Спецификация
1) ВЧ-генератор 13,56 МГц мощность 1 кВт R1001 с автоматическим согласующим устройством ATS-10 (1 кВт). 2 штуки.
2) Индукционный генератор низкотемпературной плазмы высокой плотности РПГ-128 с системой магнитной фокусировки. 1 штука.
Высокочастотный индукционный (безэлектродный) генератор высокоплотной плазмы РПГ-128 с установочным комплектом.
Установочный комплект:
Переходник DN 250/200 ISO-F, 1 шт. Центровочное кольцо с уплотнением DN 200, 1 шт. Комплект установочных болтов M12 (12 шт.) с центровочным кольцом, 1 шт. Комплект болтов DN 160-250 ISO-K/ISO-F (12 шт.), 1 шт. Компактный безмасляный форвакуумный насос Adixen ACP 40 PFEIFFER VACUUM (многоступенчатый насос Рутса). Количество: 1 шт., Гибкий сильфонный вакуумный шланг, ISO-KF NW 25, отожженный (длина 500мм, 304 нерж ст.), 1 шт. Гибкий металлический сильфонный шланг, ISO-KF NW 25 (отожженный 250мм.), 1 шт. Гибкий металлический сильфонный шланг, ISO-KF NW 25 (тонкостенный 500мм.), 1 шт. Гибкий металлический сильфонный шланг, ISO-KF NW 25 (тонкостенный 250мм.), 1 шт. Сильфон 120 мм, DN 25 ISO-KF, сталь. 1 шт. Гибкий сильфонный шланг DN16KF ( дл. 250 мм, 304 SS, отожженный), 1 шт. Гибкий сильфонный шланг DN16KF ( дл. 500 мм, 304 SS, отожженный), 1 шт. Струбцины односторонние (DN 10 - 50 ISO-KF, алюминий, 10 шт.), 1 шт. Смотровое окно DN40KF алюм./боросиликат. стекло (0,35-2 мкм), 2 шт. Смотровое окно DN 40 CF (стекло Kodial, нерж. ст.), 1 шт. Заглушка DN 40 ISO - KF (стеклянная боросиликат), 4 шт. Регулятор массового расхода плазмообразующих газов с микропроцессорной схемой регулирования и управления, интерфейс RS-432, RS-485. Управление автоматическое/ручное от контроллера. Монтаж - с разъёмными обжимными фиттингами Swagelok резьба 7/16"-20 под трубку 6,35 мм. Верхний предел регулирования и преобразования расхода газа: 9 л/час - 1 шт. Регулятор массового расхода плазмообразующих газов с микропроцессорной схемой регулирования и управления, интерфейс RS-432, RS-485. Управление автоматическое/ручное от контроллера. Монтаж - с разъёмными обжимными фиттингами Swagelok резьба 7/16"-20 под трубку 6,35 мм. Верхний предел регулирования и преобразования расхода газа: 18 л/час - 2 шт. Регулятор массового расхода плазмообразующих газов с микропроцессорной схемой регулирования и управления, интерфейс RS-232, RS-485. Управление автоматическое/ручное от контроллера. Монтаж - с разъёмными обжимными фиттингами Swagelok резьба 7/16"-20 под трубку 6,35 мм. Верхний предел регулирования и преобразования расхода газа: 36 л/час - 1 шт. Клапан пневмоуправляемый (для обеспечения функции автоматизированного управления и контроля регулятором расхода газа). Тип уплотнения: мембранный. Материал: нерж. сталь. Ресурс: 106 циклов. Количество: 4 шт. Блок контроля вакуума автоматический с управлением от контроллера, работающий с цифровыми терморезистивными вакууметрами и регуляторами расхода газа. Интерфейс RS-485/ RS-432 протокол ModBUS RTU. Количество: 1 шт. Вакуумметр терморезистивный цифровой (рабочий диапазон 0.1 до 105 Па) с манометрическим терморезистивным преобразователем, с защитой от высокочастотных помех (импульсные блоки питания и высокочастотные генераторы), интерфейс RS-485 протокол ModBUS RTU. Количество: 2 шт. Переходник для монтажа на фланец смотрового окна рабочей камеры – 1 шт. Переходник для монтажа на блок термоиспарителей рабочей камеры – 1 шт.