-технологическое бюро точного машиностроения СКТБ ТМ «Ижточмаш» с опытным производством. Бюро находилось в ведении минпромсвязи СССР и непосредственно подчинялось. Десятому главному управлению. СКТБ ТМ «Ижточмаш» являлось юридическим лицом и находилось на самостоятельном балансе.  Специализировалось СКТБ ТМ «Ижточмаш» по следующим направлениям:

-разработка специального вакуумного напылительного оборудования для нанесения металлических покрытий  и  диэлектрических  слоев  в  производстве  интегральных  схем;

-разработка специального термического оборудования для производства интегральных схем;

-разработка вакуумно-откачных систем,  прецизионного оборудования  для формообразования;

-проведение технологической подготовки производства специального оборудования с разработкой нестандартного оборудования, специальной и унифицированной оснастки;

-совершенствование организации производства.

В структуру СКБ ТМ «Ижточмаш» вошло 4 научно-исследовательских отделения:

-разработки электронных устройств вакуумно-напылительного оборудования;

-конструкторской разработки вакуумно-напылительного оборудования;

-разработки специального термического оборудования для производства интегральных схем;

-базовое отделение в г. Чайковском для разработки вакуумно-откачных систем, прецизионного оборудования для формообразования.

Научно-исследовательские отделения имели в своем составе производственные отделы и лаборатории.

24 декабря 1984 г. приказом № 000 ДСП Министерства промышленности средств связи СССР «в целях совершенствования специализации производства, расширения производственной базы отрасли» на базе опытного производства СКТБ ТМ «Ижточмаш» создается Ижевский опытный завод вакуумно-электронного машиностроения «ВЭМ» с передачей его проектно-конструкторскому бюро Воткинского завода радиотехнического оснащения. Завод создается на самостоятельном балансе и с правом юридического лица. Основная задача «ВЭМ» - изготовление опытных образцов и малых серий вакуумно-электронной техники, разрабатываемой СКТБ ТМ.

В 1986 году СКБ ТМ «Ижточмаш» было переименовано в СКБ «ВЭМ», в составе бюро 2 научно-исследовательских отделения: разработки технологических систем специального технологического оборудования и автоматизированных систем управления, которые в свою очередь, состоят из производственных отделов по направления деятельности организации и секторов.

Приказом Министерства промышленности средств связи СССР № 45 ДСП от 04.02.87 СКБ «ВЭМ» согласно Постановлению ЦК КПСС и Совета Министров СССР № 000-349 от 28.10.86 было преобразовано в Научно-исследовательский институт вакуумно-электронного машиностроения ( НИИ «ВЭМ») с правом юридического лица и подчинением его Десятому Главному управлению. На НИИ «ВЭМ» были возложены функции головного НИИ в отрасли по созданию вакуумного специального технологического оборудования для микроэлектроники в части вакуумно-напылительного оборудования, плазмо-химического  оборудования, оборудования для осаждения из газовой  фазы  при  пониженном  давлении.

В соответствии с Постановлением ЦК КПСС и Совета Министров СССР от 30.11.87 № 000 «О переводе научных организаций на полный хозяйственный расчет и самофинансирование» приказом Министерства от 02.09.88 № 000 ДСП вошло с сохранением права юридического лица в состав  Воткинского производственного объединения радиотехнологического оснащения (ПО РТО). Вместе с Ижевским опытным заводом вакуумно-электронного машиностроения (ОЗ «ВЭМ») они образовали единый научно-производственный комплекс с законченным циклом: исследование-проектирование - опытное производство-подготовка документации к серийному освоению технологического оборудования. Однако, уже в 1989 году ПО РТО издает приказ по объединению № 5 от 24.01.89, в котором НИИ ВЭМ «во изменение п.1 приказа министерства от 02.09.88 № 000 ДСП» становится структурной единицей без права юридического лица.

Приказом № 89 от 01.1091 концерна «Телеком» институт вновь наделен правами юридического лица, но оставлен в составе ПО  РТО.

Решением исполкома Октябрьского районного совета народных депутатов Удмуртской республики № 000/1 от 22.03.93 НИИ «ВЭМ» зарегистрирован как Акционерное общество открытого типа «Научно-исследовательский институт вакуумно-электронного машиностроения». Уставом общества предусматривалась создание Совета директоров и Правления. Возглавлял  общество генеральный директор. Органом контроля за финансово - хозяйственной  и правовой деятельностью  осуществляла Ревизионная комиссия, контроль за научной и исследовательской деятельностью - Научно-технический совет. Совет директоров и Ревизионная комиссия избирались общим собранием акционеров, Правление и научно-технический совет - Советом директоров. Общество выпускала два вида акций: привилегированные и обычные.

