Вакуумная техника (стр. 4 )

Количество газа, выделяющееся из металлов при высоких температурах

Металл	Температура, К	Количество выделившегося газа, Па м3/кг
Медь	873 1073	5,25×10-2 3,04×10-2
Ковар	673 873 1073 1273	5×10-2 9,67×10-2 0,237 0,985
Молибден	673 873 1073 1273	7,1×10-2 9,65×10-2 7,51×10-2 13,38×10-2
Сталь 1Х18Н10Т	873 1073	0,272 8,5×10-2
Никель	873 1073 1273	0,458 5,3×10-2 0,147

ПРИМЕЧАНИЕ. Удельное газовыделение указано для интервалов температур. Так, например, для меди при нагревании от 293 К до 873 К выделится 5,25×10-2 Па м3/кг, а при нагревании от 873 К до 1073 К выделится дополнительно газ в количестве 3,04×10-2 Па м3/кг и так далее.

Приложение 5

Полное количество газа, выделяющееся из материалов

Полное количество газа, которое выделяется из промышленных металлов при нагревании их в вакууме до температур, близких к точке плавления, составляет от 1 до 20 см3 на 100 г металла (или от 10 до 200 см3/кг).

Материал	Количество газа, Па м3/кг
Вольфрам (нагрев до 2300 0С) Молибден (нагрев до 1800 0C) Никель (нагрев до 1200 0С) Графит (нагрев до 1800 0С) Медь (нагрев до 1600 0С) Алюминий (нагрев до 1200 0С) Сталь 1Х18Н10Т	0,02 - 0,04 0,12 - 0,80 0,30 - 0,80 0,15 - 0,23 2,20 4,0 - 17,2 13,0 - 18,0

Справочные материалы из монографии С. Дэшмана "Научные основы вакуумной техники", М., Мир, 1964 г., стр. 516-528.

Количество газа, выделяющееся из стекол при нагреве в вакууме

Марка стекла	Температура обезгаживания, К	Количества газа, Па м3/м2
С 49-2 С 87-1 С 48-1 С 48-3 П-15	723 723 873 1053 773	4×10-1 5,33×10-1 8,0×10-1 6,7×10-1 4,65×10-1

Справочные данные из книги и др. "Конструирование и расчет вакуумных систем", М. "Энергия", 1979 г., стр. 473.

Приложение 6

Формулы для расчета проводимости отверстий и вакуумпроводов

Вид элемента коммуникации	Вязкостный режим	Молекулярный режим
Отверстие произвольной формы, м2	U=200A (для воздуха при 293 К)
Круглое отверстие диаметром D, м2	U=160 × D2 (для воздуха при 293 К)
Трубопровод диаметром D и длиной L, м	(для воздуха при 293 К)	U=121 × D3/L (для воздуха при 293 К)
Трубопровод прямоугольного сечения а³b, м	(для воздуха при 293 К)	(для воздуха при 293 К)
Трубопровод в виде щели а>>b, м	(для воздуха при 293 К)	U=308 × ab2/L (для воздуха при 293 К)
Трубопровод диаметром d1 с коаксиально расположенным стержнем диаметром d2, м	(для воздуха при 293 К)	(для воздуха при 293 К)

Приложение 7

Технические характеристики механических насосов

(применяются для откачки газов и паров в диапазоне

давлений 105 – 10-1 Па)

Марка насоса	ПАРАМЕТР
Быстрота действия в интервале давлений 105-10 Па, л/с	Предельное давление, Па	Диаметр входного патрубка, мм
НВР-0,25ДМ	0,25	4	10
ЗНВР-1ДМ	1,0	1,1	10
ЗНВР - 1Д	1,0	1,1	10
2НВР - 5ДМ	5,0	0,67	25
НВР - 16Д	16,0	0,67	40
НВЗ - 20	20,0	6,7	40
НВЗ - 50Д	50,0	0,67	100
НВЗ - 75	75,0	6,7	100
НВЗ - 100Д	100	0,67	160
НВЗ - 150	150	6,7	160
НВЗ - 300	300	6,7	200
НВЗ - 500	500	6,7	250

Приложение 8

Характеристики диффузионных паромасляных
насосов унифицированной серии

Марка насоса		ПАРАМЕТРЫ
Скорость откачки в диапазоне впускных давлений,- 10-1-10-3 Па, л/с	Предельное давление, Па	Наибольшее выпускное давление, Па	Диаметр впускного патрубка, мм	Диаметр выпускного патрубка, мм
Н-100/350	250	6,5-10-5	27	100	25
Н-160/700	640	6,5-10-5	27	160	40
Н-250/2500	1800	6,5-10-5	27	250	63
Н-400/7000	4900	6,5-10-5	27	400	63
Н-630/18000	15500	6,5-10-5	27	630	100

Приложение 9

Технические характеристики высоковакуумных
агрегатов на базе диффузионных насосов

МАРКА АГРЕГАТА		П А Р А М Е	Т Р Ы
Быстрота действия агрегата в диапазоне впускных давлении, 10-1-10-3 Па л/с	Предельное давление, Па	Диаметр входного патрубка агрегата, мм	Используемый в агрегате высоковакуумный насос
АВП100-100	100	6,6-10-5	100	Н-100/350
АВП100-250	250	6,6-10-5	160	Н-160/700
АВП250-630	700	6,6-10-5	250	Н-250/2500
АВП400-1600	1800	6,6-10-5	400	Н-400/7000
АВП630-4000	5500	6,6-10-5	630	Н-630/18000

Приложение 10

Технические характеристики турбомолекулярных насосов и

(применяются для откачки в диапазоне давлений 10-1 -10-7)

МАРКА		ПАРАМЕТРЫ
Скорость откачки в диапазоне впускных давлений,-10-1-10-5 Па, л/с
НАСОСА	Предельное давление, Па	Диаметр впускного патрубка, мм	Наибольшее выпускное давление, Па	Рекомендуемый форвакуумный насос
ВМН-150	160	1,3×10-7	125	2,5	2НВР-5Д
01НВТ-160-1А	130	4,0×10-7	100	6,6	2НВР-5Д
ТМН-500	500	6,5×10-7	200	6,6	НВР-16Д
01АБ-450	270	6,5×10-7	160	6,6	НВР-16Д
01АБ-1500	720	6,5×10-7	250	6,6	НВР-16Д
010В-3500	2500	1,0×10-7	400	6,7	НВЗ-20

Приложение 11

Технические характеристики высоковакуумных агрегатов на базе
турбомолекулярных насосов

МАРКА АГРЕГАТА	ПАРАМЕТРЫ
Быстрота действия в диапазоне впускных давлений 10-1-10-4 Па л/с	Предельное давление, Па	Диаметр впускного патрубка, мм	Используемый турбомолекулярный насос
АВТ-100 АВТ-200 АОВ-200/6-001 АОВ-630/6-003	100 250 300 720	5×10-7 5×10-7 6,5×10-7 6,5×10-7	100 160 160 250	01НВТ-160 01АБ-450 01АБ-1500 01АБ-1500

Приложение 12