Приложение №__ к ТЗ

Спецификация

Откачной пост А330.18


Основные технические требования Назначение:

Пост предназначен для высоковакуумной откачки стеклянных баллонов с катодно-подогревательными узлами и их обработки.


Общие требования:
    Время откачки до давления 10-7 мм. рт. ст – не более 1,5 часа (Объем баллона – 3л); Прогрева баллонов при температурах до 450оС в воздушной среде; Охлаждение приборов водой и сжатым воздухом.

Состав оборудования и требования к конструктивному устройству:
    Корпус откачного поста и камера нагрева; Система безмаслянной вакуумной откачки ЭВП; Система контроля и управления, в комплекте с источниками:
      Источник питания накала (1 шт.);
          Напряжение – до 30 В. Ток – до 30 А.
      Высоковольтный источник напряжения (1 шт.)
          Мощность до 3кВт
    Система охлаждения коллектора ЭВП; Комплект документации Комплект для эксплуатации на 1 год.

Требования к корпусу откачного поста и камере нагрева:

Габаритные размеры не более: 700х550х550мм.

Крепление баллонов должно осуществляться через стеклянную гребенку путем напаивания газовой горелкой, в соответствии с выходным фланцем с фланцем гребенки.


Требования к безмаслянной вакуумной откачки ЭВП:

Система вакуумной откачки должна состоять из сухого винтового форвакуумного насоса, вакуумного шиберного затвора с пневматическим приводом, вакуумного клапана с пневматическим приводом, конвекционного и высоковакуумного вакуумметра с контроллером.

НЕ нашли? Не то? Что вы ищете?

Форвакуумный насос:

Основные технические характеристики:

Быстрота действия: не менее 230 л/мин.

Быстрота действия при открытом клапане газобалласта: не менее 200л/мин.

Предельное остаточное давление: не более 5.0х10-3 мбар.

Предельное остаточное давление при открытом клапане газобалласта: не более 5.0х10-3 мбар.

Типоразмер входного фланца: KF25.

Типоразмер выходного фланца: KF25.

Мощность при предельном остаточном давлении: не более 240 Вт.

Максимальная потребляемая мощность: не более 450 Вт.

Тип охлаждения: воздушное.

Клапан газобалласта: наличие.

Габаритные размеры, ДхШхВ: не более 168 х 442 х 273 мм.

Масса: не более 15 кг.

Питание от сети переменного тока: 210-230 В.

Уровень шума: не более 58 дБ(А).

Минимальная допустимая температура окружающего воздуха: не более 5оС.

Максимальная допустимая температура окружающего воздуха: не менее 30оС.

Соединение подвода газобалластного воздуха: внутренняя резьба Rc1/8.

Потребление газобалластного воздуха (при атмосферном давлении): не менее 8,4 Па*м3/с.

Встроенный управляющий насосом контроллер: наличие.

Жидкокристаллический дисплей: наличие.

Индикация ошибок на ЖКД: наличие.

Возможность удаленного управления насосом посредством контактной группы: наличие.

Счетчик часов наработки: наличие.

Насос должен продолжать работу при временном понижении питающего напряжения до 85 В не более чем на 1 с.

Шумопоглощающий кожух: наличие.

Встроенный вентилятор охлаждения: наличие.

Насос не должен требовать регламентного техобслуживания в течение 36 месяцев работы.

Высоковакуумный турбомолекулярный насос:

В комплект поставки должны входить:

    турбомолекулярный насос с интегрированными молекулярными ступенями с системой принудительного воздушного охлаждения; контроллер для питания и управления; кабель для соединения контроллера и турбомолекулярного насоса н е менее 3 м; кабель подключения вентилятора охлаждения к контроллеру не менее 3 м;

Основные технические характеристики турбомолекулярного насоса:

Быстрота действия:

Степень сжатия:

    по азоту (N2) не менее 1х108; по водороду (H2)  не менее 2х103;

Предельное остаточное давление: не более 7.5х10-9 Торр;

Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса: не менее 2 Торр;

Частота вращения ротора: 45 000 об./мин;

Время выхода на режим: не более 2,5 мин;

Время выбега не более: 6,5 мин;

Охлаждение: воздушное

Тип подшипников: металлокерамические с консистентной смазкой

Допустимый поток по азоту: не менее 500 ст. куб. см/мин;

Максимальная допустимая температура прогрева на входном фланце: не менее 120 0С;

Температура окружающей среды: 5°С-40°С;

Питание: 1ф, 220-240 В, 50 Гц;