После ликвидации ВЭМ» в 2002 году, документы по управленческой, конструкторской документации и по личному составу остались в неупорядоченном состоянии в помещении, занимаемом сторонней организацией. Кроме того, часть документов была залита в результате аварии. По согласованию с филиалом РГАНТД Центральный архив Удмуртской республики принял на временное хранение весь комплекс документации, провел работы по дезинфекции документации. Документация по личному составу была упорядочена сотрудниками государственного архива, а управленческая и конструкторская документация ВЭМ» была отправлена в г. Самару.

Конструкторская документация за 1977-1991 гг. была упорядочена  сотрудниками отдела КВАД и включена в опись дел постоянного хранения. В ходе упорядочения была проведена экспертиза ценности имеющейся документации и выделены следующие крупные разработки:

    автоматизированная система контроля и диагностики цифровых узлов АСКД-160; автоматизированная система управления технологическим процессом молекулярно-лучевой эпитаксии; линия вакуумного напыления; линия непрерывного действия «Плазма»; система электронно-лучевого испарителя «Электрон»; установка высокочастотного распыления «Катод-1»; установка магнетронного распыления «Лавина»; установка магнетронного распыления «Катод-1М».

  Документация по указанным разработкам вошла в первый раздел описи.

  В связи с утерей части документации после ликвидации   ВЭМ» при подборе документов по разработкам приходилось руководствоваться перечнями ведущих специалистов, в которых перечислялись узлы и части, составляющие изделия. Таким образом,  использование этих перечней  смогло компенсировать  отсутствие сводных спецификаций на изделия. Разработки в первом разделе описи были отсистематизированы по алфавиту названий. Дела в составе каждой разработки отсистематизированы в той последовательности узлов и частей, в какой  они  были перечислены в перечнях ведущих специалистов или спецификациях.

  Во второй раздел описи вошли разработки по нестандартизированному оборудованию. Это отдельные агрегаты и устройства, которые разработала организация за период своей деятельности. Разработки во втором разделе описи отсистематизированы по алфавиту названий групп: агрегаты вакуумные, блоки, источники питания, модули, стенды, субблоки и т. д.

  Опись снабжена  перечнем переименований, списком сокращенных слов, оглавлением  и предисловием.

  Документы, включенные в опись, прошли научно-техническую обработку в соответствии с требованиями «Основных правил  работы с НТД в организациях и на предприятиях»М.,1991. В ходе научно-технической обработки проводился мелкий ремонт чертежей формата А4.

  Главный  специалист  ОКВАД 

ПЕРЕЧЕНЬ  ПЕРЕИМЕНОВАНИЙ



1976-  Ижевский филиал Центрального научно-исследовательского технологического института (ЦНИТИ) 

1980 гг.  Министерства промышленности средств связи СССР

1981-  Специальное конструкторско-технологическое бюро точного машиностроения  1986 гг.  (СКТБ  ТМ «Ижточмаш»)

  Министерства промышленности средств связи СССР

1987-  Научно-исследовательский институт вакуумно-электронного машиностроения (НИИ «ВЭМ»)

1991 гг.  Министерства промышленности средств связи СССР

ОГЛАВЛЕНИЕ



Список сокращенных слов …………………………………………………………………………………………… 1-2

Предисловие …………………………………………………………………………………………………………… 3-6

Автоматизированная  система контроля и диагностики цифровых узлов АСКД-160 …………………………… 7-8

Автоматизированная система управления технологическим процессом молекулярно-лучевой эпитаксии …… 8-11

Линия вакуумного напыления ………………………………………………………………………………………. 11-45

Линия непрерывного действия «Плазма» ……………………………………………………………………………45-74

Система электронно-лучевого испарителя «Электрон» …………………………………………………………… 74-106

Установка высокочастотного распыления «Катод-1» ………………………………………………………………106-115

Установка магнетронного распыления «Лавина» ………………………………………………………………….. 115-120

Установка магнетронного распыления «Катод-1М» ………………………………………………………………. 120-140

  УТВЕРЖДЕНО 

  Протокол ЭПК филиала РГАНТД 

  от______________№__________ 

Фонд № Р - 818  Председатель ЭПК филиала РГАНТД

Опись № 2-2

  __________________




№

ед. хр.

