Безгистерезисные высокотемпературные прецизионные биморфные актюаторы изготовленные методом прямого сращивания
пластин ниобата лития
, ,
Институт естественных наук, Уральский федеральный университет, Екатеринбург, 620000
Краткое содержание
В данной статье приводятся результаты исследования электромеханических характеристик пьезоэлектрического биморфного актюатора изготовленного методом прямого сращивания пластин ниобата лития c зеркально отраженными Y и Z осями. Применение технологии прямого сращивания позволило изготовить бидоменную пластину с идеально плоской доменной границей расположенной строго по центру пластины. Оптимизация угла среза пластины (128°) позволила увеличить пьезоэлектрический коэффициент до 27.3 пКл/Н. Измерение зависимости величины изгиба от прикладываемого напряжения показало, что биморфный актюатор является линейным и безгистерезисным. При уменьшение управляющего напряжения в мВ диапазон, актюатор сохраняет свою линейность и позволяет осуществлять субмикронные смещения. В статье представлены частотная и температурная зависимости электромеханического коэффициента передачи актюатора в широком интервале температур (от 300 до 900 К).
