Сетевая образовательная программа профессионального модуля Эксплуатация и обслуживание чистых производственных помещений в производстве изделий наноэлектроники» (стр. 1 )

СЕТЕВАЯ ОБРАЗОВАТЕЛЬНАЯ ПРОГРАММА

ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ

«Эксплуатация и обслуживание чистых производственных помещений

в производстве изделий наноэлектроники»

 

1. ПАСПОРТ СЕТЕВОЙ ОБРАЗОВАКТЕЛЬНОЙ ПРОГРАММЫ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ

Эксплуатация и обслуживание чистых производственных помещений

в производстве изделий наноэлектроники

1.1. Область применения сетевой образовательной программы

Сетевая образовательная программа профессионального модуля может являться модулем основной профессиональной образовательной программы в соответствии с ФГОС по специальности СПО 210109 Твердотельная электроника, включенного за счет вариативного объема часов; а также и сетевой образовательной программой дополнительного профессионального образования в части освоения вида профессиональной деятельности: эксплуатация и обслуживание чистых производственных помещений в производстве изделий наноэлектроники и соответствующих профессиональных компетенций (ПК):

ПК 7.1. Участвовать в проектировании и реконструкции чистых производственных помещений

ПК 7.2. Участвовать в подготовке и проведении монтажных работ оборудования чистых производственных помещений.

ПК 7.3. Организовывать и проводить пусконаладочные работы и приемо-сдаточные испытания оборудования чистых производственных помещений.

ПК 7.4. Проводить эксплуатацию, техническое обслуживание и ремонт оборудования чистых производственных помещений.

ПК 7.5. Проводить испытание и контроль технических параметров и эксплуатационных характеристик оборудования чистых производственных помещений.

ПК 7.6. Выполнять контроль и мониторинг параметров чистых производственных помещений.

Программа профессионального модуля обеспечивает подготовку специалистов в области эксплуатации и обслуживания чистых производственных помещений (далее – ЧПП, чистые помещения). Сфера деятельности выпускников – в качестве техника (специалиста) подразделений (цехов, отделов, служб) занятых монтажом, эксплуатацией, обслуживанием и ремонтом оборудования чистых производственных помещений, а также специализированного технологического и энергетического оборудования предприятий и организаций микро - и наноэлектроники Российской Федерации.

1.2. Цели и задачи модуля - требования к результатам освоения модуля

С целью овладения указанным видом профессиональной деятельности и соответствующими профессиональными компетенциями обучающийся в ходе освоения профессионального модуля должен:

иметь практический опыт:

- проектирования и реконструкции чистых производственных помещений;

- выполнения монтажных работ оборудования чистых производственных помещений;

- проведения пусконаладочных работ и приемо-сдаточных испытаний оборудования чистых производственных помещений;

- эксплуатации, технического обслуживания и ремонта оборудования чистых производственных помещений;

- испытания и контроля технических параметров и эксплуатационных характеристик оборудования чистых производственных помещений;

- контроля и мониторинга параметров чистых производственных помещений.

уметь:

- выполнять эскизы чистых производственных помещений (ЧПП) и зон;

- выполнять элементы монтажных чертежей чистых производственных помещений;

- составлять технологические карты по монтажу оборудования ЧПП;

- проводить работы по монтажу оборудования ЧПП с применением ручного и механизированного инструмента;

- производить операционный и текущий контроль качества монтажных работ;

- производить осмотр и выявлять дефекты монтажа оборудования ЧПП;

- использовать нормативные требования по охране труда и защите окружающей среды при выполнении монтажных работ;

- проводить технические испытания оборудования чистых производственных помещений;

- проводить пусконаладочные работы оборудования чистых производственных помещений

- использовать нормативные требования по охране труда и защите окружающей среды при выполнении пусконаладочных работ и приемо-сдаточных испытаний

- определять неисправности в работе систем и оборудования;

- эксплуатировать, проводить техническое обслуживание и ремонт оборудования ЧПП

- организовывать выполнение ремонтов и испытаний оборудования ЧПП;

- контролировать качество ремонтных работ;

- работать с приборами, оборудованием и инструментами;

- заполнять акты по оценке состояния систем и оборудования;

- составлять графики проведения осмотров и ремонтов;

- обеспечивать безопасные методы технического обслуживания и ремонта оборудования ЧПП;

- оформлять техническую и технологическую документацию.

