Тезисы (стр. 3 )

На рис. 2 сплошной кривой показана вычисленная зависимость lgw=lg[d(lgσ)/d(lgT)] от lgT, где σ  ⎩⎪∑™∑⎣∑∫⟩ ⟩⌠⎧⎧⎩⎡ ⎜⎩⎨⎨⎩⎡ σ1 ⎝ ⎪⎦⎛⎢⎩®⎩⎡ ση ⎪⎩®⎩™⎝⎧⎩⟩∫∑⎡, ⟩⎩⎩∫®∑∫⟩∫®∑⎨⎨⎩, ⟩ ⎪◊◊⎧∑∫◊⎧⎝ σ01, Ε1, Α ⎝ ®0€, ⎩⎪∑™∑⎣∑⎨⎨⎦⎧⎝ ®⎦⎠∑ ⎝ ⎪⎝®∑™∑⎨⎨⎦⎧⎝ ® ∫◊⟨⎣⎝⎞∑. ℜ⎝™⎨⎩, ⎟∫⎩ ⎢⎝®◊ ⌡⎩⎩⎠⎩ ⟩⎩©⎣◊⟩⌠∑∫⟩ ®⎩ ®⟩∑⎧ ∫∑⎧⎪∑◊∫⌠⎨⎩⎧ ⎝⎨∫∑®◊⎣∑ ⟩ ⎜◊®⎝⟩⎝⎧⎩⟩∫⎫⎭ λγω=λγ(Δ(λγσδ)/Δ(λγΤ)) ⎩∫ λγΤ, ⎩⎪∑™∑⎣∑⎨⎨⎩⎡ ⎝⎜ ⎬⎢⟩⎪∑⎝⎧∑⎨∫◊⎣⎫⎨⎩ ⎝⎜⎧∑∑⎨⎨⎦⌡ ®∑⎣⎝⎟⎝⎨ σδ(®) ⎝ ⎨◊©⎣™⎨⎩ ™∑⎧⎩⎨⟩∫⎝⌠⎭⎤∑⎡ ⎪∑⎩⟨⎣◊™◊⎨⎝∑ ⎪⎦⎛⎢⎩®⎩©⎩ ⎝⎣⎝ ⎜⎩⎨⎨⎩©⎩ ⎧∑⌡◊⎨⎝⎜⎧⎩® ® ⎩⎪∑™∑⎣∑⎨⎨⎦⌡ ∫∑⎧⎪∑◊∫⌠⎨⎦⌡ ⎩⟨⎣◊⟩∫⌡. ®◊⎢⎝⎧ ⎩⟨◊⎜⎩⎧, ∫∑⎧⎨⎩®◊ ⎪⎩®⎩™⎝⎧⎩⟩∫⎫ ⎩∫⎩⎛⎛∑⎨⎨⎩⎡ ⎨∑⎣∑©⎝⎩®◊⎨⎨⎩⎡ ⎪⎣∑⎨⎢⎝ ® ⎝⟩⟩⎣∑™⎩®◊⎨⎨⎩⎡ ⎩⟨⎣◊⟩∫⎝ ∫∑⎧⎪∑◊∫⌠ ⎩⎪⎝⟩⎦®◊∑∫⟩ ⟩⌠⎧⎧⎩⎡ ⎪⎦⎛⎢⎩®⎩⎡ ⎝ ⎜⎩⎨⎨⎩⎡ ⎪⎩®⎩™⎝⎧⎩⟩∫∑⎡ ⟩ ⎪◊◊⎧∑∫◊⎧⎝, ⎩⎪∑™∑⎣∑⎨⎨⎦⎧⎝ ®⎦⎠∑. ∩◊®⎝⟩⎝⎧⎩⟩∫⎫ λγ(ω)=λγ[δ(λγσδ)/δ(λγΤ)] ⎩∫ λγΤ ™⎣ ⎬∫⎩⎡ ⟩⌠⎧⎧◊⎨⎩⎡ ⎪⎩®⎩™⎝⎧⎩⟩∫⎝ ⎪∑™⟩∫◊®⎣∑⎨◊ ⎨◊ ⎝⟩.€2 ⟩⎪⎣⎩⎠⎨⎩⎡ ⎢⎝®⎩⎡. ℜ⎝™⎨⎩, ⎟∫⎩ ⎪⎩⎣⌠⎟∑⎨⎨⎦∑ ⎝⎜ ⎝⎜⎧∑∑⎨⎨⎦⌡ ®∑⎣⎝⎟⎝⎨ σδ(®) ⎜⎨◊⎟∑⎨⎝? λγ(ω)=λγ(Δ(λγσ)/Δ(λγΤ)) ⌡⎩⎩⎠⎩ ⟩⎩©⎣◊⟩⌠⎭∫⟩ ⟩ ⎬∫⎩⎡ ⎢⎝®⎩⎡?⎣⎝∫. ⇑∫⎩ ⌠⎢◊⎜⎦®◊∑∫ ⎨◊ ™⎩⟩∫◊∫⎩⎟⎨⎩ ⌡⎩⎩⎠⌠⎭?? ∫⎩⎟⎨⎩⟩∫⎫ ⎩⎪∑™∑⎣∑⎨⎝ ⎪◊◊⎧∑∫⎩® ⎪⎦⎛⎢⎩®⎩⎡ ⎝ ⎜⎩⎨⎨⎩⎡ ⎪⎩®⎩™⎝⎧⎩⟩∫∑⎡ ® ⎩∫⎩⎛⎛∑⎨⎨⎩⎡ ⎨∑⎣∑©⎝⎩®◊⎨⎨⎩⎡ ⎪⎣∑⎨⎢∑.

