№ km_3_16120
Документ относится к учебно-исследовательским научным источникам и содержит изложение эксперимента по изучению кинетики роста слоя нитрида кремния при газофазной эпитаксии полупроводниковых структур и анализ полученных экспериментальных данных.
Автор: Кельнер Олег Александрович
Орган / учреждение: Академический лицей «Физико-техническая школа»
Регион / город: Ленинградская область, Санкт-Петербург
Тематика: физика полупроводников, газофазная эпитаксия
Тип документа: учебно-исследовательская научная работа
Научный руководитель: Заварин Е. Е., кандидат физико-математических наук, старший научный сотрудник Физико-технического института имени А. Ф. Иоффе
Стоимость: 8 / 10 USD
Файл доставляется на указанный при оплате адрес электронной почты в течение 24 часов.