знать:

- стандарты по чистым производственным помещениям;

- конструкции и принцип работы чистого производственного помещения;

- требования к гигиене персонала, порядку поведения и работы в чистом производственном помещении;

- типы оборудования, применяемого для оснащения чистых производственных помещений;

- параметры и режимы работы оборудования ЧПП;

- правила проведения монтажных работ оборудования ЧПП с оформлением документации;

- нормативные требования по охране труда и защите окружающей среды при выполнении монтажных работ;

- правила поведения в аварийных ситуациях

- правила проведения пусконаладочных работ и приемо-сдаточных испытаний оборудования ЧПП с оформлением документации;

- нормы и правила по охране труда, защите окружающей среды и созданию безопасных условий производства работ

- порядок составления и оформление паспортов, актов, журналов, дефектных ведомостей и графиков;

- виды неисправностей в работе оборудования и способы их определения;

- параметры среды чистых производственных помещений

- методы измерения параметров среды ЧПП;

- классификацию оборудования для измерения параметров;

- типы оборудования, применяемого для контроля и мониторинга параметров ЧПП;

- методы обработки результатов измерения параметров;

- техническую и технологическую документацию по контролю параметров.

1.3. Количество часов на освоение сетевой образовательной программы профессионального модуля:

всего - 456 часов, в том числе:

максимальной учебной нагрузки обучающегося – 348 часов, включая:

обязательной аудиторной учебной нагрузки обучающегося – 232 часа; самостоятельной работы обучающегося – 116 часа; производственной практики – 108 часов.

2. РЕЗУЛЬТАТЫ ОСВОЕНИЯ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ

Результатом освоения сетевой образовательной программы профессионального модуля является овладение обучающимися видом профессиональной деятельности эксплуатация и обслуживание чистых производственных помещений в производстве изделий наноэлектроники, в том числе профессиональными (ПК) и общими (ОК) компетенциями:

Код	Наименование результата обучения
ПК 7.1	Участвовать в проектировании и реконструкции чистых производственных помещений
ПК 7.2	Участвовать в подготовке и проведении монтажных работ оборудования чистых производственных помещений.
ПК 7.3	Организовывать и проводить пусконаладочные работы и приемо-сдаточные испытания оборудования чистых производственных помещений.
ПК 7.4	Проводить эксплуатацию, техническое обслуживание и ремонт оборудования чистых производственных помещений.
ПК 7.5	Проводить испытание и контроль технических параметров и эксплуатационных характеристик оборудования чистых производственных помещений.
ПК7.6	Выполнять контроль и мониторинг параметров чистых производственных помещений.
ОК 1	Понимать сущность и социальную значимость своей будущей профессии, проявлять к ней устойчивый интерес.
ОК 2	Организовывать собственную деятельность, выбирать типовые методы и способы выполнения профессиональных задач, оценивать их эффективность и качество.
ОК 3	Принимать решения в стандартных и нестандартных ситуациях и нести за них ответственность.
ОК 4	Осуществлять поиск и использование информации, необходимой для эффективного выполнения профессиональных задач, профессионального и личностного развития.
ОК 5	Использовать информационно-коммуникационные технологии в профессиональной деятельности
ОК 6	Работать в коллективе и в команде, эффективно общаться с коллегами, руководством, потребителями.
ОК 7	Брать на себя ответственность за работу членов команды (подчиненных), за результат выполнения заданий.
ОК 8	Самостоятельно определять задачи профессионального и личностного развития, заниматься самообразованием, осознанно планировать повышение квалификации.
ОК 9	Ориентироваться в условиях частой смены технологий в профессиональной деятельности
ОК 10	Обеспечивать безопасные условия труда в профессиональной деятельности

3. СТРУКТУРА И СОДЕРЖАНИЕ ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО МОДУЛЯ