Обозначение

(производственный

индекс и шифр)

Заголовок ед. хр.

Автор (организация разработчик)

Крайние даты документов

Кол-во листов

Примечание

1

2

3

4

5

6

7

Автоматизированная система контроля и диагностики цифровых узлов АСКД-160.

Рабочие чертежи.

1

Спецификация, схема общая.

СКТБ ТМ «Ижточмаш», г. Ижевск

1986

9+1

2

Формуляр.

-«-

1984

32

3

Карта технического уровня и качества продукции.

-«-

1986

10

4

Ведомости покупных изделий, ЗИП и эксплуатационных материалов.

-«-

-«-

12+1

5

Блок УСО.

Спецификация, сборочный чертеж, детали.

-«-

-«-

22+1

6

То же.

Перечень элементов, схема принципиальная.

-«-

-«-

6+1

7

То же.

Электромонтажный чертеж.

-«-

-«-

54

8

То же.

Узел защиты, панель, шасси.

Спецификации, сборочные чертежи, детали.

-«-

-«-

14+1

9

То же.

Пробник.

Спецификация, сборочный чертеж, детали.

-«-

-«-

9+1

Автоматизированная система управления технологическим процессом молекулярно-лучевой эпитаксии.

Рабочие чертежи.

10

Спецификация, схема электрическая принципиальная.

НИИ «ВЭМ», г. Ижевск

1987

10+1

11

Ведомость эксплуатационных документов.

-«-

-«-

25+1

12

Ведомости спецификаций и покупных изделий.

-«-

-«-

16+1

13

Ведомость ЗИП.

-«-

-«-

16+1

14

Паспорт.

-«-

-«-

71+1

15

Перечень элементов.

-«-

-«-

9+1

16

Ведомость ссылочных документов.

-«-

-«-

53+1

17

Таблица соединений.

-«-

-«-

51

18

Усилитель вторично-электронного умножителя (ВЭУ).

Спецификация, техописание и инструкция по эксплуатации.

-«-

-«-

24+1

19

Шкаф управления (023).

Спецификация, сборочный чертеж, детали.

-«-

1988

39+1

20

То же.

Ведомости покупных изделий и спецификаций, перечень элементов, схема электрическая принципиальная.

-«-

1987

16+1

21

Шкаф управления (027).

Спецификация, сборочный чертеж, схема электрическая принципиальная.

-«-

-«-

17+1

22

То же.

Блок нагрева камер.

Спецификация, сборочный чертеж.

-«-

-«-

16+1

23

То же.

Блок нагрева камер.

Электромонтажный чертеж.

-«-

-«-

20+1

24

То же.

Блок нагрева камер.

Ведомости покупных изделий и спецификаций, схема принципиальная.

-«-

-«-

13+1

25

То же.

Блок питания титановых сублиматоров.

Спецификация, сборочный чертеж.

-«-

-«-

18+1

26

То же.

Блок питания титановых сублиматоров.

Ведомости покупных изделий и спецификаций.

-«-

-«-

17+1

27

То же.

Блок питания титановых сублиматоров.

Техописание и инструкция по эксплуатации.

-«-

-«-

27+1

28

То же.

Блок питания титановых сублиматоров.

Перечень элементов, схема электрическая принципиальная.

-«-

-«-

5+1

29

То же.

Блок контроля.

Спецификация, сборочный чертеж.

-«-

-«-

22+1

30

То же.

Блок контроля.

Техописание и инструкция по эксплуатации.

-«-

-«-

68

31

То же.

Блок контроля.

Ведомость покупных изделий, схема принципиальная.

-«-

-«-

19+1

32

То же.

Рама, кронштейн, направляющая.

Спецификации, сборочные чертежи, детали.

-«-

-«-

8+1

33

Шкаф управления (028).

Спецификация, сборочный чертеж, схема электрическая принципиальная.

-«-

-«-

24+1

34

То же.

Блок управления нагревом камер.

Спецификация, сборочный чертеж, детали.

-«-

-«-

32+1

35

То же.

Блок управления нагревом камер.

Техописание и инструкция по эксплуатации.

-«-

-«-

30

36

То же.

