Вакуумная техника (стр. 5 )

Технические характеристики магниторазрядных насосов
(прим. для откачки в диапазоне впускных давлений 10-2-10-7 Па)

МАРКА НАСОСА		ПАРАМЕТРЫ
Скорость откачки в диапазоне вп. давлен. 10-2-10-5 Па, л/с	Предельное давление, Па	Наибольшее давление запуска, Па	Диаметр впускного патрубка, мм	Наибольшее рабочее давление, Па
НМД-0,000063	0,08	7×10-4	0,8	10	8×10-3
НМД-0,0063	6,0	7×10-8	1,3	25	0,13
НМД-0,025	22,0	7×10-8	1,3	100	0,13
НМД-0,063	60	7×10-8	1,3	100	0,13
НМД-01	110	7×10-8	1,3	100	0,13
НМД-0,25	120	7×10-8	1,3	160	0,13
НМД-0,63	650	7×10-8	1,3	250	0,13
НМД-1	1200	7×10-8	1,3	250	0,13

Приложение 13

Характеристики адсорбционных насосов

ПАРАМЕТРЫ	Марка насоса
	ЦВН-0,1-2	ЦВН-0,3-2	ЦВН-1-1	ЦВН-1,5-3
Быстрота откачки в диапазоне давлений 100-0,1 Па, л/с	2	4	6	10
Объем откачиваемого воздуха при давлении 105 Па, л	10	30	100	100
Марка сорбента	цеолит 5А	цеолит 5А	цеолит 5А	цеолит 5А
Количество сорбента, загружаемого в насос, кг	0,1	0,3	1,0	1,5
Предельное давление, Па	2×10-2	2×10-2	2×10-2	2×10-2

Приложение 14

Технические характеристики криогенных насосов (применяются для откачки газов в диапазоне давлений
10-2-10-7 Па)

ПАРАМЕТРЫ	Марка насоса
НВК-1А-Р1	НВК-06-Р1	НВК-1К-Р1	НВК-1А-Р1
Быстрота действия по воздуху, л/с	1150	600	1150	1000
Предельное давление, Па	5×10-7	5×10-7	5×10-7	5×10-7
Поглотительная способность по воздуху, Па-л	5×105	-	104	-
Давление запуска крионасоса, Па	10	5	5	5
Диаметр входного (присоединительного) патрубка, мм	250	160	250	250

В приложении 14 даны технические характеристики конденсационных насосов на базе холодильных газовых машин.

Приложение 15

Основные характеристики

манометрических преобразователей и вакуумметров

Марка вакумметра	Марка манометрического датчика	Тип манометрического преобразователя	Диапазон измеряемых давлений, Па
ВТ-3	ПМТ-2	термопарный	7×102 – 1,3×10-1
ВТ-2А-П	ПМТ-4М	термопарный	7×102 – 1,3×10-1
РВТ-2М	ПМТ-6-3	сопротивления	4×104 – 2,6
ВИТ-2	ПМИ-2	ионизационный (электронный)	0,13 – 2,4×10-5
ВИ-14	хПМИ-12-8	ионизационный (электронный)	10-3 – 7×10-8
ВИ-12	ИМ-12	ионизационный (электронный)	10-3 – 10-7
ВМБ-8	хПММ-32-1	магнитный э/разрядный	1,3 - 10-7
ВМБ-11	хПММ-46	инверсно-магнетронный	0,13 - 2×10-11

Приложений 16

ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУМНЫХ КЛАПАНОВ И ЗАТВОРОВ

Марка клапана (затвора)	ПАРАМЕТР
Диаметр условного прохода, мм	Проводимость, л/с	Время срабатывания, с	Тип привода	Материал уплотнителя
КЭУн-25	25	20	7	электромеханический	Эластомер резина ИРП-9024
КЭУн-40	40	70	7	-²-	-²-
КЭУн-63	63	170	7	-²-	-²-
ВЭП-100	100	332	0,8	-²-	-²-
ЗЭПл-100	100	1000	10	-²-	-²-
ЗЭПл-160	160	2500	10	-²-	-²-
ЗЭПл-250	250	15000	10	-²-	-²-
ЗЭПл-400	400	46000	10	-²-	-²-
КМПН-1,6х	-	-	15×10-3	Электромагнитный	-²-
КМПН-10х	-	-	25×10-3	-²-	-²-

х Клапаны для напуска газов

Составитель: канд. техн. наук, доц.

Рецензент: докт. техн. наук, проф.

Методические указания рассмотрены на заседании кафедры «____»___________ 2005 г. (Протокол № ____) и приняты к применению в учебном процессе.

Заведующий кафедрой ТСЭ

проф., д. т.н.