       На рис. 3 приведенаы экспериментальные данные (кружки)? температурнаяой зависимостиь темновой проводимости σd(Т) легированной бором пленки a-Si:H после ее отжига в потоке водорода при 6500С в течение 30 минут. Видно, что зависимость σd(Т) также неактивационна. Поэтому, как и для нелегированной пленки, вычислена

На рис. 4 показана зависимость lgw от lg(T) для легированной пленки, вычисленная, какгде lgw=lg(Δ(lgσδ)/Δ(λγΤ)) ⎩∫ λγ(Τ),⎩⎪∑™∑⎣∑⎨ ⎝⎜ ⎬⎢⟩⎪∑⎝⎧∑⎨∫◊⎣⎫⎨⎩ ⎝⎜⎧∑∑⎨⎨⎦⌡ ®∑⎣⎝⎟⎝⎨ σδ(®). (⎝⟩.€3)⎣⎝∫. ⇑∫◊ ⎜◊®⎝⟩⎝⎧⎩∫⎫ ⎪⎩⎢◊⎜◊⎨◊ ⎨◊ ∪⎜ ⎝⟩.€4. ®ℜ⎝™⎨⎩, ⎟∫⎩ ® ⎩⟨⎣◊⟩∫⎝ ⎨⎝⎜⎢⎝⌡ ∫∑⎧⎪∑◊∫⌠ (Τ ⎪◊◊⎧∑∫⎦ ξ ⎝ ®0 ™⎣ ⎪⎦⎛⎢⎩®⎩⎡ ⎪⎩®⎩™⎝⎧⎩⟩∫⎝ ⎣∑©⎝⎩®◊⎨⎨⎩⎡ ⎪⎣∑⎨⎢⎝ ⎧⎦ ⎩⎪∑™∑⎣⎣⎝ ⎝⎜ ⎬⎢⟩⎪∑⎝⎧∑⎨∫◊⎣⎫⎨⎦⌡ ™◊⎨⎨⎦⌡ σδ(Τ) ⎨◊ ⎝⟩.€13 ⎧∑∫⎩™⎩⎧ ⎪⎩™⟨⎩◊ ⎪◊◊⎧∑∫⎩®⎨∑⟩⎨⎩, ⎪⎩⎟∑⎧⌠. Было получено, что x=0.25 и Т0=9.2⋅107 К, т. е. наблюдается прыжковая проводимость с переменной длиной прыжка на уровне Ферми.

Из рис. 4 видно, что для легированной пленки при Т>160 К наблюдается два интервала температур с немонотонной зависимостью lgw от lg(T). Это свидетельствует о наличии кроме прыжкового механизма проводимости еще двух других механизмов проводимости (кто сказал, что оба – непрыжковые?). К сожалению, нельзя выделить значительный интервал температур, где преобладает один из этих механизмов, чтобы определить его параметры. Поэтому анализ температурной зависимости проводимости проводимли следующим образом.

Предполагаем, что пПри низких температурах осуществляется прыжковый механизм проводимости. Кривая 1 на рис. 3 соответствует температурной зависимости прыжковой проводимости σh(Т)=A⋅exp(-(T0/T)0.25) с определенными подобранными параметрами T0=9.2⋅107 К и A=2.8⋅103 Ом-1⋅см-1. Вычитая из экспериментально измеренных величин σd  при Т>160 К соответствующие значения σh  на кривой 1, мы получаем значения проводимости (квадраты), температурная зависимость которой не описывается одной экспонентой во всей области температур Т>160 К. Однако в области температур 210 К-310 К, где наблюдается немонотонность lgw на (рис. 4), вычисленные значения проводимостиσd  ложатся на кривую 2, соответствующую зависимости σ2=σ02⋅exp(-E2/kT), где σ02=1.5⋅10-2 Ом-1⋅см-1 и E2=0.26 эВ. Малое значение параметра σ02 указывает на то, что эта проводимость не является зонной. Отметим, что наличие экспоненциальной проводимости σ2 определяет преобладание прыжковой проводимости с переменной длиной прыжка σh при более низких температурах, чем в нелегированной пленке. непонятна логика.

На рис. 3 Ввидно, что в области температур T>320 К экспериментальныео измеренные значения темновой проводимости σd  существенно больше величин σ2(T)лит. Вычитая из экспериментально измеренных величин σd  при Т>320 К сумму соответствующих величин σh  на кривой 1 и σ2 на кривой 2, мы получаем значения проводимости (кресты), температурная зависимость которой описывается экспоненциальным законом  σ1=σ01⋅exp(-E1/kT), где σ01=174 Ом-1⋅см-1 и E1=0.548 55 эВ. Полученные Эти значения σ01 и E1 характерны для зонной проводимости в легированных пленках a-Si:H. На рис. 4 сплошной кривой показана вычисленная зависимость lgw=lg[d(lgσd)/d(lgT)] от lgT, где σd  определяется суммой зонной проводимости σ1, прыжковой σh, а также проводимости σ2 с параметрами σ01, E1, A и Т0 , σ02 и E2, приведенными в таблице. Видно, что кривая хорошо согласуется во всем температурном интервале с зависимостью lgw=lg(Δ(lgσ)/Δ(lgT)) от lgT, определенной из экспериментально измеренных величин σd(Т) и наглядно демонстрирующей преобладание каждого из механизмов проводимости в определенных температурных областях.