Блок управления нагревом камер.

Перечень элементов, схема принципиальная.

-«-

-«-

5+1

37

Блок связи с машиной.

Спецификация, сборочный чертеж.

-«-

-«-

23+1

38

То же.

Электромонтажный чертеж, схема принципиальная.

-«-

-«-

18+1

Линия вакуумного напыления.

Рабочие чертежи.

39

Перечень ведущих специалистов.

СКТБ ТМ «Ижточмаш», г. Ижевск

1986

48+1

40

Спецификация, сборочный чертеж.

-«-

-«-

16+1

41

Схема электрическая структурная.

-«-

-«-

4+1

42

Схемы гидравлические и пневматические.

-«-

-«-

3+1

43

Перечень элементов.

-«-

-«-

20+1

44

Ведомость спецификаций.

-«-

-«-

57+1

45

Ведомость ссылочных документов

-«-

1984

70+1

46

Ведомость покупных изделий.

-«-

1986

8+1

47

Патентный формуляр.

-«-

1984

12+1

48

Ведомость эксплуатационных документов.

-«-

1985

49+1

49

Ведомость ЗИП.

-«-

1984

37+1

50

Таблица соединений.

-«-

-«-

23+1

Система нагрева.

51

Спецификация, сборочный чертеж.

-«-

-«-

6+1

52

Шкаф контроля температур.

Спецификация, сборочный чертеж.

-«-

-«-

15+1

53

То же.

Схема электрическая принципиальная,

электромонтажный чертеж.

-«-

1986

2+1


1374

Разъем ВКГ-10, разъем, держатель ламповый, коллекторы.

Сборочные чертежи.

-«-

1988

6+1

1375

Затвор вакуумный с пневмоприводом.

Спецификация, сборочный чертеж, детали.

СКТБ ТМ «Ижточмаш», г. Ижевск

1985

20+1

1376

Фланцы.

Спецификации, сборочные чертежи, детали.

-«-

-«-

20+1

1377

Обечайка, сепаратор, направляющая.

Спецификации, сборочные чертежи, детали.

-«-

1986

9+1

1378

Плита, подложкодержатель.

Спецификации, сборочные чертежи, детали.

-«-

-«-

11+1

1379

Натекатель.

Спецификация, сборочный чертеж, детали.

-«-

1982

13+1

1380

Ввод вращения.

Спецификация, сборочный чертеж, детали.

-«-

1986

13+1

1381

Ввод высокочастотный.

Спецификация, сборочный чертеж, детали.

-«-

-«-

14+1

1382

Привод пневматический, вентилятор.

Спецификации, сборочные чертежи, детали.

-«-

1984

22+1

1383

Агрегат воздушного охлаждения, охладитель.

Спецификации, сборочные чертежи, детали.

-«-

1986

24+1

1384

Контакты, контактодержатель.

Сборочные чертежи.

НИИ «ВЭМ», г. Ижевск

1987

4+1

1385

Платы (672.015, …035).

Спецификации, сборочные чертежи, детали.

-«-

1989

12+1

1386

Платы (672.036, …040, …041).

Спецификации, сборочные чертежи.

-«-

-«-

9+1

1387

Платы (672.044, …114, …169).

Спецификации, сборочные чертежи, детали.

СКТБ ТМ «Ижточмаш», г. Ижевск

1986

11+1

1388

Платы (672.171, …173, …190).

Спецификации, сборочные чертежи.

-«-

-«-

14+1

1389

Корпус, каркасы, чехол.

Спецификации, сборочные чертежи, детали.

-«-

-«-

17+1

В данный раздел описи включено 1389 ( одна тысяча триста восемьдесят девять ) единиц хранения с № 1 по № 000.

Главный специалист ОКВАД 

25.04.2005

СОГЛАСОВАНО

Протокол ЭК ВЭМ»

от ____________ № ______

Конструкторская документация по данному разделу передана на государственное хранение в филиал РГАНТД

в количестве 1389 (одной тысячи трехсот восьмидесяти девяти) единиц  хранения.

Сдал: от ВЭМ»

дата _________________

Принял: от филиала РГАНТД  зав. архивохранилищем ПКД 

дата _________________

Лист-заверитель описи № 2-2  ( фонд  № Р - 817  )

В настоящей описи пронумеровано 140 (сто сорок ) листов

Главный специалист ОКВАД 

  25.04.2005