3.1. Тематический план профессионального модуля

Коды профессиональных компетенций	Наименования разделов профессионального модуля*	Всего часов (макс. учебная нагрузка и практики)	Объем времени, отведенный на освоение междисциплинарного курса (курсов)	Практика
Обязательная аудиторная учебная нагрузка обучающегося	Самостоятельная работа обучающегося	Учебная, часов	Производст­венная (по профилю специаль­ности), часов
Всего, часов	в т. ч. лабораторные работы и практи­ческие занятия, часов	в т. ч., курсовая работа (проект), часов	Всего, часов	в т. ч., курсовая работа (проект), часов
1	2		4	5	6	7	8	9	10
ПК7.1, ПК7.2, ПК7.3, ПК7.4, ПК7.5, ПК7.6	Раздел 1. Проектирование и монтаж оборудования чистых производственных помещений	144	96	48	–	48	–	–	36
ПК7.1, ПК7.2, ПК7.3, ПК7.4, ПК7.5, ПК7.6	Раздел 2. Эксплуатация, техническое обслуживание, испытание и ремонт оборудования чистых производственных помещений	108	72	36	–	36	–	–	60
ПК7.1, ПК7.2, ПК7.3, ПК7.4, ПК7.5, ПК7.6	Раздел 3. Контроль и мониторинг параметров чистых производственных помещений	96	64	32	–	32	–	–	12
ПК7.1, ПК7.2, ПК7.3, ПК7.4, ПК7.5, ПК7.6	Производственная практика (по профилю специальности), часов	108		108
	Всего:	456	232	116	–	116	–	–	108

3.2. Содержание обучения по профессиональному модулю (ПМ)

Наименование разделов профессионального модуля, междисциплинарных курсов (МДК) и тем

Содержание учебного материала, лабораторные работы и практические занятия, самостоятельная работа обучающихся, курсовая работа (проект)