Входной фланец: CF 100;

Выходной фланец: NW 25 KF;

Габаритные размеры (ШхВ): не более 185х214 мм;

Масса: не более 6 кг;

Максимальное энергопотребление: не более 0,61 кВт;

Уровень шума не более: 90 дБ;

Степень защиты по IP: IP10;

Допустимая величина магнитного поля: 2,5 мТ;

Период работы без технического обслуживания: не менее 30 000 часов;

Расчетный ресурс работы насосов не менее 100 000 часов;

Рабочее положение в пространстве: любое;

Встроенная система продувки подшипников (для откачки корозионно-активных и конденсирующихся сред);

Насос должен быть устойчив (сохранять работоспособность) при прорыве на атмосферу;

Не должен требовать замены смазочных материалов и связанного с этим обслуживания.

Основные технические характеристики контроллера:

Напряжение питания: 200-230 В переменного тока (±10%);

Частота: 50/60 Гц;

Количество фаз: 1;

Потребляемая мощность: не более 610 Вт;

Частота на выходе: 750 Гц;

Вес: не более 2,7кг;

Габаритные размеры (ДхШхВ): не более: 250х106х149 мм

Должна быть обеспечена возможность обмена данными с внешними устройствами по протоколу RS232C

Вакуумметр конвекционный:

Основные технические характеристики модуля конвекционного вакуумметра:

    Диапазон измерений: 10е-3 - 10e+3 Встроенные аналоговые выходы: Линейный/Десятичный, Логарифмический, Линейный, Нелинейный С модулем может быть связано до 10 точек переключения реле, к каждому модулю можно подключить два датчика

Основные технические характеристики конвекционного вакуумметра:

    Диапазон измерений: 10-3 – 1000 Торр (воздух/N2); Материал: нержавеющая сталь; Присоединительный фланец NW 25;
    Должен быть зарегистрирован в Государственном Реестре Средств Измерений РФ.

Вакуумметр высоковакуумный:

Основные технические характеристики модуля высоковакуумного вакуумметра:

    Диапазон измерений: 10е-11 - 10e-2; Встроенные аналоговые выходы: Линейный/Десятичный, Логарифмический, Линейный, Нелинейный.

Основные технические характеристики высоковакуумного вакуумметра:

Применяется во всех областях научных исследований и промышленности для измерения давления.

    Диапазон измерений: 10-2 - 10-11 Торр; Максимальное избыточное давление: 10 Бар; Материал, контактирующий с измеряемой средой: нержавеющая сталь AISI 304; Рабочая температура: +15°С…+50°С; Максимальная температура длительного прогрева для обезгаживания: 200°С; Среда калибровки: сухой азот; Вакуумный фланец: CF40; Должен быть зарегистрирован в Государственном Реестре Средств Измерений РФ.

Контроллер вакуумметров:

Микропроцессорный контроллер вакуумметров с блоком питания, 6-ю портами для подключения датчиков, четырехточечным реле и цифровым интерфейсом RS232/RS485, позволяющий получить необходимые функции путем комбинирования различных датчиков.

    Рабочая температура: 0-50°С; Рабочее напряжение/частота: 110В/220В ± 10%, 50/60 Гц; Номинальные значения параметров сети при включении: 5A, 220 В; Снятие характеристик на выходе: 0 - 10 VDC; Вес: не более 2,3 кг; Должен быть зарегистрирован в Государственном Реестре Средств Измерений РФ.

Шиберный затвор с пневматическим приводом:

Основные технические характеристики:

    Материал корпуса: A6061T6; Материал каретки: А6061Т6; Материал затвора: Нержавеющая сталь 304; Материал сильфона: АМ350; Ресурс работы: Не менее 50 000 циклов; Поток натеканий по гелию (при перепаде давления в 1 атм): 2∙10-9 ст. куб. см/с; Температура прогрева:
      в открытом положении не менее 150°С; в закрытом положении не менее 200°С;
    Минимальное рабочее давление: 10-8Торр; Максимальный перепад давления перед открытием, не менее: 20 Торр; Тип привода: Пневматический; Управляющее давление: 4-8 атм. Обработка поверхности: полировка; Присоединительный фланец: ISO 100; Проходной диаметр: не менее 100 мм; Внешний диаметр фланца: не более 150 мм;

Требования к системе контроля и управления

Система контроля и управления должна обеспечивается промышленным контроллером с визуализацией всего технологического цикла на экране не менее чем 15 дюймового touch screen экрана.

