Приложение 2
Скорость удельного газовыделения с поверхности металлов и органических материалов при комнатной температуре
Материал | Предварительная обработка | Поток газа с поверхности, Па м3/с м2 | Время пребывания в вакууме, час |
Малоуглеродистая сталь, СтЗ | необработанная | 4,12×10-4 1,1×10-4 | 1 4 |
Сталь нержавеющая, 1Х18Н10Т | необработанная | 2,4×10-4 5,94×10-5 | 1 4 |
Медь | необработанная | 1,95×10-4 6,4×10-5 | 1 5 |
травление и промывка в бензоле | 1,1×10-5 8,35×10-7 | 1 5 | |
Дюралюминий | необработанный | 5,57×10-4 1,9×10-4 | 1 5 |
травление и промывка в бензоле | 4,73×10-5 3,9×10-6 | 15 | |
Алюминий Никель Молибден Тантал Вольфрам Резина уплотн. Витон Фторопласт Полиэтилен Керамика | необработанный -²- -²- -²- -²- -²- -²- -²- -²- -²- | (4-9) ×10-6 (6,5-8) ×10-6 (4,6-8,5) ×10-6 6×10-6 1,3×10-6 2×10-2 2×10-4 7×10-5 4×10-5 2×10-5 | 2 2 2 3 2 3 3 3 3 3 |
Приложение 3
Газовыделение с поверхности металлов при высоких температурах
При температурах 214 °С и 400 °С выделение газов из металлов хорошо подчиняется параболическому закону, если время обезгаживания при указанных температурах не превышает 25 часов.
Материал | Поток газа с поверхности, Па×м3/с×м2 | |
214 °С | 400 °С | |
Сталь нержавеющая, 1Х18Н10Т | 27,5×10-3/ | первые 5 час. 115×10-3/ послед. 20 час. 17,2×10-3/ |
Медь | 20,2×10-3/ | первые 1,5 час. 225×10-3 / послед. 23 час. 4,5×10-3/ |
Сплав Д16Т | 1,5×10-3/ | 7×10-3/ |
Никель | 3×10-3/ | 40×10-3/ |
Графит | 1,5×10-3/ | 10×10-3/ |
Сплав АМг6 | 4×10-4/ | l,2×10-3/ |
Приложение 4
Количество газа, выделяющееся из металлов при высоких температурах
Металл | Температура, К | Количество выделившегося газа, Па м3/кг |
Медь | 5,25×10-2 3,04×10-2 | |
Ковар | 3 | 5×10-2 9,67×10-2 0,237 0,985 |
Молибден | 3 | 7,1×10-2 9,65×10-2 7,51×10-2 13,38×10-2 |
Сталь 1Х18Н10Т | 873 1073 | 0,272 8,5×10-2 |
Никель | 0,458 5,3×10-2 0,147 |
ПРИМЕЧАНИЕ. Удельное газовыделение указано для интервалов температур. Так, например, для меди при нагревании от 293 К до 873 К выделится 5,25×10-2 Па м3/кг, а при нагревании от 873 К до 1073 К выделится дополнительно газ в количестве 3,04×10-2 Па м3/кг и так далее.
Приложение 5
Полное количество газа, выделяющееся из материалов
Полное количество газа, которое выделяется из промышленных металлов при нагревании их в вакууме до температур, близких к точке плавления, составляет от 1 до 20 см3 на 100 г металла (или от 10 до 200 см3/кг).
Материал | Количество газа, Па м3/кг |
Вольфрам (нагрев до 2300 0С) Молибден (нагрев до 1800 0C) Никель (нагрев до 1200 0С) Графит (нагрев до 1800 0С) Медь (нагрев до 1600 0С) Алюминий (нагрев до 1200 0С) Сталь 1Х18Н10Т | 0,02 - 0,04 0,12 - 0,80 0,30 - 0,80 0,15 - 0,23 2,20 4,0 - 17,2 13,0 - 18,0 |
Справочные материалы из монографии С. Дэшмана "Научные основы вакуумной техники", М., Мир, 1964 г., стр. 516-528.
Количество газа, выделяющееся из стекол при нагреве в вакууме
Марка стекла | Температура обезгаживания, К | Количества газа, Па м3/м2 |
С 49-2 С 87-1 С 48-1 С 48-3 П-15 | 773 | 4×10-1 5,33×10-1 8,0×10-1 6,7×10-1 4,65×10-1 |
Справочные данные из книги и др. "Конструирование и расчет вакуумных систем", М. "Энергия", 1979 г., стр. 473.
Приложение 6
Формулы для расчета проводимости отверстий и вакуумпроводов
Вид элемента коммуникации | Вязкостный режим | Молекулярный режим |
Отверстие произвольной формы, м2 | U=200A (для воздуха при 293 К) |
|
Круглое отверстие диаметром D, м2 | U=160 × D2 (для воздуха при 293 К) |
|
Трубопровод диаметром D и длиной L, м |
(для воздуха при 293 К) |
U=121 × D3/L (для воздуха при 293 К) |
Трубопровод прямоугольного сечения а³b, м |
(для воздуха при 293 К) |
(для воздуха при 293 К) |
Трубопровод в виде щели а>>b, м |
(для воздуха при 293 К) |
U=308 × ab2/L (для воздуха при 293 К) |
Трубопровод диаметром d1 с коаксиально расположенным стержнем диаметром d2, м |
(для воздуха при 293 К) |
при 293 К) |
(для воздухаПриложение 7
Технические характеристики механических насосов
(применяются для откачки газов и паров в диапазоне
давлений 105 – 10-1 Па)
Марка насоса | ПАРАМЕТР | ||
Быстрота действия в интервале давлений 105-10 Па, л/с | Предельное давление, Па | Диаметр входного патрубка, мм | |
НВР-0,25ДМ | 0,25 | 4 | 10 |
ЗНВР-1ДМ | 1,0 | 1,1 | 10 |
ЗНВР - 1Д | 1,0 | 1,1 | 10 |
2НВР - 5ДМ | 5,0 | 0,67 | 25 |
НВР - 16Д | 16,0 | 0,67 | 40 |
НВЗ - 20 | 20,0 | 6,7 | 40 |
НВЗ - 50Д | 50,0 | 0,67 | 100 |
НВЗ - 75 | 75,0 | 6,7 | 100 |
НВЗ - 100Д | 100 | 0,67 | 160 |
НВЗ - 150 | 150 | 6,7 | 160 |
НВЗ - 300 | 300 | 6,7 | 200 |
НВЗ - 500 | 500 | 6,7 | 250 |
Приложение 8
|
Из за большого объема этот материал размещен на нескольких страницах:
1 2 3 4 |
