Вакуумная техника, Методические указания по выполнению курсовой работы на тему «Расчет вакуумной системы» (стр. 3 )

Характеристики диффузионных паромасляных
насосов унифицированной серии

Марка насоса		ПАРАМЕТРЫ
Скорость откачки в диапазоне впускных давлений,- Па, л/с	Предельное давление, Па	Наибольшее выпускное давление, Па	Диаметр впускного патрубка, мм	Диаметр выпускного патрубка, мм
Н-100/350	250	6,5-10-5	27	100	25
Н-160/700	640	6,5-10-5	27	160	40
Н-250/2500	1800	6,5-10-5	27	250	63
Н-400/7000	4900	6,5-10-5	27	400	63
Н-630/18000	15500	6,5-10-5	27	630	100

Приложение 9

Технические характеристики высоковакуумных
агрегатов на базе диффузионных насосов

МАРКА АГРЕГАТА		П А Р А М Е	Т Р Ы
Быстрота действия агрегата в диапазоне впускных давлении, Па л/с	Предельное давление, Па	Диаметр входного патрубка агрегата, мм	Используемый в агрегате высоковакуумный насос
АВП100-100	100	6,6-10-5	100	Н-100/350
АВП100-250	250	6,6-10-5	160	Н-160/700
АВП250-630	700	6,6-10-5	250	Н-250/2500
АВП	1800	6,6-10-5	400	Н-400/7000
АВП	5500	6,6-10-5	630	Н-630/18000

Приложение 10

Технические характеристики турбомолекулярных насосов и

(применяются для откачки в диапазоне давлений 1

МАРКА		ПАРАМЕТРЫ
Скорость откачки в диапазоне впускных давлений, Па, л/с
НАСОСА	Предельное давление, Па	Диаметр впускного патрубка, мм	Наибольшее выпускное давление, Па	Рекомендуемый форвакуумный насос
ВМН-150	160	1,3×10-7	125	2,5	2НВР-5Д
01НВТ-160-1А	130	4,0×10-7	100	6,6	2НВР-5Д
ТМН-500	500	6,5×10-7	200	6,6	НВР-16Д
01АБ-450	270	6,5×10-7	160	6,6	НВР-16Д
01АБ-1500	720	6,5×10-7	250	6,6	НВР-16Д
010В-3500	2500	1,0×10-7	400	6,7	НВЗ-20

Приложение 11

Технические характеристики высоковакуумных агрегатов на базе
турбомолекулярных насосов

МАРКА АГРЕГАТА	ПАРАМЕТРЫ
Быстрота действия в диапазоне впускных давлений Па л/с	Предельное давление, Па	Диаметр впускного патрубка, мм	Используемый турбомолекулярный насос
АВТ-100 АВТ-200 АОВ-200/6-001 АОВ-630/6-003	100 250 300 720	5×10-7 5×10-7 6,5×10-7 6,5×10-7	100 160 160 250	01НВТ-160 01АБ-450 01АБ-1500 01АБ-1500

Приложение 12

Технические характеристики магниторазрядных насосов
(прим. для откачки в диапазоне впускных давлений Па)

МАРКА НАСОСА		ПАРАМЕТРЫ
Скорость откачки в диапазоне вп. давлен. Па, л/с	Предельное давление, Па	Наибольшее давление запуска, Па	Диаметр впускного патрубка, мм	Наибольшее рабочее давление, Па
НМД-0,000063	0,08	7×10-4	0,8	10	8×10-3
НМД-0,0063	6,0	7×10-8	1,3	25	0,13
НМД-0,025	22,0	7×10-8	1,3	100	0,13
НМД-0,063	60	7×10-8	1,3	100	0,13
НМД-01	110	7×10-8	1,3	100	0,13
НМД-0,25	120	7×10-8	1,3	160	0,13
НМД-0,63	650	7×10-8	1,3	250	0,13
НМД-1	1200	7×10-8	1,3	250	0,13

Приложение 13