,
1.
1.
1.
1.
1.
- 1.
, 1.
1.
(
150
300
450
600
750
900
1050
1200
1350
1500
)
1
...
320
321
322
323
324
325
326
327
328
329
330
331
332
...
642
- " . , , , 19-21 "
10:
2013-2014
I:
:
.
, ,
a-Si/ZrO2 a-SiOx/ZrO2
30- XX
Ni52Mn34In12Si2
2
-
1
...
320
321
322
323
324
325
326
327
328
329
330
331
332
...
642