,
(
150
300
450
600
750
900
1050
1200
1350
1500
)
1
...
520
521
522
523
524
525
526
527
528
529
530
531
532
...
691
( )
30062-93 " . "
- Ni/HfO2/SiO2/Si
, 2012
-
(10-11 )
" 300" ( ).
10 -
1
...
520
521
522
523
524
525
526
527
528
529
530
531
532
...
691