Объем часов

Уровень освоения

1	2	3	4
Раздел 1. Проектирование и монтаж оборудования чистых производственных помещений		144
МДК 07.01 Основы конструирования чистых производственных помещений, виды и монтаж оборудования		96
Тема 1.1. Общие сведения о чистых производственных помещениях	Содержание	8
1.	Области применения чистых производственных помещений	2	1
2.	Типы чистых помещений и классификация чистых помещений в микроэлектронике	2	1
3.	Стандарты и нормативные документы по чистым помещениям. Группа стандартов ГОСТ ИСО 14644	2	1
4.	Международные и российские организации, занимающиеся вопросами чистых помещений. Источники информации по вопросам чистых помещений	2	1
	Практические занятия	6
1.	Изучение международных и российских стандартов по вопросам чистых помещений	4	2
2.	Знакомство с сайтами компаний и организаций, работающих в области проектирования и эксплуатации чистых помещений	2	2
Тема 1.2. Основы проектирования чистых производственных помещений	Содержание	18
	1.	Требования и порядок планирования и проектирования чистых производственных помещений	2	1
	2.	Комплект проектной документации для оборудования чистых помещений	2	1
	3.	Конструкции, материалы и отделка поверхностей чистых помещений	2	1
	4.	Чистота поверхностей и пригодность строительных материалов по критерию чистоты	2	1
	5.	Проектирование чистых помещений с однонаправленным воздушным потоком.	2	2
	6.	Особенности конструкций чистых помещений для микроэлектронного производства.	2	2
	7.	Устройства с дополнительной очисткой воздуха	2	2
	8.	Традиционные строительные технологии и модульные конструкции в проектировании чистых помещений	2	2
	9.	Учет в процессе проектирования ЧПП характера технологического оборудования микроэлектронного производства	2	2
	Лабораторно-практические занятия	12
	1.	Изучение требований стандарта ГОСТ ИСО 14644-4	4	2
	2.	Изучение комплектов проектной документации на действующие чистые производственные помещения разных типов 2-х предприятий электронной промышленности	4	3
	3.	Изучение состава технологического оборудования и особенностей планировки его размещения в действующем чистом помещении	4	3
Тема 1.3 Оборудование чистых производственных помещений и монтаж конструкций	Содержание	22
	1.	Приточно-вытяжная вентиляционная система с подсистемой воздухораспределения	2	2
	2.	Система внутренней очистки воздуха	2	2
	3.	Система поддержания воздушного баланса	2	2
	4.	Система силового электрооборудования	2	2
	5.	Система искусственного электроосвещения	2	2
	6.	Технология и порядок монтажа конструкций и оборудования чистых производственных помещений в соответствии с протоколом чистоты в соответствии с ГОСТ Р ИСО 14644-4.	2	2
	7.	Порядок перемещения оборудования в чистые производственные помещения: транспортировка крупногабаритного оборудования, передача материалов и малогабаритного оборудования	2	2
	8.	Порядок монтажа оборудования чистых производственных помещений в зависимости от его назначения	2	2
	9.	Порядок уборки чистых производственных помещений после монтажа	2	2
	10.	Оформление документации на чистые помещения и их аттестация	2	2
	11.	Требования техники безопасности при проведении монтажных работ	2	2
	Лабораторно-практические занятия	30
	1.	Изучение приточной и вытяжной вентиляционной системы с подсистемой воздухораспределения	6	3
	2.	Изучение систем внутренней очистки воздуха	6	3
	3.	Изучение систем силового электрооборудования и искусственного электроосвещения	6	3
	4.	Изучение методов монтажа оборудования чистых производственных помещений в зависимости от его назначения	8	3
	5.	Изучение порядка оформления документации и аттестации чистых помещений	4	3
Самостоятельная работа при изучении Раздела 1 ПМ	48	2
Систематическая проработка конспектов занятий, учебной и специальной технической литературы (по вопросам к параграфам, главам учебных пособий, составленным преподавателем). Подготовка к лабораторно-практическим работам с использованием методических рекомендаций преподавателя, оформление лабораторно-практических работ, отчетов и подготовка к их защите.
Примерная тематика внеаудиторной самостоятельной работы для подготовки к лабораторно-практическим занятиям 1.  Система международных и российских стандартов по вопросам чистых помещений 2.  Сайты компаний и организаций, работающих в области проектирования и эксплуатации чистых помещений 3.  Содержание требований стандарта ГОСТ ИСО 14644-4 4.  Комплекты проектной документации на действующие чистые производственные помещения разных типов 5.  Состав технологического оборудования и особенности его размещения в действующем чистом помещении 6.  Конструкции приточно-вытяжной вентиляционной системы с подсистемой воздухораспределения 7.  Конструкции систем внутренней очистки воздуха 8.  Системы силового электрооборудования и искусственного электроосвещения 9.  Методы монтажа оборудования чистых производственных помещений в зависимости от его назначения 10.  Порядок оформления документации и аттестации чистых помещений
