Оглавление
Введение 6
1 Механика процесса полирования 8
1.1 Методы полирования 8
1.1.1 Химическое полирование 8
1.1.2 Электрохимическое полирование 9
1.1.3 Магнитно-абразивное полирование 10
1.1.5 Метод ионно-лучевого полирования 13
1.2 Основные свойства неорганических оптических материалов 16
1.3 Абразивы, оборудование и инструмент для полирования хрупких оптических материалов 18
2. Физическая сущность процесса абразивного полирования хрупких оптических материалов. 34
2.1. Существующие толкования природы процесса полирования. 34
2.2 Основные закономерности процесса абразивного полирования оптического стекла и кристаллических материалов. 49
2.2.1 Зависимость износа и силы трения от давления 49
2.1.3 Зависимость износа и силы трения от скорости относительного движения 52
2.1.4 Зависимость износа и силы трения от размера абразивного зерна 53
2.1.5 Зависимость износа и силы трения от твердости изнашиваемых материалов 54
2.1.5 Зависимость износа и силы трения от твердости и прочности абразивных материалов 57
2.1.6 Влияние температуры при полировке на износ стекла 58
2.3 Общность закономерностей процессов шлифовки и полировки 60
3 Методики проведения экспериментальных исследований. 61
3.1 Номенклатура образцов ниобата лития для проведения исследований. Основные технические требования к обрабатываемым поверхностям. 61
3.1.1 Исходная поверхность 62
3.2 Оборудование и технологическая оснастка. 63
3.2.1 Оборудование 63
3.2.2 Технологическая оснастка 64
3.3 Контрольно-измерительное оборудование 65
3.3.1 Кругломер MarForm MMQ 400 65
3.3.2 Профилограф S2 67
3.4. Методики контроля формы и шероховатости обрабатываемых поверхностей. 69
3.4.1 Методика определения параметров шероховатости 69
3.4.2 Методика определения отклонения формы 70
3.5. Методика определения скорости полирования 71
3.6. Абразивные материалы, полировальники и режимы обработки 72
3.6.1 Полировальники 72
3.6.2 Абразив 73
3.6.3 Методика измерения линейного съема 73
3.6.4 Качество поверхности 73
3.6.5 Стойкость инструмента 74
Выводы 74
4. Результаты экспериментальных исследований процесса абразивного полирования ниобата лития (LiNbO3). 75
4.1. Влияние режимов обработки на скорость полирования и качество поверхностей. 75
4.1.1 Влияние давления на производительность процесса 75
4.1.2 Влияние скорости полирования на производительность процесса 77
4.2. Экспериментальное исследование влияния характеристик абразивных материалов на качественные и количественные показатели полировки. 80
4.3. Исследование влияние физико-механических свойств полировальников на производительность полирования и качество обработанной поверхности. 82
4.4. Динамика формирования микрорельефа полированной поверхности. 86
Выводы: 88
6. Заключение: 89
7. Список используемой литературы: 90
8. Приложение 91
