3-х координатная пьезоплатформа P-363 PicoCube™

Технические характеристики

Характеристика/модель	P-363.3CD	P-363.2CD	Единица измерения
Направления перемещения	X, Y,Z	X, Y
Тип встроенного датчика	ёмкостный	ёмкостный
Диапазон перемещения без обратной связи вдоль осей X, Y (-250 … +250 В)	± 3	± 3	мкм
Диапазон перемещения без обратной связи вдоль оси Z (-250 … +250 В)	± 2.7	-	мкм
Диапазон перемещений с обратной связью вдоль осей X, Y	± 2.5	± 2.5
Диапазон перемещений с обратной связью вдоль оси Z	± 2.5	-	мкм
Разрешение без обратной связи	0.03*	0.03*	нм
Разрешение с обратной связью	0.1	0.1	нм
Нелинейность	0.05	0.05	%
Точность повторного позиционирования	1**	1**	нм
Отклонение вокруг поперечной/продольной оси (Pitch/Yaw) при движении по осям X, Y	0.5	0.5	мкрад
Отклонение вокруг осей X и Y (Runout)при движении вдоль оси Z	0.2	-	мкрад
Абсолютное значение отклонения вокруг оси Z (Straightness)	3	3	нм
Абсолютное значение отклонения вокруг оси Y (Flatness)	< 10	< 10	нм
Погрешность перемещения, связанная со взаимным влиянием параметров Straightness и Flatness  (Crosstalk)	5	-	нм
Резонансная частота без нагрузки при движении вдоль осей X, Y	3.1	4.2	кГц
Резонансная частота без нагрузки при движении вдоль оси Z	9.8	-	кГц
Резонансная частота с нагрузкой в 20 г при движении вдоль осей X, Y	1.5	2.1	кГц
Максимальная нагрузка	10	10	Н
Тип пьезокерамики	PICAtm	PICAtm
Диапазон рабочих температур	от -20 до +80	от -20 до +80	0С
Материал корпуса	титан	титан
Габариты	30х30х40	30х30х28	мм
Масса	225	190	г
Длина кабеля	1.5	1.5	м
Тип разъёма для сигнального кабеля/датчика***	Sub-D	Sub-D
Рекомендуемый контроллер	Е-536	Е-536

*с контроллером E-536.3xH

**данная величина указана в случае перемещения вдоль оси Z на 10% от общего диапазона. Для случая перемещения на 5 мкм она составляет 50 нм

***модель P-363.xCL с LEMO разъёмами