Вакуумная техника и технологии (стр. 1 )

РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ

Государственное образовательное учреждение

высшего профессионального образования

ТЮМЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

«УТВЕРЖДАЮ»:

Проректор по учебной работе

_______________________ / М /

__________ _____________ 2011 г.

ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ

Учебно-методический комплекс.

Рабочая программа для студентов направления 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника».

очная форма обучения

«ПОДГОТОВЛЕНО К ИЗДАНИЮ»:

Автор работы _____________________________//

«______»___________2011 г.

Рассмотрено на заседании кафедры микро и нанотехнологий

«__»___________2011 г., протокол №____.

Соответствует требованиям к содержанию, структуре и оформлению.

«РЕКОМЕНДОВАНО К ЭЛЕКТРОННОМУ ИЗДАНИЮ»:

Объем _________стр.

Зав. кафедрой ______________________________//

«______»___________ 2011 г.

Рассмотрено на заседании УМК ИМЕНИТ

«____»______________ 2011 г., протокол №____.

Соответствует ФГОС ВПО и учебному плану образовательной программы.

«СОГЛАСОВАНО»:

Председатель УМК ________________________/ /

«______»_____________2011 г.

«СОГЛАСОВАНО»:

Зав. методическим отделом УМУ_____________/ /

«______»_____________201__ г.

РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ

Государственное образовательное учреждение

высшего профессионального образования

ТЮМЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ

Институт математики, естественных наук и информационных технологий

Кафедра микро - и нанотехнологий

ВАКУУМНАЯ ТЕХНИКА И ТЕХНОЛОГИИ

Учебно-методический комплекс.

Рабочая программа для студентов направления 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника».

очная форма обучения

Тюменский государственный университет

2011

. Вакуумная техника и технологии. Учебно-методический комплекс. Рабочая программа для студентов направления 222900.62 «Нанотехнологии и микросистемная техника»; очная форма обучения. Тюмень, 2011, ___ стр.

Рабочая программа составлена в соответствии с требованиями ФГОС ВПО с учетом рекомендаций и ПрООП ВПО по направлению и профилю подготовки.

Рабочая программа дисциплины (модуля) опубликована на сайте ТюмГУ: Вакуумная техника и технологии [электронный ресурс] / Режим доступа: http://www. *****., свободный.

Рекомендовано к изданию кафедрой микро - и нанотехнологий. Утверждено проректором по учебной работе Тюменского государственного университета.

© Тюменский государственный университет, 2011.

© , 2011.

1. Пояснительная записка, которая содержит:

1.1. Цели и задачи дисциплины (модуля)

Цель дисциплины: дать студентам достаточно глубокие знания данной технической науки, изучающей способы создания устройств для получения и измерения вакуума, поскольку вакуумная техника очень широко используется в различных современных высоких и классических технологиях.

Задачи дисциплины:

- изучить свойства газов при низких давлениях и физико-химические процессы на поверхности твердых тел, течение газов при низких давлениях;

- познакомить с методами объемной, ионной и сорбционной откачки;

- рассмотреть принципы действия и конструктивные особенности различных типов вакуумных насосов;

- познакомить с методами измерения общих и парциальных давлений;

- познакомить с методами течеискания;

- познакомить с конструкциями элементов вакуумных систем;

- рассмотреть расчет и проектирование вакуумных систем.

1.2. Место дисциплины в структуре ООП бакалавриата

Дисциплина «Вакуумная техника и технологии» – это дисциплина по выбору, которая входит в вариативную часть профессионального цикла.

Для ее успешного изучения необходимы знания и умения, приобретенные (или приобретаемые параллельно) в результате освоения предшествующих дисциплин: «общая физика», «химия», «математический анализ», «дифференциальные уравнения», «теория функции комплексной переменной», «электротехника», «радиоэлектроника», «физика плазмы».

Освоение дисциплины «Электронная и ионная оптика» необходимо при последующем изучении дисциплин «Физико-химические основы процессов микро - и нанотехнологий», «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», а также для подготовки и написания выпускной квалификационной работы.

1.3. Компетенции выпускника ООП бакалавриата, формируемые в результате освоения данной ООП ВПО.

В результате освоения ООП бакалавриата выпускник должен обладать следующими компетенциями:

готовностью учитывать современные тенденции развития электроники, измерительной и вычислительной техники, информационных технологий в своей профессиональной деятельности (ПК-3);

способностью собирать, обрабатывать, анализировать и систематизировать научно-техническую информацию по тематике исследования, использовать достижения отечественной и зарубежной науки, техники и технологии (ПК-6);

готовностью аргументировано выбирать и реализовывать на практике эффективную методику экспериментального исследования параметров и характеристик материалов и компонентов нано - и микросистемной техники (ПК-11).

В результате освоения дисциплины обучающийся должен:

· Знать:

- понятие вакуума;

- основные параметры и свойства газов при низких давлениях (плотность и давление газа, распределение молекул газа по скоростям, среднюю длину свободного пробега молекул, процесс взаимодействия молекул газа с поверхностью, время десорбции, давление насыщенных паров, степень покрытия поверхности молекулами газа, растворимость и газосодержание в твердых телах, электрические явления в газах);

- теоретические основы процесса откачки;

- методы измерения вакуума (механические, тепловые, электрические, сорбционные);

- методы получения вакуума (механические и физико-химические);

- способы конструирования вакуумных систем.

· Уметь:

- решать задачи на определение основных характеристик вакуумных устройств, применяемых при построении вакуумных систем;

- выполнять конструирование вакуумных систем, с использованием требуемых конструкционных материалов и различных методов получения и измерения вакуума.

· Владеть:

- обладать навыками эксплуатации различных вакуумных устройств (средств вакуумной откачки, средств измерения вакуума и т. д.)

2. Структура и трудоемкость дисциплины.

Семестр 7 . Форма промежуточной аттестации зачет . Общая трудоемкость дисциплины составляет 2 зачетные единицы (108 часов).

3. Тематический план.

Таблица 1.

Тематический план

№	Тема	недели семестра	Виды учебной работы и самостоятельная работа, в час.	Итого часов по теме	Из них в интерактивной форме	Итого количество баллов
Лекции	Семинарские (практические) занятия	Лабораторные занятия	Самостоятельная работа
1	2	3	4	5	6	7	8	9	10
	Модуль 1
1.	Свойства газов при низких давлениях	1-2	2		4	6	12		0-10
2	Теоретические основы процесса откачки	3-6	4		8	12	24		0-20
	Всего		6		12	18	36		0-30
	Модуль 2
3.	Методы измерения вакуума	7-12	6		12	18	36		0-30
	Всего		6		12	18	36		0-30
	Модуль 3
4.	Методы получения вакуума	13-16	4		8	12	24		0-20
5.	Конструирование вакуумных систем	17-18	2		4	6	12		0-20
	Всего	18	6		12	18	36		0-40
	Итого (часов, баллов):		18		36	54	108		0 – 100
	Из них в интерактивной форме

Таблица 2.