Производственная практика	36	3
Виды работ: Ознакомление с требования техники безопасности и пожарной безопасности при монтаже чистого производственного помещения и работе в нем Ознакомление с проектной документацией на чистое производственное помещение Ознакомление с конструкцией чистого производственного помещения Ознакомление с системой электроснабжения чистого производственного помещения Ознакомление с приточной и вытяжной вентиляционной системой Ознакомление с методами монтажа оборудования чистых производственных помещений в зависимости от его назначения Оформление технической документации по результатам монтажа оборудования чистых производственных помещений
Раздел 2. Эксплуатация, техническое обслуживание, испытание и ремонт оборудования чистых производственных помещений			108
МДК 07.02 Эксплуатация, оборудования чистых производственных помещений			72
Тема 2.1 Пусконаладочные работы и испытание оборудования чистых производственных помещений	Содержание	16
	1.	Виды пусконаладочных работ и испытания оборудования чистых производственных помещений	2	1
	2.	Оборудование подготовки ультрачистой воды	4	2
	3.	Оборудование подготовки и подачи технологических газов	2	2
	4.	Оборудование обеспечения вакуума	2	2
	5.	Система управления, автоматики и контроля	4	2
	6.	Требования техники безопасности и пожарной безопасности при проведении пусконаладочных работ	2	2
		Лабораторно-практические занятия	20
	1.	Пусконаладочные работы и испытания оборудования в чистых производственных помещениях	4	3
	2.	Изучение оборудования подготовки ультрачистой воды	4	3
	3.	Изучение оборудования подготовки и подачи технологических газов	4	3
	4.	Изучение оборудования обеспечения вакуума	4	3
	5.	Изучение системы управления, автоматики и контроля	4	3
Тема 2.2. Техническое обслуживание и ремонт оборудования чистых производственных помещений	Содержание	20
	1.	Техническое обслуживание вентиляционной системы	4	2
	2.	Техническое обслуживание системы внутренней очистки воздуха	2	2
	3.	Техническое обслуживание системы поддержания воздушного баланса	2	2
	4.	Техническое обслуживание системы силового электрооборудования	4	2
	5.	Техническое обслуживание системы подготовки ультрачистой воды	2	2
	6.	Техническое обслуживание оборудования подачи технологических газов	2	2
	7.	Техническое обслуживание системы обеспечения вакуума	4	2
	Лабораторно-практические занятия	16
	1.	Техническое обслуживание и ремонт оборудования чистых производственных помещений	2	3
	2.	Изучение технического обслуживания вентиляционной системы	4	3
	3.	Изучение технического обслуживания системы внутренней очистки воздуха	4	3
	4.	Изучение технического обслуживания системы поддержания воздушного баланса	2	3
	5.	Изучение технического обслуживания силового электрооборудования	4	3
Самостоятельная работа при изучении Раздела 2 ПМ	36
Систематическая проработка конспектов занятий, учебной и специальной технической литературы (по вопросам к параграфам, главам учебных пособий, составленным преподавателем). Подготовка к лабораторно-практическим работам с использованием методических рекомендаций преподавателя, оформление лабораторно-практических работ, отчетов и подготовка к их защите.
Примерная тематика внеаудиторной самостоятельной работы для подготовки к лабораторно-практическим занятиям 1.  Оборудование подготовки ультрачистой воды 2.  Оборудование подготовки и подачи технологических газов 3.  Оборудование обеспечения вакуума 4.  Система управления, автоматики и контроля чистых производственных помещений 5.  Состав вентиляционной системы чистых производственных помещений 6.  Система внутренней очистки воздуха 7.  Система поддержания воздушного баланса 8.  Система силового электрооборудования и электроосвещения чистых производственных помещений 9.  Пусконаладочные работы и испытания оборудования в чистых производственных помещениях (по видам) 10.  Техническое обслуживание и ремонт оборудования чистых производственных помещений (по видам) 11.  Состав документации при проведении пусконаладочных работ и испытания 12.  Состав документации при проведении технического обслуживания оборудования
Производственная практика	60
Виды работ: Ознакомление с требования техники безопасности и пожарной безопасности при выполнении пусконаладочных работ и техническом обслуживании оборудования в чистом производственном помещении. Ознакомление с составом и техническим обслуживанием оборудования подготовки ультрачистой воды Ознакомление с составом и техническим обслуживанием оборудования подготовки и подачи технологических газов Ознакомление с составом и техническим обслуживанием оборудования обеспечения вакуума Ознакомление с составом и техническим обслуживанием системы управления, автоматики и контроля чистых производственных помещений Ознакомление с технологиями пусконаладочных работ и технического обслуживания оборудования чистых производственных помещений Оформление технической документации при подготовке и по результатам проведения пусконаладочных работ и технического обслуживания оборудования чистых производственных помещений
