АНАЛИЗ
статьи опубликованной в журнале
«Журнал технической физики» том 85, вып.1, 2015
МНОГООСТРИЙНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИЕОВЫЕ ПОЛЕВЫЕ ЭМИТТЕРЫС ДВУХСЛОЙНЫМИ ЗАЩИТНЫМИ ПОКРЫТИЯМИ НОВОГО ТИПА
, ,
Исследована работа многоострийных полевых эмиттеров из кремния с двухслойным металлофуллиреновым защитным покрытием нового типа в условиях технического вакуума. Проведены эксперименты установившие, что средний по катоду ток составляет до 0,5 А/см2, а сами катоды могут быть использованы в приборах СВЧ и источниках рентгеновского излучения.
Актуальность данной работы заметна тем, кто работает с приборами СВЧ-излучения при условиях технического вакуума (до 10-7 мм рт. ст.) однако прочность и долговечность традиционных эмиттеров невелика, особенно при больших плотностях токов. Поэтому предложенная авторами конструкция эмиттера позволяет резко повысить износостойкость и долговечность изделия.
Полученные данные свидетельствуют о том, что острийный полевой эмиттер с двуслойным покрытием, включающим слой молибдена с нанесенным на него активированным фуллереновым покрытием долговечно работает в техническом вакууме при отборе больших токов. Увеличение слоя молибдена при сохранении толщины фуллиренового покрытия позволяет повысить прочность каждого острия и позволяет дополнительно увеличить плотность тока снимаемого с эмиттера. Однако увеличение толщины слоя приводит и к увеличению радиуса острия, а значит приводит к повышению величины рабочего напряжения.
Кроме того значительно возрастает стойкость эмиттеров к ионной бомбардировке ионами остаточных газов. Это позволяет сохранять неизменной вольт-амперную характеристику прибора при достаточно длительно эксплуатации. В частности приведены ВА-характеристики для работающего СВЧ прибора при токе катода 2 мА и напряжении 6,3 кВ
Анализ выполнил зав. кафедрой ПС
