№ km_10_30567
Работа посвящена исследованию влияния параметров магнетронного распыления на геометрические характеристики островковых плёнок молибдена, с использованием метода HiPIMS и анализа сканирующей электронной микроскопии.
Год: 2024
Регион / город: Москва
Тематика: Магнетронное распыление, тонкие плёнки, адгезия, наноструктуры
Тип документа: Научная работа
Орган / учреждение: Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана
Автор: Артемьев Иван Владиславович, Щербак Екатерина Сергеевна
Целевая аудитория: Исследователи, специалисты в области технологий нанесения тонких плёнок
Период действия: 2024
Дата утверждения: 2024
Дата изменений: Нет
Стоимость: 8 / 10 USD
Файл доставляется на указанный при оплате адрес электронной почты в течение 24 часов.