Система управления должна контролировать и управлять:

    системой безмаслянной вакуумной откачки ЭВП; высокочастотным генератором ТГИ 40/100; системой охлаждения коллектора ЭВП;

Система управления должна обеспечивать возможность работы в ручном и автоматическом режимах, возможность выбора типа процесса. Система управления позволяет использовать турбомолекулярный насос при осуществлении предварительной откачки камеры для более глубокой очистки от растворенных газов при выборе режима термообработки в защитной среде.

Программное обеспечение должно иметь русифицированный интерфейс удобный для использования, обеспечивает создание, хранение, редактирование, удаление технологических программ. Количество программ: не менее 50; количество сегментов в каждой программе не менее 20.

Программное обеспечение должно позволять осуществлять документирование параметров технологического процесса (дата, время, текущая температура (по всем подключенным термопарам), давление в камере (вакуум) или давление технологических газов) термовакуумной обработки с функцией автоматической записи в файл электронной таблицы.

Управление нагревом должно обеспечивается ПИД регулятором. Заданные заводские настройки параметры ПИД регулятора должны позволять достичь требуемой равномерности прогрева во всем объеме рабочей зоны в заданном диапазоне температур.

Система управления при проведении режимов термообработки в вакууме и защитном газе должна ориентироваться на реальное (измеренное) значение температуры в рабочей зоне.

Работа на оборудовании должна осуществляется в нескольких режимах при помощи окон управления, среди которых присутствуют:

«схема» - позволяющее оценить текущее состояние элементов печи, технологических параметров (вакуум, давление газов и т. п.)  а также исполнительных механизмов в реальном времени, изменить режим управления (ручной, автоматический), поставить выполняемый сегмент программы в режим «пауза» и т. п.

«архив сообщений» - позволяющее просмотреть все текущие и прошедшие аварии и сообщения (максимальное количество 500000 сообщений).

«график температуры» - позволяющее просмотреть графики всех температур как в реальном времени, так и прошлом. (максимальное количество 100000 изменений).

«график давления» - позволяющее просмотреть графики всех давлений как в реальном времени, так и прошлом. (максимальное количество 100000 изменений).

«параметры» - позволяющее установить значения основных блокировок по вакууму, максимальному расходу газа, времени продувки, и т. п., получить доступ к системным настройкам, пид регулятору и уровням доступа.

«программа» - позволяющее создать и отредактировать программу термообработки и необходимые для термообработки параметры (время выполнения каждого сегмента, температуру на каждом сегменте, скорость нагрева, выбор среды процесса (азот, вакуум, аргон, воздух смесь и т. п).

«ручной режим» - позволяющее управлять всеми исполнительными механизмами без учета показаний датчиков и блокировок.

Система управления и контроля должна быть комплектована источниками питания и комплектом необходимых согласующих устройств для их работы.

    Источник питания накала (1 шт.);

Источник питания должен подходить для установки в стандартной 19-дюймовой стойке и представлять собой программируемый универсальный источник питания. Способы дистанционного управления должны включать встроенные интерфейсы RS232, RS485, а также опциональный порт GPIB. Данное устройство должно иметь возможность работать как в режиме стабилизации тока, так и в режиме стабилизации напряжения и поддерживать широкий диапазон переменного входного напряжения. Должен быть зарегистрирован в Государственном Реестре Средств Измерений РФ.

Основные технические характеристики:

Напряжение – до 30 В.

Ток – до 30 А.


    Высоковольтный источник напряжения (1 шт.)

Источник питания должен подходить для установки в стандартной 19-дюймовой стойке и представлять собой программируемый универсальный высоковольтный источник питания. Способы дистанционного управления должны включать встроенные интерфейсы RS232, RS485, а также опциональный порт GPIB. Данное устройство должно иметь возможность работать как в режиме стабилизации тока, так и в режиме стабилизации напряжения и поддерживать широкий диапазон переменного входного напряжения.

Основные технические характеристики:

Мощность до 3кВт.


Система охлаждения коллектора ЭВП

Предназначена для охлаждения баллонов с катодно-подогревательными узлами с помощью воды и воздуха высокого давления – до 6 атм.


Комплект документации;
    Инструкция по эксплуатации на русском языке ремонтируемого поста для откачки электровакуумных приборов малых габаритов с нагревом; Инструкция на комплектующие на русском языке; Электрические схемы; Свидетельства о внесении средств измерения в систему СИ РФ.
Комплект расходных элементов на 10 лет эксплуатации.

Начальник отдела 240


Начальник бюро отдела развития