| Наименование разработки | Полирующие суспензии для первой и второй стадии химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния |
| Руководитель разработки (организация, должность, рабочий телефон, e-mail) | , |
| Краткое описание разработки (назначение, основные конструктивные, технологические и технико-эксплуатационные характеристики) | Полирующие суспензии представляют собой ультрадисперсную коллоидную систему на основе пирогенного диоксида кремния для первой и второй стадий химико-механической полировки кремниевых пластин различной ориентации, а также других применений. |
| Технические преимущества, научно-технический уровень по отношению к лучшим отечественным и зарубежным аналогам | Полирующие суспензии обеспечивают высокую чистоту поверхности после полировки (нанометровая/ субнанометровая шероховатость), малую величину возникающего статического электричества на полировальнике, высокую производительность, легкость использования, высокую стабильность и минимальное загрязнение ионами металлов. Суспензии однородны по фазовому и элементному составу, высокостабильны, просты в приготовлении и использовании, экологически безопасны. Дешевы по стоимости. |
| Ожидаемый результат применения. Перспективные рынки | Полирующие суспензии используются для полировки преимущественно пластин монокристаллического кремния, используемых в современных интегральных схемах. |
| Текущая стадия разработки (не более 500 знаков) | Разработана техническая документация на суспензии: СПС-54 (ТУ ВУ 400011099.004-2006) |
| Стоимость разработки, сведения о правовой охране объекта интеллектуальной собственности | Патент РБ 20444, С 09G 1/02 / Состав для полирования полупроводниковых материалов // , ; УО «Гомельский государственный университет им. Ф. Скорины» (BY); № а 20130711; заявл. 06.06.2013; опубл. 28.02.2015. |
| Возможная форма сотрудничества | Договоры на изготовление и поставку полирующих суспензий под технические требования заказчика |
| Практический опыт реализации аналогичных проектов | Изготовление и поставка суспензий для «ИРЭ-Полюс» (РФ, г. Фрязино); ЭЛ» (РФ, г. Брянск); Филиала «Камертон» . |
| Предполагаемый объем вложений со стороны партнера | На усмотрение потребителя под объемы производственного использования |
| Потенциальные потребители и/или заинтересованные в разработке (в Республике Беларусь, за рубежом) | Предприятия электронной промышленности, приборостроения |
Полирующие суспензии для первой и второй стадии химико-механической полировки пластин монокристаллического кремния
НЕ нашли? Не то? Что вы ищете?
