№ km_3_01091
Тип документа: научная статья
Тематика: лазерная интерферометрия, метрология, измерения нанометровых перемещений
Область науки: оптика, измерительная техника
Ключевые слова: гетеродинный интерферометр, методические погрешности, электрические наводки, акустооптический модулятор, фазовые искажения, Фурье-фильтрация
Авторы: Т. В. Казиева, А. П. Кузнецов, К. Л. Губский
Организация: Национальный исследовательский ядерный университет МИФИ
Регион: Москва, Россия
Объект исследования: трехкоординатный гетеродинный лазерный интерферометр
Метод исследования: анализ сигналов, квадратурное детектирование, фильтрация
Год публикации: не указан в тексте
Язык документа: русский (с аннотацией на английском)
Стоимость: 8 / 10 USD
Файл доставляется на указанный при оплате адрес электронной почты в течение 24 часов.