Раздел 3. Контроль и мониторинг параметров чистых производственных помещений			96
МДК 07.03 Методы измерения и мониторинг параметров чистых производственных помещений			64
Тема 3.1 Измерение параметров чистых производственных помещений	Содержание	16
	1.	Нормативная база проведения измерений и испытаний в чистых производственных помещениях	2	1
	2.	Измерения и испытания чистого помещения в соответствии с требованиями стандартов	2	1
	3.	Приборы и методы измерения параметров воздушной среды чистых помещений	2
	4.	Основные принципы, характеристики, особенности измерительных схем.	2
	5.	Правила проведения измерений в чистых производственных помещениях	2
	6.	Обзор измерительных приборов, сравнительный анализ и выбор для применения	2
	7.	Состав технической документации по результатам измерений и испытаний	2
	8.	Требования техники безопасности при проведении измерений и испытаний в чистых производственных помещениях	2
		Лабораторно-практические занятия	16
	1.	Контроль параметров чистых помещений в соответствии с требованиями стандарта ГОСТ Р ИСО 14644-3:2007 «Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы измерений»	2	3
	2.	Измерение объёмов подаваемого и удаляемого воздуха в чистое помещение	4	3
	3.	Изучение движения воздуха внутри чистого помещения	4	3
	4.	Определение течей установленных фильтров и через ограждающие конструкции	4	3
	5.	Изучение методов измерения концентрации аэрозолей	2	3
Тема 3.2 Мониторинг чистых производственных помещений	Содержание	16
	1.	Назначение и задачи мониторинга чистых помещений	2	1
	2.	Принципы построения систем непрерывного мониторинга чистоты воздуха	2	2
	3.	Примеры реализации систем непрерывного мониторинга на предприятиях отрасли. Особенности проектирования и эксплуатации.	2	2
	4.	Защита от загрязнений при эксплуатации чистых помещений	2	2
	5.	Требования к персоналу и правила поведения в чистых помещениях	2	2
	6.	Аттестация чистых помещений. Основные принципы, нормативные документы, практика проведения.	2	1
	7.	Валидация приборов контроля чистоты воздуха и систем мониторинга.	2	2
	8.	Состав технической документации по результатам мониторинга	2	2
		Лабораторно-практические занятия	16	3
	1.	Измерения счетной концентрации частиц. Определение класса чистоты помещения	2	3
	2.	Измерения времени восстановления характеристик чистого помещения	4	3
	3.	Измерения герметичности чистой зоны	4	3
	4.	Измерения скорости воздушного потока в чистом помещении и в воздуховодах	2	3
	5.	Измерения температуры и относительной влажности	2	3
	6.	Оформление технической документации по результатам мониторинга чистого помещения	2	3
Самостоятельная работа при изучении Раздела 3 ПМ	48
Систематическая проработка конспектов занятий, учебной и специальной технической литературы (по вопросам к параграфам, главам учебных пособий, составленным преподавателем). Подготовка к лабораторно-практическим работам с использованием методических рекомендаций преподавателя, оформление лабораторно-практических работ, отчетов и подготовка к их защите.
Примерная тематика внеаудиторной самостоятельной работы для подготовки к лабораторно-практическим занятиям 1.  Контроль параметров чистых помещений в соответствии с требованиями стандарта ГОСТ Р ИСО 14644-3:2007 2.  Измерение объёмов подаваемого и удаляемого воздуха в чистое помещение 3.  Изучение движения воздуха внутри чистого помещения 4.  Определение течей установленных фильтров и через ограждающие конструкции чистых помещений 5.  Изучение методов измерения концентрации аэрозолей 6.  Измерения счетной концентрации частиц 7.  Определение класса чистоты помещения 8.  Измерение времени восстановления характеристик чистого помещения 9.  Измерение герметичности чистой зоны 10. Измерение скорости воздушного потока в чистом помещении и в воздуховодах 11. Измерение температуры и относительной влажности 12. Требования техники безопасности при проведении измерений и испытаний в чистых производственных помещениях 13. Оформление технической документации по результатам мониторинга чистого помещения
Производственная практика	12
Виды работ: Ознакомление с требования техники безопасности при проведении измерений и испытаний в чистых производственных помещениях Ознакомление с приборами и методами измерения параметров воздушной среды чистых помещений Измерение параметров чистых производственных помещений Ознакомление с порядком обработки результатов измерения параметров чистых помещений Ознакомление с системой непрерывного мониторинга на предприятиях электронной отрасли Ознакомление с особенностями проектирования и эксплуатации систем мониторинга Оформление технической документации при проведении измерений, испытаний и по результатам мониторинга чистых производственных помещениях

Для характеристики уровня освоения учебного материала используются следующие обозначения: