Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования
«Национальный исследовательский университет «МИЭТ»

МЕТОДЫ ИТОГОВОГО  КОНТРОЛЯ

ОСВОЕНИЯ  КОМПЕТЕНЦИИ МОДУЛЯ I ОП ОПП

«Проводить обоснование выбора конструктивно-технологического решения модуля вакуумно-плазменной обработки для заданной технологической операции»

                       

Разработал: , д. т.н, профессор каф. МЭ МИЭТ

Москва 2012

Для итогового контроля освоения первой компетенции модуля I слушатели проводят обоснование выбора конструктивно-технологического решения модуля вакуумно-плазменной обработки для заданной технологической операции.

Аттестацию рекомендуется реализовать следующим образом:

Форма 1.        В виде разработки технической документации, описывающей конструктивно-технологические параметры модуля (например, в форме пояснительной записки) с последующей оценкой экспертом (преподавателем);

Форма 2.        В виде презентации разработанного технического решения на семинаре-конференции слушателей с ответами на вопросы и дискуссией (защита предлагаемого проекта) с последующей оценкой выступления комиссией.

Аттестация по форме 1

В случае разработки технической документации слушатель по полученному варианту задания должен в письменном виде (например, в форме пояснительной записки) обосновать выбор технического решения модуля, обеспечивающего качественное выполнение заданной технологической операции и включающего следующие разделы, обосновывающие выбор:

НЕ нашли? Не то? Что вы ищете?
вида и способа генерации плазмы; метода (способа) обработки; средств получения вакуума и конструктивной схемы вакуумной системы; конструктивно-технологической схемы внутрикамерного устройства; методов и способов обеспечения техники безопасности и экологических требований при функционировании модуля.

Оценка предложенного варианта модуля проводится в виде экспертизы сданной работы экспертом (преподавателем) по полноте изложения и обоснованности выбора всех основных компонентов модуля и качеству выбранных решений по каждому из компонентов, изучаемому в рамках каждой из технических дисциплин общепрофессиональной подготовки модуля I. То есть предметом оценки является документ «Обоснование выбора конструктивно-технологического решения модуля вакуумно-плазменной обработки».

Для независимой оценки представленного документа разработана форма экспертной таблицы (оценочного листа), позволяющая провести оценку ответа слушателя по ключевым словам (см. табл. 1).

Итоговые показатели оценки:

1.        Выбор вида и способа генерации плазмы выполнен с учетом требований заданной технологической операции;

2.        Выбранные средства получения вакуума и конструктивная схема вакуумной системы соответствуют требованиям заданной  технологической операции;

3.        Выбранная конструктивная схема внутрикамерного устройства обеспечивает реализацию технологической операции с заданными требованиями;

4.        Выбранные методы и способы обеспечения требований ТБ и экологии реализуют безопасное функционирование модуля.

Каждый из разделов оценивается в баллах. Суммарное количество баллов определяет качество предложенного технического решения. Максимальная сумма баллов – 50. Если сумма набранных баллов менее 30, предложенное техническое решение считается неудовлетворительным, 40-45 баллов – «хорошо», более 45 баллов – «отлично». Слушатель также не проходит аттестацию, если документ содержит не все разделы (менее 4-х).

Аттестация по форме 2

Во втором случае слушатель готовит презентацию по разработанному варианту решения модуля и выступает на семинаре-конференции, после которого идет обсуждение представленного технического решения всей группой слушателей модуля I. При этом дополнительные баллы получают и активные участники дискуссии, предлагающие свои оригинальные решения.

Выступление аттестуемого оценивается по следующим критериям:

Качество представленного технического решения; Оформление презентации; Качество доклада; Ответы на вопросы.

Оценка выступления осуществляется комиссией, состоящей из преподавателей, ведущих курсы модуля I.

Таблица 1. – Пример оценочного листа технологического модуля для операции глубокого травления кремния с заданной скоростью и анизотропией.


1

Содержание документа:

5

Содержит все разделы

5

Содержит 4 раздела

2

Содержит 3 и менее разделов

Конец теста

2

Вид и способ генерации плазмы:

15

2.1

Тип разряда:

5
    Тлеющий

3
    Высокочастотный

3
    ICP-разряд

5
    Магнетронный разряд

4
    ЭЦР-разряд

4

2.2

Рабочая среда: 

5
    Фторсодержащее соединение с инертным газом

5
    Инертный газ

4
    Фторсодержащее соединение

3
    Хлорсодержащее соединение

0
    Хлорсодержащее соединение с инертным газом

0

2.3

Способ обработки:

5
    Ионное травление

2
    Ионно-химическое травление

4
    Плазмохимическое травление

1
    Плазмохимическое травление с пассивацией (Bosh-процесс)

5

3

Вакуумная система:

10

3.1

Выбраны и обоснованы средства получения вакуума

6
    Поршневой ФВН

0
    Пластинчато-роторный ФВН

0
    Химстойкий поршневой ФВН

2
    Химстойкий пластинчато-роторный ФВН

2
    Двухроторный насос

1
    Химстойкий двухроторный насос

3
    Диффузионный паромасляный ВВН

1
    Криогенный насос ВВН

3
    Тубомолекулярный ВВН

1
    Химстойкий тубомолекулярный ВВН

3

3.2

Выбрана и обоснована конструктивная схема вакуумной системы

4

3.3

Выбрана без обоснования конструктивная схема вакуумной системы

2

4

Внутрикамерное  устройство:

10

4.1

Выбрана конструктивная схема  внутрикамерного  устройста

5

4.2

Выбрана и обоснована конструктивная схема внутрикамерного  устройста

10

Техника безопасности и экология:

10

5.1

Выбраны  методы и способы обеспечения требований ТБ, реализующие безопасное функционирование модуля

5

5.2

Выбраны  и обоснованы методы и способы обеспечения требований ТБ, реализующие безопасное функционирование модуля

10