,
(
50
100
150
200
250
300
350
400
450
500
)
1
...
366
367
368
369
370
371
372
373
374
375
376
377
378
...
507
( )
30062-93 " . "
- Ni/HfO2/SiO2/Si
-
(10-11 )
" 300" ( ).
10 -
1
...
366
367
368
369
370
371
372
373
374
375
376
377
378
...
507