№ km_3_15818
Работа представляет собой исследование влияния режимов травления на состав тонких пленок фторида кальция, осажденных на кремниевые подложки, с целью оптимизации их свойств для применения в полупроводниковых и биомедицинских устройствах.
Год: 2026
Регион / город: Москва
Тематика: материаловедение, химия, полупроводниковая микроэлектроника, биомедицинские технологии
Тип документа: исследовательская работа
Орган / учреждение: НИЯУ МИФИ
Автор: Лысов Михаил Владимирович, Корнеев Александр Александрович, Елькин Артем Александрович
Целевая аудитория: научное сообщество, специалисты в области материаловедения и микроэлектроники
Период действия: не указан
Дата утверждения: не указана
Дата изменений: не указана
Стоимость: 8 / 10 USD
Файл доставляется на указанный при оплате адрес электронной почты в течение 24 часов.