№ km_4_19516
Представлен результат разработки и исследования МЭМС-акселерометра с чувствительным элементом гребенчатого типа, включая результаты численных расчетов, описание стенда для исследований и экспериментальных исследований.
Год: не указан
Регион / город: Москва, Россия
Тематика: МЭМС-акселерометры, чувствительные элементы, экспериментальные исследования
Тип документа: научная статья
Орган / учреждение: Национальный исследовательский университет «МИЭТ», ООО «Лаборатория Микроприборов»
Автор: Тимошенков А.С., Анчутин С.А., Кочурина Е.С., Мусаткин А.С., Дернов И.С.
Целевая аудитория: специалисты в области микроэлектроники, исследователи, инженеры
Период действия: не указан
Дата утверждения: не указана
Дата изменений: не указана
Стоимость: 8 / 10 USD
Файл доставляется на указанный при оплате адрес электронной почты в течение 24 часов.